1.8.1.1. Plasma phát sáng (glow discharge) [78]
Hình 1.6. Các chế độ phóng điện tạo plasma
Sự phóng điện phát ra ánh sáng hình thành bởi dòng điện qua một chất khí áp suất thấp được gọi là plasma phát sáng. Nó được tạo ra bằng cách áp
một điện áp giữa hai điện cực kim loại trong một ống thủy tinh chứa khí. Khi điện áp vượt quá một giá trị nhất định được gọi là điện áp mồi thì khí trong ống bị ion hóa, trở thành plasma và trở nên dẫn điện làm cho nó phát sáng với một ánh sáng màu như trong hình 1.6.
Màu sắc phụ thuộc vào khí trong ống. Plasma phát sáng được sử dụng rộng rãi trong nguồn ánh sáng trong các thiết bị như đèn neon, đèn huỳnh quang, và TV màn hình plasma, phân tích quang phổ hay kỹ thuật phún xạ.
1.8.1.2. Plasma điện dung cặp [49]
Một trong những loại phổ biến nhất của nguồn plasma công nghiệp đó là plasma điện dung cặp. Nó chủ yếu bao gồm hệ hai điện cực kim loại ở khoảng cách nhỏ , được đặt trong thiết bị phản ứng. Áp suất khí thiết bị phản ứng thấp hơn so với không khí. Nguồn điện để tạo plasma có tần số radio thường là 13,56 MHz. Một trong hai điện cực được nối với nguồn điện, và cực còn lại nối đất. Nguyên lý tương tự như tụ điện ở mạch điện, plasma hình thành được gọi là plasma điện dung cặp. Khi một điện trường được tạo ra giữa các điện cực, các nguyên tử bị ion hóa và phát ra điện tử. Các điện tử trong khí được gia tốc bởi điện trường tần số radio và nó có thể ion hóa khí trực tiếp hoặc gián tiếp do va chạm, điều này tạo ra các điện tử thứ cấp. Khi điện trường đủ mạnh, lượng điện tử được tạo ra mãnh liệt và khí trở nên dẫn điện do có nhiều electron tự do. Thường nó đi kèm với phát xạ ánh sáng từ các nguyên tử hay phân tử kích thích trong khí. CCP có ứng dụng rộng rãi trong ngành công nghiệp bán dẫn chế biến để lắng đọng màng mỏng (phún xạ , PECVD ) và khắc plasma.
1.8.1.3. Plasma điện cảm kết hợp (ICP) [55], [94]
Một loại nguồn plasma khác là plasma điện cảm kết hợp được tạo ra từ năng lượng được cung cấp bởi dòng điện cảm ứng điện từ.
1.8.1.4. Plasma vi sóng [20]
Tương tự như plasma điện dung cặp hay điện cảm kết hợp nhưng nó thường có giá trị tần số vi sóng.