Trước khi đã chế tạo điện cực bằng vàng chúng tơi khảo sát kích thước mặt nạ dùng để phún xạ điện cực cho tụ điện sắt điện. Hình 3.19a là ảnh mặt nạ dùng để chế tạo điện cực vàng và đo kích thước lỗ trịn trên mặt nạ cho thấy kích thước như
Hình 3.20 phù hợp với kích thước thiết kế, với ba kích thước là 100 μm, 200 μm và
500 μm. Hình 3.19a: Ảnh mặt nạ dùng để chế tạo điện cực Au. Hình 3.19b: Kính hiển vi quang học. (a) (b) (c) Hình 3.20: Ảnh các kích thước lỗ tròn của mặt nạ.
Sau khi chế tạo điện cực bằng máy phún xạ cao áp 1 chiều (Hình 2.6) chúng tơi thu được hình ảnh bề mặt điện cực như Hình 3.21.
Luận văn Thạc sĩ Nguyễn Văn Lợi
Hình 3.21: Ảnh điện cực Au phủ trên màng mỏng PZT.
Để so sánh kích thước điện cực so với kính thước lỗ trịn của mặt nạ chúng tơi tiến hành đo kích thước điện cực trên bề mặt mẫu bằng kính hiển vi quang học
Hình 3.19b và thu được kết quả như Hình 3.22.
Hình 3.22: Ảnh các kích thước thực sau khi phún xạ.
Từ kết quả đo chúng tơi nhận thấy kích thước điện cực thực tế xuất hiện trên bề mặt mẫu lớn hơn kích thước lỗ trịn trên mặt nạ từ 4% đến 10%, điều này có thể được giải thích là trong q trình phún xạ các nguyên tử vàng từ bia đến đập vào mặt nạ sau đó đến mẫu. Do giữa mặt nạ và mẫu có một khoảng cách nhỏ O1O2 như (Hình 3.23) mặt nạ nằm nữa bia và mẫu, tương tự như ánh sáng từ một nguồn sáng điểm đi qua lỗ trong bị nhiễu xạ và trên màn quan sát đặt sau lỗ trịn sẽ thu được kích thước lớn hơn. Từ đó chúng tơi nhận thấy kích thước điện cực vàng tăng dẫn tới tốn nhiên liệu tuy nhiên sẽ làm cho q trình đo tính chất điện của tụ điện được dễ dàng hơn.
Luận văn Thạc sĩ Nguyễn Văn Lợi
Có thể hiệu chính kích thước thước điện cực trên bề mặt mẫu bằng cách, giảm khoảng cách O1O2 giữa mặt nạ và màng, hoặc trong q trình phún xạ vị trí giữa bia-mặt nạ-màng phải nằm trên một đường thẳng vng góc với màng.
Hình 3.23: Mơ hình phún xạ điện cực Au.