Bề mặt cỏc chi tiết mỏy thường là mặt phẳng, mặt trụ, mặt cụn, mặt cầu, mặt định hỡnh...trong đú mặt phẳng là phổ biến nhất chiếm một tỷ lệ lớn cú khi tới 40%. Chất lượng gia cụng của mặt phẳng được đỏnh giỏ theo cỏc chỉ tiờu sau:
_ Độ khụng thẳng là khoảng cỏch lớn nhất từ cỏc điểm trờn đường thẳng thực tới đường thẳng danh nghĩa. Dung sai độ khụng thẳng là giỏ trị sai số cho phộp lớn nhất của độ khụng thẳng.
_ Độ khụng phẳng là khoảng cỏch lớn nhất giữa cỏc điểm trờn mặt phẳng thực và mặt phẳng danh nghĩa. Dung sai độ khụng phẳng là sai số cho phộp lớn nhất của độ khụng phẳng. Cỏc dạng khụng phẳng và khụng thẳng biểu hiện ở độ lồi lừm
của mặt phẳng.
_ Độ lồi là sai lệch của khoảng cỏch từ cỏc điểm trờn mặt phẳng thực tới mặt phẳng danh nghĩa giảm dần từ hai đầu mộp tới trung tõm.
_ Độ lừm là sai lệch của khoảng cỏch từ cỏc điểm trờn mặt phẳng thực tới mặt phẳng danh nghĩa tăng dần từ hai đầu mộp tới trung tõm.
_ Độ khụng song song của mặt phẳng là hiệu số của hai khoảng cỏch lớn nhất và bộ nhất giữa cỏc mặt phẳng danh nghĩa trờn một diện tớch hoặc một chiều dài cho trước. Dung sai độ khụng song song là giỏ trị cho phộp lớn nhất của độ khụng song song.
_ Độ khụng vuụng gúc của cỏc mặt phẳng hoặc của cỏc trục tõm với mặt phẳng là sai lệch của gúc vuụng giữa cỏc trục tõm hoặc giữa trục tõm với mặt phẳng được biểu thị bằng đơn vị đo chiều dài trờn một chiều nhất định.
_ Độ nghiờng của mặt phẳng so với mặt phẳnghay trục tõm (hoặc đường thẳng) là sai số gúc giữa mặt phẳng và mặt phẳngchuẩn hay trục chuẩn (đường thẳng) so với gúc danh nghĩa được biểu thị bằng đơn vị đo chiều dài trờn một chiều dài chuẩn. Dung sai độ nghiờng là giỏ tếngai số cho phộp lớn nhất về độ nghiờng. _ Độ khụng đối xứng là khoảng cỏch lớn nhất giữa mặt phẳng đối xứng (trục dối xứng) của bề mặt quan sỏt và mặt phẳng đối xứng (trục dối xứng) của mặt chuẩn.
_ Độ chớnh xỏc về hỡnh dỏng hỡnh học và vị trớ tương đối được ghi bằng ký hiệu trờn bản vẽ.