Hiện nay, trờn thế giới đó phỏt triển rất nhiều cụng nghệ để chế tạo ZnO dạng màng mỏng và cỏc cấu trỳc nano. Đú cú thể là những cụng nghệ thuần tỳy mang tớnh vật lý như phương phỏp bốc bay hoặc thuần tỳy húa học như cỏc phương phỏp pha khớ và pha lỏng. Một số lượng lớn cỏc phương phỏp khỏc là sự kết hợp giữa vật lý và húa học…
Màng mỏng và cỏc cấu trỳc nano của ZnO cú thể chế tạo bằng một số phương phỏp như: sol-gel, epitaxy chựm phõn tử, lắng đọng hơi húa học, phỳn xạ magnetron, lắng đọng xung laze và phun phõn hủy nhiệt trờn một số loại đế khỏc nhau… Nhờ sự phỏt triển của cụng nghệ chế tạo vật liệu, cỏc nhà khoa học đó cú thể tạo ra màng mỏng và cỏc cấu trỳc nano của ZnO một cỏch rất phong phỳ và đa dạng về cấu trỳc, qua đú tạo điều kiện thuận lợi để nghiờn cứu tớnh chất của cỏc vật liệu trờn.
Trong những năm gần đõy, một số cơ sở nghiờn cứu trong nước, trong đú cú cỏc phũng thớ nghiệm của khoa Vật lý - trường Đại học Khoa học tự nhiờn – ĐHQG Hà Nội đó sử dụng cỏc phương phỏp vật lý và húa học khỏc nhau để chế tạo và nghiờn cứu cỏc tớnh chất vật lý của vật liệu quang điện tử ZnO và ZnO pha tạp chất dưới dạng màng mỏng và cỏc cấu trỳc nano. Đặc biệt, cỏc nghiờn cứu và ứng dụng cụng nghệ nano cũn khỏ mới mẻ. Cỏc kết quả nghiờn cứu cơ bản cũng như nghiờn cứu ứng dụng tại Việt Nam trong lĩnh vực khoa học và cụng nghệ nano mới chỉ là bước khởi đầu.