... I Nguyên lý hoạt động tạo ảnh SEMVi c phát chùm điệntửSEM giống nh vi c tạo chùm điệntửkínhhiểnviđiệntử truyền qua , tức điệntử phát từ súng phóng điệntử (có thể phát xạ nhiệt, hay ... Spectroscopy - WDXS) Một số kínhhiểnviđiệntửquét hoạt động chân khơng si cao phân tích phổ điệntử Auger, hữu ích cho phân tích tinh tế bềmặt SEMPA (Kính hiểnviđiệntửquét có phân tích phân ... Anh) phát triển kínhhiểnviđiệntửquét mơ hình cơng bố luận án tiến sĩ D McMullan với chùm điệntử hẹp có độ phân giải đến 500 Angstrom Tr ên thực tế, kínhhiểnviđiệntửquét thương phẩm...
... (2004) [1] Theo kết nghiên cứu (Hình 2): Bềmặt men có hìnhtháibềmặt tơng tự nh nhóm chứng nhng miệng lỗ ống Tome nông hơn, không rõ nét Bềmặt mịn láng bóng Bềmặt men tơng đối đồng miệng ống ... can thiệp(2) Hình 1: (1), Mẫu chứng: Bềmặt men đợc biểu miệng lỗ ống Tome rõ nét, xếp cạnh kích thớc đặn Và có diện vết trầy xớc (2), nhóm can thiệp: Bềmặt men có hìnhtháibềmặt tơng tự nhng ... tra dới kínhhiểnviđiệntửquét JEOL,Tokyo, Nhật Bản với điện áp 15KV Phân tích kết quả, so sánh phần men tẩy trắng không tẩy trắng độ phóng đại x500, x750, x1500, x2000 Quan sát dới kính HVĐTQ...
... – vi n Khoa học Vật liệu – vi n Khoa học Công nghệ Vi t Nam, tiến hành nghiên cứu đưa giải pháp chụp hiển thị ảnh 3D kínhhiểnviđiệntửquét 2.5.1 Kínhhiểnviđiệntửquét FE -SEM S4800 FE -SEM ... vi c tạo thu lại điệntử thứ cấp Chùm điệntử hội tụ điều khiển quétbềmặt mẫu theo ô mành đồng với chùm tia quéthình CRT Tương tác điệntử với mẫu sinh điệntử thứ cấp, detector thu điệntử ... (Hệ thống viđiện tử) SE Secondary electrons (Điện tử thứ cấp) SEM Scanning Electron Microscope (Kính hiểnviđiệntử quét) TEM Transmission Electron Microscopy (Kính hiểnviđiệntử truyền qua)...
... cứu hìnhthái học vật liệu, linh kiện nanô công nghệ ảnh 3D kínhhiểnviđiệntửquét (3D stereo SEM imaging)” với mục tiêu ứng dụng phát triển kỹ thuật ảnh 3D hiểnviđiệntử nghiên cứu hìnhthái ... cứu phương pháp hiển thị ảnh 3D hiểnvihìnhvi tính kỹ thuật in dán ảnh 3D autostereo hiểnvi Chế tạo mẫu vật liệu có cấu trúc nanơ ứng dụng ảnh 3D hiểnvi nghiên cứu hìnhthái học mẫu vật ... cứu chụp hiển thị ảnh 3D kínhhiểnviđiệntửquét (SEM) Chương trình bày nguyên lý tạo ảnh SEM ảnh hưởng qua lại thông số tượng xảy trình ghi ảnh Một quy trình đầy đủ từvi c chụp, xử lý hiển thị...
