Để có được điện cực như Hình 2.8b cơng nghệ được sử dụng là dán mặt nạ lên trên bề mặt của mẫu. Như vậy sau khi phún xạ chỉ những diện tích màng tiếp xúc với lỗ trống trên mặt nạ mới có vật liệu phún xạ ở trên. Kích thước của các điện cực chế tạo là điện cực trịn có các đường kính là 100, 200 và 500 µm.
2.2.2.2. Điều kiện ngƣng kết điện cực Au
Các thơng số chế tạo điện cực Au được trình bày trong Bảng 2.1 dưới đây.
Bảng 2.1: Thông số chế tạo điện cực thuần bằng phương pháp phún xạ.
Nguồn phún xạ Áp suất chân không
cơ sở ( Pa)
Công suất (W) Thời gian ( phút)
DC 6 110 8
Sau khi đã chuẩn bị mẫu và điều kiện phún xạ thích hợp chúng tơi thực hiện phún xạ điện cực trên bằng vàng và thu được kết quả như Hình 2.9.
Luận văn Thạc sĩ Nguyễn Văn Lợi
(a) (b)
Hình 2.9: (a) Hình ảnh chụp mẫu sau khi phủ điện cực Au; (b) Cấu trúc tụ điện sắt điện
Au/PZT/Pt/TiO2/SiO2/Si.
2.3. Thiết bị khảo sát các tính chất màng mỏng 2.3.1. Thiết bị khảo sát cấu trúc tinh thể (XRD) 2.3.1. Thiết bị khảo sát cấu trúc tinh thể (XRD)
Phương pháp nhiễu xạ tia X được sử dụng ph biến nhất để nghiên cứu cấu trúc tinh thể của các vật liệu. Từ giản đồ nhiễu xạ tia X có thể xác định được các pha tinh thể, đồng thời có thể sử dụng định tương đối về lượng pha và xác định kích thước tinh thể. Tia X là sóng điện từ có bước sóng trong khoảng 100 pm đến 10 nm. Tia X có khả năng xuyên qua nhiều vật chất nên thường được dùng trong y tế, nghiên cứu tinh thể. Xét chùm tia X có hai tia tới hai mặt phẳng nguyên tử liền kề nhau cách nhau một khoảng là d, góc tạo bởi chùm tia tới với mặt phẳng ngun tử là θ. Do tinh thể có tính chất tuần hồn, các mặt tinh thể sẽ cách nhau những khoảng đều đặn d, đóng vai trị giống như các cách tử nhiễu xạ và tạo ra hiện tượng nhiễu xạ của các tia X. Khi đó các tia phản xạ tương ứng sẽ có hiệu đường đi (quang trình) bằng:
2dsin
D =l q (2.1)
Để có cực đại nhiễu xạ trên phim ảnh thì hiệu đường đi này phải thỏa mãn điều kiện bằng số nguyên lần của bước sóng, nghĩa là:
2dsinq= l n (2.2) Với n là các số nguyên, n = 1,2,3….
Luận văn Thạc sĩ Nguyễn Văn Lợi