Nghiên cứu hình thái học vật liệu, linh kiện nano bằng công nghệ ảnh nồi 3d trên kính hiển vi điện tử quét (3d stereo SEM imaging)

ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI TRƢỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ CHU ANH TUẤN NGHIÊN CỨU HÌNH THÁI HỌC VẬT LIỆU, LINH KIỆN NANÔ BẰNG CÔNG NGHỆ ẢNH NỔI 3D TRÊN KÍNH HIỂN VI ĐIỆN TỬ QUÉT (3D STEREO SEM IMAGING) LUẬN VĂN THẠC SĨ Hà Nội - 2007 ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI TRƢỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ CHU ANH TUẤN NGHIÊN CỨU HÌNH THÁI HỌC VẬT LIỆU, LINH KIỆN NANÔ BẰNG CÔNG NGHỆ ẢNH NỔI 3D TRÊN KÍNH HIỂN VI ĐIỆN TỬ QUÉT (3D STEREO SEM IMAGING) Chuyên ngành: Vật liệu Linh kiện nanô Mã số: LUẬN VĂN THẠC SĨ NGƢỜI HƢỚNG DẪN KHOA HỌC: TS Phạm Hồng Dƣơng Hà Nội - 2007 MỤC LỤC Trang Trang phụ bìa Lời cam đoan Mục lục Danh mục ký hiệu, chữ viết tắt Danh mục bảng Danh mục hình vẽ, đồ thị MỞ ĐẦU Chương - NGUN LÝ HÌNH ẢNH 3D 1.1 Cơng nghệ ảnh 3D 1.2 Nguyên lý hình ảnh 3D 1.2.1 Sự cạnh tranh (rivalry) 1.3 1.2.2 Hợp thị (convergence) 1.2.3 Sự chênh lệch(disparity) 1.2.4 Stereoscopy Kết luận Chương - NGHIÊN CỨU CHỤP VÀ HIỂN THỊ ẢNH 3D TRÊN KÍNH HIỂN VI ĐIỆN TỬ QUÉT (SEM) 2.1 Nguồn phát xạ điện tử 2.1.1 Phát xạ nhiệt điện tử 2.1.2 Phát xạ trường (field emission) 2.2 Tương tác điện tử với chất rắn 2.3 Sự tạo ảnh điện tử thứ cấp 2.3.1 Điện tử thứ cấp 2.3.2 Quá trình tạo ảnh hệ SEM 2.4 Các yếu tố, tượng ảnh hưởng tới trình tạo ảnh 2.4.1 Nhiễu tỷ số tín hiệu/nhiễu (Sign/Noise) 2.4.2 Kích thước điểm hội tụ 2.4.3 Dòng chùm điện tử hội tụ tới bề mặt mẫu 2.4.4 Độ phóng đại ảnh 2.4.5 Phân giải không gian (spatial resolution) 3 6 10 10 10 11 14 15 15 17 19 19 20 22 23 24 2.4.6 Độ sâu hội tụ (depth of focus) 2.4.7 Khoảng cách làm việc (working distance) 2.4.8 Điện gia tốc (accelerating voltage) 2.4.9 Độ tương phản (contrast) 2.4.10 Sự tích lũy điện tích mẫu 2.5 Nghiên cứu phương pháp chụp 3D 2.5.1 Kính hiển vi điện tử quét FE-SEM S4800 2.5.2 Phương pháp chụp 3D 2.5.3 Ảnh hưởng thông số đến độ sâu ảnh 3D 2.6 Xử lý, mã hóa hiển thị liệu 3D 2.6.1 Kính Red – Cyan ảnh 3D anaglyph 2.6.2 Tấm vi thấu kính ảnh 3D autostereo 2.7 Phương pháp đo độ sâu 26 28 29 31 32 32 32 33 36 40 40 43 45 2.8 Kết luận 47 Chương - TỔNG HỢP NANÔ TINH THỂ ZnO, NGHIÊN CỨU HÌNH THÁI CÁC NANƠ TINH THỂ ZnO BẰNG ẢNH 3D SEM 3.1 Vật liệu ZnO 3.2 Tổng hợp nano tinh thể ZnO 3.2.1 Phương pháp bốc bay nhiệt 3.2.2 Các chế hình thành cấu trúc nanơ 3.2.3 Vai trò xúc tác kim loại 3.2.4 Tổng hợp cấu trúc nanô ZnO 3.3 Khảo sát vật liệu nanô tinh thể ZnO 3.3.1 Phương pháp nhiễu xạ tia X (XRD) 48 3.3.2 Khảo sát tính chất quang 3.4 Các hình thái nanơ tinh thể ZnO 3.5 Kết luận 48 50 50 51 54 56 58 58 59 62 66 KẾT LUẬN VÀ KIẾN NGHỊ DANH MỤC CƠNG TRÌNH