T ỔNG QUAN VỀ VẬ LIỆU NANễ
2.2.1.1. Kớnh hiển vi điện tử quột (SEM)
Kớnh hiển vi điện tử quột là một loại kớnh hiển vi điện tử cú thể tạo ra ảnh với độ phõn giải cao của bề mặt mẫu vật bằng cỏch sử dụng một chựm điện tử hẹp quột trờn bề mặt mẫu. Việc tạo ảnh của mẫu vật được thực hiện thụng qua việc ghi nhận và phõn tớch cỏc bức xạ phỏt ra từ tương tỏc của chựm điện tử với bề mặt mẫu vật. Chựm điện tử trong SEM được phỏt ra từ sỳng phúng điện tử (cú thể là phỏt xạ nhiệt hay phỏt xạ trường …), được gia tốc trong điện trường và hội tụ thành một chựm điện tử hẹp (cỡ vài chục ăngstrong đến vài nanụ một) nhờ hệ thống thấu kớnh từ, sau đú quột trờn bề mặt mẫu nhờ cỏc
cuộn quột tĩnh điện để ghi được ảnh vi hỡnh thỏi của toàn bộ bề mặt mẫu. Độ phõn giải của SEM được xỏc định từ kớch thước chựm điện tử hội tụ, mà kớch thước của chựm điện tử quột này chịu ảnh hưởng bởi hoạt động của cỏc thấu kớnh từ, điện ỏp gia tốc điện tử và tương tỏc của chựm điện tử thứ cấp sinh ra trờn mẫu. Khi điện tử tương tỏc với bề mặt mẫu vật sẽ cú bức xạ phỏt ra, sự tạo ảnh SEM và cỏc phộp phõn tớch được thực hiện thụng qua việc phõn tớch cỏc bức xạ này.
Một trong cỏc ưu điểm của kớnh hiển vi điện tử quột là làm mẫu dễ dàng, khụng phải cắt thành lỏt mỏng và phẳng. Độ phõn giải của SEM được xỏc định từ kớch thước chựm điện tử hội tụ. Kớnh hiển vi điện tử quột thụng thường cú độ phõn giải ~5 nm. Kớnh hiển vi điện tử quột phõn giải cao cú thể đạt độ phõn giải ~nm (FE-SEM S-4800 Hitachi đạt độ phõn giải 1,4 nm).