- Hình thái của lớp xốp: khi Ja tăng thì dạng hình thái lớp xốp không thay đổ
3.5.1. Chế tạo màng aSiCxốp đa lớp
Kết quả nghiên cứu của chúng tôi cho thấy rằng khi ăn mòn anốt aSiC trong dung dịch HF/H2O với mật độ dòng điện nằm trong khoảng từ JaN1 đến JaN2 thì độ
dày của lớp xốp tăng tuyến tính với thời gian ăn mòn. Dựa vào kết quả này cộng với kết quả về sự thay đổi độ xốp khi thay đổi mật độ dòng anốt hóa chúng tôi đã nghiên cứu chế tạo thành công các màng aSiC xốp đa lớp.
Hình 3.19. Ảnh SEM mặt cắt các mẫu 3i-aSiC xốp đa lớp ăn mòn trong dung dịch nước của 0,5% HF với mật độ dòng anốt hóa thay đổi theo thời gian.
Trên Hình 3.19 là ảnh SEM mặt cắt của các mẫu 3i-aSiC xốp đa lớp ăn mòn trong dung dịch 0,5% HF/H2O với mật độ dòng anốt hóa thay đổi theo thời gian. Hình 3.19a là lớp xốp có cấu trúc hai lớp với lớp thứ nhất được ăn mòn với mật độ dòng 1,5 mA/cm2 trong 12 phút, lớp thứ hai được ăn mòn với mật độ dòng 2,0 mA/cm2 trong 24 phút. Hình 3.19b là lớp xốp có cấu trúc bốn lớp với lớp thứ nhất và thứ ba được ăn mòn với Ja = 1,0 mA/cm2 trong 12 phút, lớp thứ hai và thứ tư được ăn mòn với Ja = 1,5 mA/cm2 trong 11 phút.
Theo những tìm hiểu của chúng tôi thì đây là lần đầu tiên một cấu trúc xốp đa lớp có thể điều khiển được tạo ra trên SiC. Việc chế tạo được các cấu trúc xốp đa lớp với độ dày và độ xốp của các mẫu có thể điều khiển được mở ra khả năng ứng dụng của loại vật liệu này vào chế tạo các hộp vi cộng hưởng (microcavity), ống dẫn sóng (waveguide) tương tự như của Si xốp [153], [140]. Không những thế với các tính chất ưu việt của SiC, các thiết bị này còn có thể làm việc trong các môi trường khắc nghiệt.
107