CỦA TÁC GIẢ TÀI LIỆU THAM KHẢO 67 69 70 MỞ ĐẦU Công nghệ 3D – công cụ tái giới thực, với khả mô tả lại giới thực trung thực hơn, mang lại nhiều thông tin chi tiết hẳn công nghệ 2D truyền thống, công nghệ 3D ứng dụng rộng rãi phim ảnh 3D, trò chơi 3D, đồ hoạ 3D hay nhiếp ảnh 3D Tuy nhiên, ứng dụng công nghệ 3D vào nghiên cứu khoa học lĩnh vực mẻ, chưa khai thác nhiều Kỹ thuật ảnh 3D hiển vi điện tử quét (3D SEM) bước phát triển quan trọng việc ứng dụng công nghệ 3D vào việc tạo ảnh hiển vi nghiên cứu hình thái đối tượng vi mô, dần trở thành công cụ nghiên cứu cho nhà khoa học Hiện nay, kỹ thuật nghiên cứu phát triển để chụp ảnh MEMS [9], chụp ảnh vật liệu có kích thước nanômét [2], chụp ảnh huỳnh quang 3D tế bào sinh học [43] hay chụp vi sinh vật [19] Hiện nay, với phát triển mạnh mẽ khoa học công nghệ nanô, lĩnh vực chế tạo vật liệu linh kiện có kích thước nanơmét, việc chế tạo khảo sát hình thái vấn đề quan tâm nghiên cứu nhiều nhà khoa học nước [1, 9, 10, 13, 20] Trên thực tế, hình thái phong phú phức tạp cấu trúc nanô thường khó quan sát phương pháp tạo hình ảnh đơn thị 2D truyền thống, người quan sát khó thấy chiều sâu cấu trúc không gian vật thể Với lí đó, chúng tơi chọn đề tài: “nghiên cứu hình thái học vật liệu, linh kiện nanô công nghệ ảnh 3D kính hiển vi điện tử quét (3D stereo SEM imaging)” với mục tiêu ứng dụng phát triển kỹ thuật ảnh 3D hiển vi điện tử nghiên cứu hình thái học mẫu vật có kích thước micrômét nanômét (vật liệu cấu trúc nanô, linh kiện quang tử cấu trúc nanô) Đây đề tài luận văn lần tiến hành nghiên cứu ứng dụng Việt Nam Nội dung nghiên cứu chủ yếu luận văn nhƣ sau:  Nghiên cứu chụp ảnh 3D stereo kính hiển vi điện tử quét (SEM)  Nghiên cứu thông số ảnh hưởng tới chất lượng ảnh nguồn độ sâu hội tụ, độ sâu trường ảnh, độ tương phản phương pháp tăng cường chất lượng ảnh  Nghiên cứu phương pháp hiển thị ảnh 3D hiển vi hình vi tính kỹ thuật in dán ảnh 3D autostereo hiển vi  Chế tạo mẫu vật liệu có cấu trúc nanơ ứng dụng ảnh 3D hiển vi nghiên cứu hình thái học mẫu vật Bố cục luận văn bao gồm chƣơng: Chƣơng - Nguyên lý hình ảnh 3D Trong chương 1, tác giả trình bày cách tổng quan khái niệm, nguyên lý hình ảnh 3D, lịch sử tình hình phát triển cơng nghệ 3D nước giới Bên cạnh số đặc tính thị giác hai mắt cạnh tranh (rivalry), hợp thị (convergence) chênh lệch (disparity) nhắc lại Chƣơng - Nghiên cứu chụp hiển thị ảnh 3D kính hiển vi điện tử quét (SEM) Chương trình bày nguyên lý tạo ảnh SEM ảnh hưởng qua lại thông số tượng xảy trình ghi ảnh Một quy trình đầy đủ từ việc chụp, xử lý hiển thị ảnh SEM kỹ thuật 3D hiển vi xây dựng hoàn thiện chương Ngoài ra, phương pháp đo chiều sâu kỹ thuật chụp hiển thị 3D đề xuất Chƣơng - Tổng hợp nanơ tinh thể ZnO, nghiên cứu hình thái nanô tinh thể