... cứu hìnhthái học vật liệu, linh kiện nanô công nghệ ảnh 3D kínhhiểnviđiệntửquét (3D stereo SEM imaging)” với mục tiêu ứng dụng phát triển kỹ thuật ảnh 3D hiểnviđiệntử nghiên cứu hìnhthái ... NGHIÊN CỨU CHỤP VÀ HIỂN THỊ ẢNH 3D TRÊN KÍNHHIỂNVIĐIỆNTỬQUÉT (SEM) 2.1 Nguồn phát xạ điệntử 2.1.1 Phát xạ nhiệt điệntử 2.1.2 Phát xạ trường (field emission) 2.2 Tương tác điệntử với chất rắn ... thác nhiều Kỹ thuật ảnh 3D hiểnviđiệntửquét (3D SEM) bước phát triển quan trọng vi c ứng dụng công nghệ 3D vào vi c tạo ảnh hiểnvi nghiên cứu hìnhthái đối tượng vi mô, dần trở thành công...
... hnh quan sátkínhhiểnviđiệntửquét S-4100M, Hitachi, Japan KếT QUả V THảO LUậN Tiến hnh quan sát 25 mÉu s¸n Echinococcus granulosus tr−ëng thμnh thu ë Qinghai qua kínhhiểnviđiệntử quét, ... điểm hìnhthái sán trởng thnh sán Echinococcus granulosus dới kínhhiểnviđiệntửquét góp phần bổ sung số hiểu biết hìnhthái sán trởng thnh ny m ti liệu có đợc cha đề cập Đặc điểm hìnhthái ... cảm, sán Kết hình ảnh sán dới kínhhiểnviđiệntửquétHình Sán trởng thnh với đốt sán 1- đầu sán; 2- đốt cổ; 3- đốt ch−a thμnh thơc; 4- ®èt thμnh thơc; 5- ®èt giμ 746 Nghiên cứu hìnhthái sán Echinococcus...
... B kínhhiểnviđiệntử truyền qua (TEM:Transmission Electron Microscopy) I Lịch sử đời Năm 1931, lần Ernst August Friedrich Ruska với kỹ sư điện Max Knoll lần dựng nên mơ hìnhkínhhiểnviđiện ... tích lượng điệntử liên quan đến vi c chùm điệntử sau tương tác với mẫu truyền qua bị tổn hao lượng (Phổ tổn hao lượng điệntử - Electron Energy Loss Spectroscopy, EELS), phát điệntử thứ cấp ... Các hệ thấu kính lăng kính (Electron lens) Hệ thống độ (Aperture) Hệ thống quan sát thu ảnh mẫu vật (Viewing screen and television screen ) III.Bộ phận ghi nhận quan sát ảnh Để quan sát ảnh,...
... Nguyên lý SEMPA Về mặt thực chất, SEMPA kínhhiểnviđiệntử quét, cải tiến để ghi lại phân cực spin chùm điệntử Khi chùm điệntửSEMquétbềmặt vật rắn, chùm điệntử thứ cấp phát từbềmặt (thơng ... Spectroscopy - WDXS) Một số kínhhiểnviđiệntửquét hoạt động chân khơng siêu cao phân tích phổ điệntử Auger, hữu ích cho phân tích tinh tế bềmặt SEMPA (Kính hiểnviđiệntửquét có phân tích phân ... phân giải SEMPA hạn chế (bởi kích thước chùm tia điệntử hội tụ) độ tương phản ảnh SEMPA không cao Ưu điểm kínhhiểnviđiệntửquét Mặc dù khơng thể có độ phân giải tốt kínhhiểnviđiệntử truyền...
... phóng điện tử, ba thấu kính tĩnh điện hệ thống cuộn quétđiệntừ đặt thấu kính thứ hai thứ ba, ghi nhận chùm điệntử thứ cấp ống nhân quang điệnHình 2.5: Thiết bị kínhhiểnviđiệntửquét Jeol ... viđiệntửquét (Scanning Electron Microscope, thường vi t tắt SEM) : 2.2.1 Giới thiệu: SEM loại kínhhiểnviđiệntử tạo ảnh với độ phân giải cao bềmặt mẫu vật cách sử dụng chùm điệntử hẹp quét ... Vùng điệntử tán xạ ngược thoát Vùng tia X thoát Hình 2.2: Độ sâu xạ điệntử khỏi bềmặt mẫu Điệntử thứ cấp Phân bố lượng điệntử xạ Các pic Auger Điệntử tán xạ ngược Năng lượng điệntử Hình...
