Chùa tọa lạc ở thôn Dương Xuân Thượng III, xã Thủy Xuân, thành phố Huế, tỉnh Thừa Thiên Huế. Chùa ban đầu là am An dưỡng do hòa
thượng Nhất Định dựng vào năm 1843. Năm 1848, sau khi hòa thượng viên tịch một năm, các vị thái giám trong triều lo nghĩ khi chết không người thờ tự nên đã nghĩ đến cách ký thác thể xác và tâm hồn cho nhà chùa, vì thế đã cúng góp tiền của mua ruộng đất cúng vào nhà chùa và xin Vua ban cấp tiền bạc, vật liệu tu sửa, xây dựng chùa Từ Hiếu thành một ngôi chùa lớn.
Chùa xây theo kiểu chữ khẩu có 3 gian 2 chái. Chính điện phía trước dùng để thờ phật, phía sau dùng để thờ Tổ. Hậu điện là Quảng Hiếu Đường. Ở giữa thờ các đức thánh quan, bên trái thờ Hương Linh phật tử tại gia, bên phải thờ các vị thái giám, có 1 án thờ dành riêng cho thái giám Lê Văn Duyệt… Bên tả sân hậu là Tả Lạc Thiên (nhà Tăng) và bên hữu là hữu Ai Nhật (nhà khách).
Cổng chùa xây theo kiểu vòm cuốn 2 tầng, phía trên chính giữa thờ tượng Hộ Pháp. Trong cổng tam quan có Hồ bán Nguyệt được xây dựng năm 1931, trong hồ thả hoa sen, hoa súng và cá cảnh. Hai bên
sân có 2 lầu để bia ghi lịch sử xây dựng chùa.
Chùa được vua Tự Đức ban tấm biển “Sắc Tứ từ hiếu Tự”. Chùa được tiếp tục trùng tu, chỉnh trang vào các năm 1865, 1894, 1931, 1962, 1971… Chùa là ngôi tổ đình ở Huế. Trước đây chùa là một trong những nơi ấn hành kinh, luật của Phật giáo. Trong vườn tháp có tháp mộ của những danh tăng Nhất Định, Diệu Giác, Cương Kỷ… Chùa Từ Hiếu là danh lam thắng cảnh xưa nay của đất thành kinh