Như đã trình bày và phân tích ở trên, màng mỏng sắt điện ngày càng thu hút sự quan tâm rất lớn vì khả năng ứng dụng lớn trong các ứng dụng thiết bị cảm biến, MEMS, và bộ nhớ truy cập ngẫu nhiên FeRAM. Trong các vật liệu dùng để chế tạo
Luận văn Thạc sĩ Nguyễn Văn Lợi
FeRAM thì vật liệu PZT với các tính chất ưu việt như, độ phân cực dư lớn, nhiệt độ kết tinh thấp đã tỏ ra ưu thế so với vật liệu sắt điện khác trong sử dụng chế tạo bộ nhớ sắt điện FeRAM.
Mỗi phương pháp chế tạo màng mỏng PZT trên các đế vật liệu khác nhau đều có các ưu điểm riêng và nhiệm vụ của các nhà khoa học là cần tìm ra giải pháp phù hợp về điều kiện kinh tế, thời gian chế tạo và sự đơn giản trong quá trình chế tạo. Vì vậy, tên đề tài luận văn được xác định là:
“Tối ƣu tính chất sắt điện của màng mỏng PZT đƣợc xử lý nhiệt và kết tinh trong mơi trƣờng ozone”.
Trong đó, nội dung nghiên cứu trong luận văn sẽ tập trung:
- Nghiên cứu chế tạo màng mỏng PZT bằng phương pháp dung dịch trên đế Pt/TiO2/SiO2/Si để tìm ra điều kiện kết tinh tối ưu.
- Nghiên cứu chế tạo điện cực trên bằng vàng bằng phương pháp phún xạ trên đế PZT/Pt/TiO2/SiO2/Si.
- Khảo sát cấu trúc và tính chất của lớp màng mỏng sắt điện PbZr0.4Ti0.6O3 trên đế Pt/TiO2/SiO2/Si ở các dải nhiệt độ khác nhau để tìm ra điều kiện tối ưu.
- Khảo sát cấu trúc và tính chất của lớp màng mỏng sắt điện PbZr0.4Ti0.6O3 trên đế PZT/Pt/TiO2/SiO2/Si được ủ trong môi trường ozone để tối ưu hóa tính chất điện
Luận văn Thạc sĩ Nguyễn Văn Lợi
CHƢƠNG 2
THỰC NGHIỆM VÀ KHẢO SÁT