Chất lượng dịch vụ được đo lường bởi nhiều yếu tố và việc nhận định chính xác các yếu tố này phụ thuộc vào tính chất của dịch vụ và môi trường nghiên cứu. Có nhiều tác giả đã nghiên cứu vấn đề này nhưng phổ biến nhất và biết đến nhiều nhất là các tiêu chí đánh giá chất lượng dịch vụ của Parasuraman et al. Năm 1985, Parasuraman et al đã đưa ra mười nhân tố quyết định chất lượng dịch vụ được liệt kê dưới đây:
1) Khả năng tiếp cận (access)
2) Chất lượng thông tin liên lạc (communication) 3) Năng lực chuyên môn (competence)
4) Phong cách phục vụ (courtesy) 5) Tôn trọng khách hàng (credibility) 6) Đáng tin cậy (reliability)
7) Hiệu quả phục vụ (responsiveness) 8) Tính an toàn (security)
9) Tính hữu hình (tangibles)
10) Am hiểu khách hàng (understanding the customer)
Và đến năm 1988, ông đã khái quát hoá thành 5 nhân tố cụ thể như sau: 1) Sự tin cậy (reliability)
2) Sự đáp ứng (responsiveness) 3) Sự hữu hình (tangibles) 4) Sự đảm bảo (assurance) 5) Sự cảm thông (empathy)
Parasuraman et al, Johnston và Silvestro (1990) cũng đúc kết năm nhân tố khác của chất lượng dịch vụ bao gồm: 1) Sự ân cần (helpfulness) 2) Sự chăm sóc (care) 3) Sự cam kết (commitment) 4) Sự hữu ích (functionality) 5) Sự hoàn hảo (integrity)
Cũng vào năm 1990, Gronroos đã tiến hành nghiên cứu và đưa ra sáu nhân tố đo lường chất lượng dịch vụ như sau:
1) Có tính chuyên nghiệp (professionalism and skills) 2) Có phong cách phục vụ ân cần (attitudes and behaviour) 3) Có tính thuận tiện (accessibility and flexibility)
4) Có sự tin cậy (reliability and trustworthiness) 5) Có sự tín nhiệm (reputation and credibility) 6) Có khả năng giải quyết khiếu kiện (recovery)
Đến năm 2001, Sureshchandar et al cũng đưa ra năm nhân tố ảnh hưởng đến chất lượng dịch vụ bao gồm:
1) Yếu tố dịch vụ cốt lõi (core service) 2) Yếu tố con người (human element) 3) Yếu tố kỹ thuật (non-human element) 4) Yếu tố hữu hình (tangibles)
5) Yếu tố cộng đồng (social responsibility)
Các yếu tố đo lường chất lượng dịch vụ rất đa dạng được xác định khác nhau tùy lĩnh vực nghiên cứu. Vì vậy, các tài liệu nghiên cứu được nêu ra trên đây là cơ sở tham khảo cho việc xác định cụ thể các thang đo chất lượng dịch vụ trong lĩnh dịch vụ CNTT.