- Hình thái của lớp xốp: khi Ja tăng thì dạng hình thái lớp xốp không thay đổ
3.4. Nghiên cứu ăn mòn tạo xốp màng mỏng aSiC bằng anốthóa trong dung dịch HF/H 2O có thêm chất hoạt động bề mặt hoặc chất ôxy hóa
Như vừa trình bày ở trên, dung dịch là một trong những yếu tố quan trọng ảnh hưởng tới quá trình ăn mòn anốt SiC. Sự ảnh hưởng này được quyết định bởi khả năng ôxy hóa, khả năng thụ động hóa bề mặt và độ nhớt của dung dịch điện hóa. Việc cho thêm các chất hoạt động bề mặt hoặc chất ôxy hóa vào dung dịch anốt sẽ làm thay đổi các đặc tính nói trên của dung dịch điện hóa và do đó sẽ ảnh hưởng đến quá trình ăn mòn tạo xốp. Trong mục này chúng tôi sẽ trình bày các kết quả
99
nghiên cứu về sự ảnh hưởng của chất hoạt động bề mặt Triton X-100 (TX100) và chất ôxy hóa H2O2 lên quá trình ăn mòn aSiC khi chúng được cho thêm vào dung dịch điện phân HF/H2O.
3.4.1. Thí nghiệm
Trong các thí nghiệm của nghiên cứu này chúng tôi đã sử dụng hai lô mẫu là 3i- aSiC và 1i-aSiC tương ứng cho các nghiên cứu về vai trò của TX100 và H2O2 đối với sự ăn mòn anốt tạo lớp aSiC xốp trên màng aSiC. Thông số của các lô mẫu này đã được chỉ ra trên Bảng 3.1. Ngoài ra, ở đây chúng tôi đã sử dụng chế độ ăn mòn anốt là chế độ ổn thế, với điện thế áp đặt tương ứng là 250 V và 150 V cho các mẫu 3i-aSiC và 1i-aSiC. Sơ đồ thí nghiệm vẫn giống như trên Hình 3.2. Thời gian ăn mòn anốt đối với tất cả các thí nghiệm đều được giữ cố định là 30 phút. Riêng về nồng độ HF trong dung dịch điện phân, chúng tôi đã sử dụng các nồng độ như sau:
- Với nghiên cứu về vai trò của TX100, dung môi được sử dụng là nước, nồng độ HF thay đổi từ 1 đến 73%, nồng độ TX100 thay đổi từ 0,01 đến 1%.
- Với nghiên cứu về vai trò của H2O2, dung môi được sử dụng là nước, nồng độ HF thay đổi từ 1 đến 15%, nồng độ H2O2 thay đổi từ 0,5 đến 15%.
Sau khi chế tạo, các mẫu được rửa sạch và để khô tự nhiên, sau đó chúng được chụp ảnh AFM, SEM để khảo sát hình thái của lớp xốp. Phương pháp phân tích EDX để xác định hàm lượng các nguyên tố và nhiễu xạ tia X để xác định cấu trúc của lớp aSiC xốp cũng đã được sử dụng cho các mẫu.