ZnO ảnh 3D SEM Chương mơ tả q trình tổng hợp nanơ tinh thể ZnO phương pháp bốc bay nhiệt có tham gia xúc tác Au Sản phẩm thu nanơ tinh thể ZnO có hình thái khác Hình thái vi cấu trúc sản phẩm khảo sát kỹ thuật 3D SEM, kết khảo sát cấu trúc tinh thể, tính chất quang trình bày thảo luận Cuối cùng, phần kết luận kiến nghị trình bày kết đạt đưa kết luận rút từ kết nghiên cứu tác giả Đồng thời, số ý kiến đề xuất hướng nghiên cứu đề tài nêu CHƢƠNG NGUYÊN LÝ HÌNH ẢNH 3D 1.1 Cơng nghệ ảnh 3D Hình ảnh stereo Wheastone sáng tạo năm 1838 [28, 29, 30] Từ tới nay, người làm việc với hình ảnh stereo khơng có nhiều, thường khơng biết đến, nhiệt tình cống hiến họ không suy giảm Ngày nay, thao tác sáng tạo không gian thị giác hai mắt, không thực tuyệt vời stereoscopy, quan tâm ngày nhiều Cơng nghệ 3D khơng cịn xa lạ giới ứng dụng rộng rãi lĩnh vực khác Thế kỷ 21 chứng kiến bùng nổ công nghệ 3D, nhiều hãng lớn đầu tư mạnh cho nghiên cứu ứng dụng 3D máy tính 3D (Sharp, Toshiba), game 3D (Sega), điện ảnh 3D (Walt Disney, Universal Studio), nhiếp ảnh 3D, hay ti vi 3D phổ biến vài năm Thị trường quảng cáo công nghệ 3D phát triển mạnh mẽ giới Tại Việt Nam, giới trẻ bắt đầu quan tâm đến ứng dụng 3D, dừng lại phân đoạn tạo liệu 3D (3D data) phần mềm dựng 3D có sẵn nước (3DSMax, Maya) chưa khai thác công nghệ hiển thị 3D (3D display) Dữ liệu 3D kết hợp với hiển thị 3D phát huy hết ưu điểm đem lại khác biệt thực công nghệ 3D [52] 3D hay công nghệ 3D khái niệm hay lạm dụng thời đại kỹ thuật số Bất thể (trực tiếp hay gián tiếp) tính hình khối hay hiệu ứng bóng đổ gọi sản phẩm cơng nghệ 3D Từ mơ hình 3DSMax, font chữ 3D đến hoạt hình 3D Tuy nhiên, khái niệm 3D hiểu đầy đủ toàn vẹn phải gắn với người, tức phải tuân theo quy luật sinh lý thị giác Vì người có hai mắt nên nhận thức thị giác 3D gắn với người phải giới quan stereo Công nghệ 3D thực thụ phải đem lại cảm giác đắm chìm (immersion) chủ thể quan sát vào đối tượng quan sát Khi hình ảnh (image), mơ hình (model) hay hoạt cảnh (scene) tái phương tiện kỹ thuật số (máy tính, máy ảnh, ), chưa coi 3D đầy đủ đích thực chưa thỏa mãn yếu tố Một mơ hình dựng 3DSmax, Maya coi thực thể 3D chưa trọn vẹn có tính liệu 3D (3D data) mà chưa có tính thể 3D (3D display) Tính hình khối đối tượng thể gián tiếp thông qua lệnh xoay, dịch chuyển, hay hiệu ứng chiếu sáng bóng đổ nhờ cơng cụ điều khiển Khi kết xuất (render) trình chiếu phương tiện hiển thị thơng thường hình máy tính, ti vi hay in giấy, thời điểm vị trí, người quan sát nhận hình ảnh 2D Chỉ liệu kết xuất hai luồng trái, phải riêng biệt hiển thị theo phương pháp 3D coi 3D đầy đủ Ảnh 3D nói riêng hay cơng nghệ hiển thị 3D nói chung ứng dụng vào khoa học Vật lý (chụp ảnh 3D hệ vi MEMS [9], mẫu vật cỡ micrômét, nanômét), vào địa chất, công