Vật liệu điện mụi cú thể được tổng hợp bằng năng lượng của súng điện từ cao tần. Tần số của vi súng thường nằm trong khoảng 900 - 2450 MHz. Ở tần số vi súng thấp, cường độ dũng điện bờn trong vật liệu phụ thuộc vào chuyển động của cỏc ion hợp thành cú thể chuyển năng lượng từ vựng vi súng đến vật liệu. Ở tần số cao hơn, năng lương hấp thụ cơ bản phụ thuộc vào cỏc phõn tử với lưỡng cực khụng đổi mà cú xu hướng đinh hướng lại dưới ảnh hưởng của một vựng lưỡng cực điện vi súng. Sự định hướng lại này làm mất đi cấu tạo ban đầu từ sự khụng phõn cực đến nửa chu kỳ của vựng lưỡng cực điện theo sau cực nhanh, vỡ thế ứng dụng vào sự phõn cực trễ pha của lưỡng cực điện. Những sự bảo đảm này là mật độ dũng kết quả cú pha hợp thành với lưỡng cực, vỡ vậy điện năng được tỏn xạ trong vật liệu điện mụi. Ứng dụng chớnh của việc sử dụng vi súng trong cụng nghiệp là truyền nhiệt nhanh, thể tớch và nhiệt cục bộ lớn. Bức xạ vi súng được ứng dụng để điều chế cỏc loại vật liệu nano TiO2 khỏc nhau. Corradi và cộng sự đó tỡm ra hệ keo huyền phự hạt titan nano cú thể được điều chế từ 5 phỳt đến 1 giờ với bức xạ vi súng, trong khi phải mất từ 1 đến 32 giờ đối với phương phỏp thuỷ phõn bức xạ thụng thường ở 195 0C. Ma và cộng sự đó phỏt triển sợi TiO2 nano chất lượng cao với phương phỏp thuỷ nhiệt vi súng và phỏt hiện ra chỳng tụ hợp lại trong hạt nano hỡnh cầu nhỏ hơn. Wu và cộng sự đó điều chế ống TiO2 nano bằng bức xạ vi súng thụng qua phản ứng của tinh thể TiO2 dạng anata, rutin hay hỗn hợp giữa chỳng và dung dịch NaOH dưới tỏc động của nguồn vi súng. Thụng thường, cỏc ống TiO2 nano cú lỗ hổng ở giữa, hở cuối, và cấu trỳc đa thành với đường kớnh 8 - 12 nm và chiều dài 200 - 1000 nm.