Ngày tải lên :
27/06/2014, 11:20
... nhiệt độ khác 60 10,3 29,9 17, 0 -5,48 -3,92 -3,84 9,2 18,9 17, 7 -7, 86 -6,94 -4,52 11,6 14 ,7 16 ,7 -10,95 -7, 39 -5,64 20,9 27, 0 24,5 -10 ,72 -6 ,79 -4,52 26,0 30,0 23,5 -11,90 -7, 84 -5,42 420 800 211 ... hỗn hợp khí làm việc: Tỷ lệ mol khí làm việc nO2 / nAr: Khoảng cách bia - đế : Thời gian tạo màng: Nhiệt độ đế: 4200C Bảng Các thơng số tạo màng SnO2:Sb Trong hệ số hấp thụ màng; A số; η hệ số ... trình phún xạ tạo màng, áp suất hỗn hợp khí làm việc Ar+O2 cần mức cao khoảng 10-2 torr để tránh ứng suất nén phá hỏng màng Các thơng số tạo màng phương pháp phún xạ magnetron phản ứng cơng trình...