nghệ vũ trụ (ảnh 3D chụp bề mặt trái đất, bề mặt hỏa), giáo dục đào tạo (các hệ mô 3D tập lái xe ơtơ, lái tàu thủy), y học (mơ hình 3D thể người hay sinh vật), kiến trúc (thiết kế mơ hình nhà cửa 3D), bảo tồn bảo tàng (ảnh 3D di tích hay cổ vật), Trong kỹ thuật ảnh hiển vi 3D, số nhóm tác giả đề xuất giải pháp chụp hiển thị ảnh 3D thiết bị SEM, chưa có báo cáo trình bày cách tường minh cụ thể Giải pháp sáng chế thường thay đổi kết cấu thiết bị chụp SEM lắp thêm cuộn dây làm lệch chùm điện tử [48], tạo hai súng điện tử kết hợp chùm điện tử chùm ion hội tụ thiết bị crossbeam FIB-SEM để ghi ảnh đồng thời góc độ khác [14] Một số hình ảnh chụp hiển thị theo phương pháp 3D anaglyph ảnh bề mặt hỏa, ảnh mặt trăng phát hành NASA [46, 47], ảnh hiển vi chụp vi sinh vật hay ảnh chụp mẫu khoáng vật phục vụ nghiên cứu chế phong hóa lĩnh vực khoa học đất [47] Khi xem ảnh cần dùng kính phân màu anaglyph để tách hai luồng ảnh cho mắt trái mắt phải Ngoài số ảnh 3D anaglyph phục vụ cho nghiên cứu khoa học, viện Khoa học Vật liệu – viện Khoa học Công nghệ Việt Nam, số ảnh tích hợp lenticular autostereo chụp phong cảnh, chụp người thực Không giống ảnh 3D anaglyph, ảnh tích hợp autostereo quan sát trực tiếp mà không cần dụng cụ hay thiết bị hỗ trợ Những phiên 3D nghĩa 3D theo định nghĩa hiệu ứng 3D thể trọn vẹn đem lại khác biệt thực 1.2 Nguyên lý tạo hình ảnh 3D Hình ảnh 3D tạo dựa nguyên lý cảm thụ thị giác người [35, 36] Do có mắt, người có hai điểm nhìn hai vị trí khác khơng gian thực Hai hình ảnh khác mắt trái mắt phải thu tạo nên hiệu ứng đặc thù não bộ, bao gồm cạnh tranh (rivalry), chênh lệch (disparity) hợp thị (convergence) [29, 30] Các phương pháp hiển thị 2D thông thường cho ta hình ảnh mắt phải mắt trái, khơng tạo nên hiệu ứng nói Trước nghiên cứu cách chụp hiển thị ảnh 3D SEM, xem xét lại đặc tính thị giác hai mắt, cạnh tranh (rivalry), hợp thị (convergence) chênh lệch (disparity) 1.2.1 Sự cạnh tranh (rivalry) Sự cạnh tranh lưỡng thị tượng độc đáo thị giác hai mắt Đó hai mắt quan sát hai hình ảnh khác nhau, người quan sát lúc nhìn thấy hình ảnh này, lúc nhìn thấy hình ảnh kia, cách hỗn loạn Tuy nhiên, tượng lại làm cho thị giác hai mắt khác hẳn chất với thị giác mắt, tạo nên vẻ đẹp phong phú mà người nhìn mắt khơng hình dung Ví dụ điển hình ta nhìn viên kim cương, tia sáng cầu vồng khúc xạ ánh sáng viên kim cương rơi vào mắt khác nhau, nên người quan sát thấy viên kim cương lấp lánh Tương tự ta nhìn đĩa CD ánh sáng mặt trời, tia sáng huyền ảo tượng cạnh tranh lưỡng thị đem lại vẻ đẹp độc vơ nhị Hình ảnh stereo holo tái vẻ đẹp này, mà phim ảnh 2D khơng thể Hình 1.1 minh họa tượng cạnh tranh hai mắt Dùng kỹ thuật nhìn chéo (cross view) ta thấy hình ảnh với hình trịn biểu loại thụ cảm thị giác khác nhau: