- Phạm vi ứng dụng:
b) Phƣơng pháp bốn mũi dò
Phương pháp này có thể áp dụng để đo tất cảcác loại mẫu dày hay mỏng. Hình 53 là sơ đồ mạch điện đo bằng bốn mũi dò. Gia công mũi dò cần thỏa mãn các điều kiện sao cho khoảng cách (l) giữ a hai mũi dò liên tiếp hoàn toàn như nhau và khoảng cách từ mũi dò gần nhất đến biên ngoài của mẫu đo phải lớn hơn 3l. Trong kỹ thuật vật lý bán dẫn, để đo điện trở suất của chất bán dẫn, thí dụ Si hay Ge, bốn mũi dò thường được làm bằng thanh kim loại vonfram đường kính nhỏ , đầu nhọn đặt lên mẫu. Để đảm bảo tiếp xúc tốt, đầu dò được ép xuống mặ t mẫu bởi bốn lò xo.
Hình 53: Sơ đồ thực hiện điện trở suất bằng phương pháp bốn mũi dò
Lớp màng Al/Au bốc bay chân không
Dải bằng Cu Bề mặt mẫu
Để hiểu biết tốt các tính chất của màng mỏng chúng ta cần kết hợp nhiều phương pháp nghiên cứu khác nhau được tiến hành trên cùng một mẫu, thí dụ phân tích cấu trúc tinh thể, hình thái học bề mặt, tính chất điện và quang. Trong nhiều trường hợp việc phân tích màng mỏng đơn hay một hệ /linh kiện màng mỏng nói chung cần thực hiện tức thì (các phép đo in situ) trong lúc mẫu được đặt trong trường ngoại nhưđiện từ trường, ánh sáng, nhiệ tđộ , dòng ion,… Ngoài ra, các phép đo kể trên cũng cần được kết hợp với nhiều phương pháp khác nữa như phổ điện thế quét vòng, phổ tổng trở điện hóa. Có như vậy chúng ta mới làm sáng tỏ các cơ chế của hiệu ứng hay hiện tượng vật lý xảy ra trong hệ màng mỏng.
III.3.3. Các tính chất vật lý khác