2.2.1. Hệ phún xạ điện cực Au
Điện cực Au được chế tạo bằng phương pháp phún xạ DC bằng thiết bị JFC 1200 tại trường Đại học Khoa học Tự nhiên như Hình 2.6.
Luận văn Thạc sĩ Nguyễn Văn Lợi
Hình 2.6: Máy phún xạ cao áp một chiều tại trường Đại học Khoa học Tự nhiên, Đại học Quốc gia
Hà Nội.
Trong phún xạ cao áp một chiều, người ta sử dụng hệ chỉnh lưu điện thế cao áp (đến vài kV) làm nguồn cấp điện áp một chiều được đặt trên hai điện cực trong chng chân khơng (Hình 2.7). Bia phún xạ chính là cathode phóng điện, tùy thuộc vào thiết bị mà diện tích của bia nằm trong khoảng từ 10 đến vài trăm cm2. Cơ chế hình thành plasma giống cơ chế phóng điện lạnh trong khí kém. Điện tử thứ cấp phát xạ từ cathode được gia tốc trong điện trường cao áp, chúng ion hóa các ngun tử khí, do đó các ion khí Ar+ bị hút về cathode, bắn phá lên vật liệu làm bật các nguyên tử ra và ngưng kết trên đế.
Luận văn Thạc sĩ Nguyễn Văn Lợi
2.2.2. Cấu trúc tụ điện sắt điện 2.2.2.1. Chuẩn bị 2.2.2.1. Chuẩn bị
Màng mỏng PZT sau khi được kết tinh ở nhiệt độ thích hợp cần được phủ điện cực lên bề mặt nhằm phục vụ cho việc khảo sát các tính chất điện Hình 2.8a
(a) (b)
Hình 2.8: a) Màng PZT sau khi ủ nhiệt; b) Mặt nạ sử dụng trong chế tạo điện cực.
Để có được điện cực như Hình 2.8b công nghệ được sử dụng là dán mặt nạ lên trên bề mặt của mẫu. Như vậy sau khi phún xạ chỉ những diện tích màng tiếp xúc với lỗ trống trên mặt nạ mới có vật liệu phún xạ ở trên. Kích thước của các điện cực chế tạo là điện cực trịn có các đường kính là 100, 200 và 500 µm.
2.2.2.2. Điều kiện ngƣng kết điện cực Au
Các thơng số chế tạo điện cực Au được trình bày trong Bảng 2.1 dưới đây.
Bảng 2.1: Thông số chế tạo điện cực thuần bằng phương pháp phún xạ.
Nguồn phún xạ Áp suất chân không
cơ sở ( Pa)
Công suất (W) Thời gian ( phút)
DC 6 110 8
Sau khi đã chuẩn bị mẫu và điều kiện phún xạ thích hợp chúng tơi thực hiện phún xạ điện cực trên bằng vàng và thu được kết quả như Hình 2.9.
Luận văn Thạc sĩ Nguyễn Văn Lợi
(a) (b)
Hình 2.9: (a) Hình ảnh chụp mẫu sau khi phủ điện cực Au; (b) Cấu trúc tụ điện sắt điện
Au/PZT/Pt/TiO2/SiO2/Si.