Việc cấp nhiệt và nhất là ổn định nhiệt độ cho đế tạo màng trong quá trình tạo màng bằng phƣơng pháp phun nhiệt phân rất quan trọng, bao gồm nhiều công đoạn. Trƣớc tiên, đế tạo màng đƣợc nung nóng đến các nhiệt độ tạo màng trên lò nung hở, có quán tính nhiệt thấp sử dụng đèn halogen. Bằng việc sử dụng đèn halogen trong lò tự chế tạo có thể tạo đƣợc nhiệt độ lên đến 500 oC hoặc hơn (tuỳ thuộc công suất của đèn halogen dùng cho lò). Nhiệt độ đế tạo màng đƣợc kiểm soát bằng thiết bị khống chế nhiệt độ của lò dùng kỹ thuật số. Sơ đồ bố trí thực nghiệm chế tạo mẫu đƣợc biểu thị trên hình 2.1.
Hình 2.1 Sơ đồ hệ tạo mẫu bằng phương pháp phun nhiệt phân.
Các thông số kỹ thuật của các thiết bị sử dụng trong sơ đồ:
- Đèn halogen loại ống trụ dài 18 cm, điện áp 220 V, công suất từ 500 đến 1000 W tùy theo yêu cầu của nhiệt độ đế trong thực nghiệm. Đui giá lắp đèn bằng sứ chịu nhiệt, dây nối với đèn dùng loại vỏ bọc amian chịu nhiệt.
– Vỏ lò bao bên ngoài đèn làm bằng thép không gỉ để có thể sử dụng lâu bền
Đế nhôm
Đế thuỷ tinh Cặp nhiệt điện
Lò đốt bằng đèn halogel có hộp inox bao quanh
Điều khiển nhiệt độ 220V ~
Luận án Tiến sĩ Vật lý
---
dƣới tác dụng của các hoá chất phân huỷ ở nhiệt độ cao. Mặt lò phía trên kẹp đế tạo mẫu đƣợc gá lắp một tấm kim loại bằng nhôm dày 3 – 5 mm. Mặt ngoài của tấm nhôm, phía tiếp xúc với đế đƣợc mài phẳng và nhẵn bằng giấy nhám mịn để đảm bảo truyền nhiệt tốt và đồng đều cho đế tạo mẫu.
– Giá đỡ lò có thể làm bằng kim loại hoặc gỗ cứng đƣợc gia công sao cho thuận tiện đối với việc gá lắp lò. Giá đỡ lò có thể quay xung quanh trục ngang ở mọi góc độ thuận tiện cho việc tạo mẫu.
– Bộ điều khiển và khống chế nhiệt độ đảm bảo sao cho với quán tính nhiệt của lò, sai số nhiệt độ không quá 5 oC trong quá trình tạo mẫu.