... khắc tạo điện cực
Bốc ba
y Al
Phủ tạ
p SOD và
khuếch tán
Quang khắc
tạo điện trở
Mở cửa sổ điện cực
Nghiên cứuchếtạovàkhảosátcácđặc trng
Của cảm biến vi cơ đo lực
Vũ Ngọc Hùng, ... Đào tạo về Khoa học Vậtliệu (ITIMS)
Đinh Văn Dũng
Khoa Vật lý, Trờng ĐHSP Hà nội 2
Tóm tắt
Các cảm biến đo lực kích thớc nhỏ chếtạo bằng công nghệ vi cơ đà đợc thiết kế
và chếtạo ... presented.
1. Mở đầu
Các cấu trúc đo tín hiệu cơ tiêu biểu thờng có dạng các màng hoặc các
thanh dầm đợc chế tác 3 chiều từ cácvậtliệu khối. Chỉ có thể chếtạocác cấu
trúc này với độ...
... 169-174.
Nghiên cứuchếtạovàkhảosátcácđặc trng
Của cảm biến vi cơ đo lực
Vũ Ngọc Hùng, Nguyễn Đức Chiến, Trịnh Quang Thông
Trung tâm Quốc tế Đào tạo về Khoa học Vậtliệu (ITIMS) ... presented.
1. Mở đầu
Các cấu trúc đo tín hiệu cơ tiêu biểu thờng có dạng các màng hoặc các
thanh dầm đợc chế tác 3 chiều từ cácvậtliệu khối. Chỉ có thể chếtạocác cấu
trúc này với độ ... cơ (micromachining
technology). Do tínhđặc thù cũng nh khả năng đặc biệt của công nghệ vi cơ,
công nghệ này đà đợc ứng dụng để chếtạocác cấu trúc vàcác bộ cảm biến
ứng dụng trong nhiều...
... thống kê các phương pháp chếtạocác cấu trúc nano ZnS dạng đai, băng,
và tấm nano, nhiệt độ phản ứng vàcác tài liệu tham khảo tương ứng
Cấu trúc nano
Phƣơng pháp tổng hợp
T (°C)
Tham khảo ...
ình 1.1) [1-3]:
Hình 1.1. Cácloạivậtliệu nano: (0D) hạt nano hình cầu, cụm nano; (1D) dây, thanh nano; (2D)
màng, đĩa và lưới nano; (3D) vậtliệu khối [106]
- ... thống kê các công nghệ chếtạocác cấu trúc dây/thanh nano ZnS, vùng
nhiệt độ phản ứng vàcác tài liệu tham khảo tương ứng
Cấu trúc
nano
Phƣơng pháp tổng hợp
T (°C)
Tham khảo
Dây nano
...
... được nghiêncứu rõ ràng hơn [68].
1.4. CÁC PHƢƠNG PHÁP KHẢOSÁTCÁC THUỘC TÍNH CẤU TRÚC VÀ
TÍNH CHẤTCỦAVẬTLIỆU SAU CHẾTẠO
11
Các chuyển mức phát xạ gần bờ vùng này chỉ được quan sát ... nguồn vậtliệu
ZnS và muối MnCl
2
lên trên đế Si/Au và Si/SiO
2
. Các kết quả khảosáttínhchất
quang củacác mẫu chếtạo theo cách tiếp cận thứ nhất cho thấy phổ phát xạ của dây
nano ZnS ... vàkhảosát quá trình chuyển pha ZnS/ZnO củacác cấu trúc
nano ZnS một chiều” đã được lựa chọn và đặt ra các mục tiêu nghiêncứu cụ thể
nhƣ sau:
- Nghiêncứu phát triển công nghệ chếtạo các...
... việc của pin.
3.4 Chếtạovàkhảosátcác ñặc trưng tínhchấtcủa màng TiO
2
/CdS
Để nghiêncứu vai trò của CdS như là một chất nhuộm màu cho màng TiO
2
,
chúng tôi đã tiến hành chếtạocác ... cơ, vậtliệu bán dẫn cấu trúc nano đến cácvật
liệu polyme đã được nghiêncứuchế tạo. Căn cứ vào vậtliệu làm chất nhạy sáng,
người ta phân loại pin mặt trời quang điện hóa PEC thành ba loại ... tiêu hướng tới của luận án là chếtạovà
nghiên cứucáctínhchấtcủa màng mỏng ZnO và TiO
2
pha anatase có hình thái học
thích hợp và có độ xốp cao. Đồng thời phải có cáctínhchất quang điện...
... như TiO
2
và ZnO có
cấu trúc nano cũng đã được tiến hành nghiêncứu nhằm mục đích chếtạocácloại
sensors, hay cácvậtliệu phát quang. Tuy nhiên việc nghiêncứuchếtạocácvậtliệu
màng ... trúc nano có cáctínhchất phù hợp với yêu cầu của việc
chế tạo linh kiện pin mặt trời chưa được quan tâm nhiều. Chính vì vậy chúng tôi chọn
đề tài: Chếtạovàkhảosátcáctínhchấtcủa màng ... nghiệm chếtạovàkhảosátcác thông số đặc trưng của linh kiện pin quang
điện hóa dạng SSSC dựa trên các điện cực ôxít bán dẫn có chất nhạy sáng là các hạt
bán dẫn CdS chếtạo được.
Tính mới và...
... Màng cách điện [42]
Các ứng dụng kỹ thuật hiện nay phụ thuộc rất lớn vào công nghệ vậtliệu mới và
các quá trình tạo màng, đặc biệt các dụng cụ dựa trên vậtliệu silicon cần các hợp chất
cách ... lãng mà đa số cácnghiêncứu tập
trung vào điều chế nhôm kimloại từ quặng bô xít, trong thời gian gần đây, hợp chất
này mới được các nhà khoa học trong và ngoài nước quan tâm nghiêncứu trở lại. ... Jaeyoung Lee
vàcác đồng
sự (2005) [32] đã công bố tạo ra sợi nano TiO
2
trên nền ôxit nhôm xốp điện hóa và
ứng dụng nghiêncứu điện dung của sợi nano TiO
2
vừa tạo được
.
Hình thái củacác lỗ...