... Thiết bị kínhhiểnviđiệntửquét Jeol 5410 LV Trung tâm Khoa học Vật liệu, Đại học Quốc gia Hà Nội kínhhiểnviđiệntửquét loại kínhhiểnviđiệntử tạo ảnh với độ phân giải cao bềmặt mẫu ... Spectroscopy - WDXS) Một số kínhhiểnviđiệntửquét hoạt động chân khơng siêu cao phân tích phổ điệntử Auger, hữu ích cho phân tích tinh tế bềmặt SEMPA (Kính hiểnviđiệntử qt có phân tích phân ... cỡ 10 nm) Kínhhiểnviđiệntửquét lần phát triển Zworykin vào năm 1942 thiết bị gồm súng phóng điệntử theo chiều từ lên, ba thấu kính tĩnh điện hệ thống cuộn quétđiệntừ đặt thấu kính thứ...
... tác động xạ Cấu tạo kínhhiểnviđiệntử qt Hình 3.1 Cấu tạo máy hiểnviđiệntửquétHình 3.2 Sơ đồ hệ thống thấu kínhtừkínhhiểnviđiệntử qt 3.1 Súng phóng điện Súng điệntử thường hoạt động ... đại kínhhiểnviđiệntử qt lên đến vài trăm ngàn đến triệu lần Lịch sử kínhhiểnviđiệntửquétKínhhiểnviđiệntửquét (tiếng Anh: Scanning Electron Microscope, thường vi t tắt SEM) , loại kính ... chùm điệntử với bềmặt mẫu vật Năm 1926, Ruska nhà khoa học Đức chế tạo kínhhiểnviđiệntửquét hoạt động nguyên tắc quétđiệntửbềmặt mẫu, thu tín hiệu phóng đại hình ống tia điệntử hình...
... chùm tia điệntử dẫn đến thay đổi hìnhthái học bềmặt mẫu Hình 4.7 ảnh điệntử thứ cấp bềmặtbẻ mẫu apatit Lào Cai Hình 4.8(a) (b) tơng ứng ảnh điệntử thứ cấp niêm mạc hỗng tràng trẻ em Vi t Nam ... phát xạ điệntử thứ cấp sáng Kết tơng phản điện ảnh điệntử thứ cấp phân bố điệnbềmặt mẫu Hình 4.15 ảnh điệntử thứ cấp tơng phản ghi đợc điện đợc đặt vào cực vi mạch Nh biết, phân bố bềmặt mẫu ... phẳng Nh vậy, điệntử thứ cấp thích hợp cho quan sát cấu trúc bềmặtđiệntử tán xạ ngợc mang thông tin thành phần nh hìnhthái học bềmặt mẫu, hình 4.12 ảnh địa hìnhđiệntử tán xạ ngợc thông...
... • Vi c tách mẫu dễ dàng cách nhúng vào nước màng tự tách Màng in oxide: • Rất dễ chế tạo cách oxy hoá bềmặt mẫu phương pháp hoá học hay điện hoá • Sau cho ăn mòn phần ... dòch thích hợp) ăn mòn điện hoá (điện phân- mẫu đóng vai trò anode catode làm thép không gỉ, mẫu bò ăn mòn dần đến độ dày cần thiết) đến kích thước nhỏ micromet để chùm điệntử xuyên qua chế tạo ... Trong số trường hợp vấn đề hìnhthái tổ chức thành phần mẫu phải tìm hiểu cấu trúc Trong trường hợp cho ăn mòn phần mẫu cần giữ lại tổ chức màng Kết hợp với ảnh nhiễu xạ tế vi cho đầy đủ thông tin...
