CHƯƠNG II : THỰC NGHIỆM
2.2. Nghiên cứu đặc trưng cảm biến
Đặc trưng đáp ứng của cảm biến được nghiên cứu trên hệ thiết bị phân tích tính chất cảm biến tại Phòng cảm biến và thiết bị đo khí, Viện Khoa học vật liệu-VAST. Ở đó, các nguồn khí chuẩn được sử dụng gồm khí NO2 (1000 ppm trong N2) của hãng Air Liquide America Specialty Gases – LLC; các khí NO, CO, CO2, CH4 và C3H8từ hãng Singapore Oxygen Air Liquide Pte Ltd.
Khí chuẩn được khống chế, điều khiển thành dòng khí liên tục và trộn với hồn hợp khí (80% N2 và 20% O2) để đạt được nồng độ khí mong muốn cho nghiên cứu đặc trưng nhạy khí [54].
Hình 2.10: Sơ đồ hệ phân tích tính chất nhạy khí của cảm biến.
Tốc độ các dòng khí chuẩn được khống chế bằng các lưu lượng kế (MFC, model GFC-17 của hãng Aalborg - USA). Linh kiện cảm biến được đặt trong buồng đo có thể tích 5 dm3. Tổng lưu lượng khí qua buồng đo được đặt cố định là 500 ml/phút. Nhiệt độ hoạt động của cảm biến được khống chế qua điện áp đặt vào lò vi nhiệt Pt và được xác định qua cảm biến nhiệt độ Pt-100.
Điện thế đáp ứng của cảm biến được ghi nhận trực tiếp trên hai điện cực qua thiết bị đo điện thế (Keithley 2700 - USA).
Hình 2.10 minh họa sơ đồ nguyên lý của hệ phân tích đặc trưng nhạy khí của cảm biến trong luận án. Với hệ thống này, việc khảo sát tính chất của cảm biến khá linh hoạt.
Vùng nồng độ khí mong muốn cho nghiên cứu là khá rộng có thể từ một ppm đến một vài % theo thể tích. Nhiệt độ hoạt động của cảm biến có thể được khống chế cao nhất đến 900 oC.