... gốm áp điện tín hiệu vi sai lưu giữ hàm x, y để tạo hình ảnh bềmặt ĐẦU DÒ STM • Hình ảnh sắc nét phụ thuộc vào độ sắc nhọn đầu dò Tip chế tạo cắt học, mài bóng tẩm thực điện hoá Bán kính típ ... hình ảnh bềmặt qua thay đổi độ cao z đầu dò Sử dụng phạm viquét lớn 100 Α để đo đòa hìnhbềmặt CHẾ ĐỘ CHIỀU CAO KHÔNG ĐỔI Lúc mạch phản hồi không hoạt động, vò trí z tip giữ không đổi, hình ảnh ... mẫu Khi Vt0 xảy tượng ngược lại CẤU TẠO CỦA STM HỆ CƠ KHÍ • Một hệ khí điều khiển tiếp cận mẫu tip...
... loại kínhhiểnvi sau đay: - Kínhhiểnvi quang học Kínhhiểnviđiệntử truyền qua KínhhiểnviđiệntửquétKínhhiểnviđiêntử tunel hệ kínhhiểnviquét đầu Kínhhiểnvi lực nguyên tửKính ... Kínhhiênviquét trường gần kínhhiểnvi đồng tiêu Ta tìm hiểu loại kínhhiểnviđiện tử: Kínhhiểnviđiệntử truyền qua, Kínhhiểnviđiệntử quét, Kínhhiểnviđiệntử tunel, Kínhhiểnvi lực ... kínhđiệntử ,kính hiểnviđiệntử truyền qua cho độ phóng đại cỡ triệu lần.Song bắt chước cách phóng đại kiểu ghép thấu kính nên kínhhiểnviđiệntử có nhiều hạn chế .kính hiểnviđiệntử quét...
... loại KHVĐT phổ biến : Kínhhiểnviđiệntử truyền qua (Transmission Electron Microscope - TEM) Kínhhiểnviđiệntửquét (Scanning Electron Microscope SEM) I/ Kínhhiểnvi truyền qua (TEM) , ... từ mềm II/ Kínhhiểnviđiệntửquét (SEM) KHVĐT lần đựoc phát triển Zwory Kin năm 1942 , Cấu tạo Súng phóng điệntử hướng lên Ba thấu kính tĩnh điện Hệ thống cuộn quétđiệntừ Ống ... quang điện , Nguyên lý hoạt động tạo ảnh SEMĐiệntử phóng từ súng phóng điệntử sau tăng tốc hội tụ thành chùm điệntử hẹp nhờ hệ thống thấu kínhtừ Một số hình ảnh thu thơng qua SEM ...
... KínhhiểnviđiệntửTừkínhhiểnvi quang học đến kínhhiểnviđiệntử Sơ đồ cấu tạo kínhhiểnvi quang học Các loại kínhhiểnviđiệntử phổ biến Kínhhiểnviđiệntử truyền qua ... hiểnviđiệntử truyền qua (TEM) Kínhhiểnviđiệntửquét (SEM) Kínhhiểnviđiệntử TUNEL (STM) Kínhhiểnvi lực nguyên tử (AFM) Kínhhiểnviđiệntử truyền qua (Tranmission Electron ... khuyết vi c cho thông tin độ sâu ảnh Kínhhiểnviđiệntửquét (Scanning Electron Microscopy - SEM) Kínhhiểnviđiệntửquét , loại kínhhiểnviđiệntử tạo ảnh với độ phân giải cao bềmặt mẫu...
... kínhhiểnviđiện tử, kínhhiểnvi lực nguyên tử Bài giới thiệu cách khái quát dụng cụ phổ biến mà mạnh kínhhiểnviđiệntử (mà chi tiết kínhhiểnviđiệntử truyền qua) Kínhhiểnvi quang học Trong ... tích kèm kínhhiểnviđiệntử Ngồi chức quan sát, kínhhiểnviđiệntử cơng cụ hữu hiệu phân tích dựa vi c phân tích tương tác điệntử chất rắn (xem hình 21) Hình 21 Tương tác điệntử với chất ... nhiều kínhhiểnviđiệntửquét (SEM) nhanh chóng phổ biến TEM rẻ tiền dễ sử dụng (dù ko mạnh TEM), xin đón đọc phần sau 2.2 Kínhhiểnviđiệntửquét (Scanning Electron Microscope - SEM) Kính hiển...