A - cạnh tranh khiết; B - hồ ảnh (fusion), đĩa trịn lên nền; C - xuyên thấu (transperancy), đĩa trịn chìm sâu sau (mắt trái ưu thế), đĩa tròn lên (mắt phải ưu thế); D suốt cạnh tranh: đĩa với sọc chìm sau nền, đĩa có sọc cạnh tranh (sâu nền), biến liên tiếp Hình 1.1 Hình ảnh minh họa tượng cạnh tranh (rivalry) hai mắt Dùng kỹ thuật nhìn chéo (cross view) để quan sát hình ảnh với hình trịn biểu loại thụ cảm thị giác khác Hiện tượng áp dụng để tìm khác biệt nhỏ hai ảnh, ví dụ như: ảnh hai bầu trời so với cách cho mắt nhìn ảnh, mắt dễ dàng nhận khác biệt hai ảnh nhờ vào cạnh tranh lưỡng thị 1.2.2 Hợp thị (convergence) Hiện tượng hợp thị mắt thường gắn chặt với thị sai hai mắt cạnh tranh hình ảnh, vậy, khó tách rời tín hiệu độ sâu Người ta cho khởi nguồn tín hiệu độ sâu từ điều khiển chuyển động mắt [29] Hiện tượng hợp thị kết chồng hai hình ảnh, cho ta cảm giác chiều sâu (hình 1.2) Khi chồng hai hình ảnh khoảng cách lên nhau, hình ảnh vật thể gần xa bị nhân đơi, mắt hình Tuy nhiên tri giác lại thường bỏ qua điều đó, ta khơng quan tâm đến tượng hai hình nét ngồi đối tượng trung tâm TÀI LIỆU THAM KHẢO Chul Yic, Jinkyoung Yoo (2006), “Optical properties of ZnO nanorods and nanowires”, Science Direct 39, 358-365 Acta Materialia 54 1369, (2006), See also: “Nanostructure in 3D”, Max Planck Society Press Release Feb 22nd, 2006 3 Audrey, M Glauert (1974), Practical Methods in Electron Microscopy, North-Holand Publishing Company BC Breton, JTL Thong, WC Nixon (1990), “Advances in stereo SEM techniques”, Inst Phys Conf Series No.98, pp 617-620 Blade, R A., Padgett M L., in Stanney, K M (2002), Handbook of Virtual Environments, Lawrence Erlbaum Associates, Inc., New Jersey, United States, pp 15-27 Chandler, A., (1975), “The Vision of Hyperspace” Stereo World (Nat'I Stereo Assoc., USA) 2:6,Nov-Dec 1975 Cf: Paul Wing, "Hyperspace A Comment," Stereo World 3:1, J/F 1976 Chau K.L (1993), Automated Control in High Resolution Scanning Electron Microscopy, PhD Dissertation, Cambridge University Chinkyo Kim, Won I Park and Gyu-Chul Yi, Miyoung Kim (2006), "Formation and photoluminescent properties of embedded ZnO quantum dots in ZnO/ZnMgO multiple-quantum-well-structured nanorods”, Appl Phys Nos 89, 113106 Chris Kammerud, Besma Abidi, Shafik Huq, and Mongi Abidi (2005),“3D nanovision for the inspection of MEMS systems” The IEEE International Conference on Electronics, Circuits, and Systems, Gammarth, Tunisia December 11-14 2005 10.Chun Li, Guojia Fang, Wenjie Guan, Xingzhong Zhao (2007), “Multipod ZnO 3D microstructures” Materials Letters 61, 3310–3313 11.Cowley, J.M (1976), Principles and Techniques of Electron Microscopy, vol (Hayat, M.A ed.) van Nostrand Reinhold Co New York, pp 40-84 12.Durlach, N I., Mavor, A S (1995): Virtual Reality: Scientific and Technological Challenges, National Academy Press 13.E M Wong, P C Searson (1999), Appl Phys Lett 74, 2939 14.Eric Lifshin, James Evertsen, Edward Princip, and John Friel (2004), “Three Dimensional Imaging of Microelectronic Devices Using a CrossBeam FIB”, Proceedings from the 30th International Symposium for Testing and Failure Analysis, Worcester Massachusetts November 14 - 18, 2004 15.Fuller K., Thong J.T.L., Chambers T.J., Breton B.C (1994), “Automated 3-D characterisation of osteoclast resorption lacunae by stereoscopic scanning electron microscopy”, Journal of Bone and Mineral Metabolis 16.G.H Du, F Xu, Z.Y Yuan, G Van Tendeloo, (2006), Appl Phys Lett 88, 243101 17.Gao P X, Song J, Liu J and Wang Z L 2006 Adv Mater 19 67–72 18.Harold A Layer, (1979),“Stereoscopy: Where Did It Come From? Where Will It Lead?” published originally in: EXPOSURE: 17:3 Fall 1979, pp 34-48 19.Hayat, M A 1989 Principles and Techniques of Electron Microscopy: Biological Applications CRC Press, Boca Raton, FL 20.He J H, Hsu J H, Wang C W, Lin H N, Chen L J and Wang Z L (2006), J Phys Chem B 110, 50–3 21.Hsu C L, Chang S J, Lin Y R, Li P C, Lin T S, Tsai S Y, Lu T H and Chen I C 2005 Chem Phys Lett 416, 75–8 22.Hyeong-Jin Kim, Chul-Ho Lee, Dong-Wook Kim and Gyu-Chul Yi (2006), “Fabrication and electrical characteristics of dual-gate ZnO nanorod metal– oxide semiconductor field-effect transistors”, Nanotechnology 17, S327–S331 23.Jun Young Bae, Jinkyoung Yoo, and Gyu-Chul Yia (2006), “Fabrication and photoluminescent characteristics of ZnO/Mg0.2Zn0.8O coaxial nanorod single quantum well structures”, Appl Phys Nos 89, 173114 24.Kar S, Pal B N, Chaudhuri S and Chakravorty D (2006) J Phys Chem B 110 4605–11 25.Lathan C E., in Stanney, K M (2002): Handbook of Virtual Environments, Lawrence Erlbaum Associates, Inc., New Jersey, United States, pp.404-414 26.Lowden, Jr., R.D., (1975), "Heywood A Mysterious Stereo Artist" Stereo World Nat' I Stereo Assoc., USA) l:l, Jan.-Feb 1975; Part 2, 1:2, March-April 1975 27.Melanie Kirkham, Xudong Wang, Zhong Lin Wang and Robert L Snyder (2007), “Solid Au nanoparticles as a catalyst for growing aligned ZnO nanowires: a new understanding of the vapour–liquid–solid process”, Nanotechnology 18, 365304 (5pp) 28.Okoshi, (1976), Three-Dimensional Imaging Technique, New York Academic 29.Philosophical Transactions of the Royal Society of London, Vol 142, pp – 17 30.Philosophical Transactions of the Royal Society of London, Vol 128, pp 371 – 394 31.Pinchbeck, P., (1972), "Structure of Reality in image and Word" Arts Magazine, April 1972 32.Reiko HATTORI, Keisuke KAMETANI, Hiroshi IMAMOTO, Shizuo FUJITA (2006), “Direct Fabrication of ZnO Whiskers Bridging Between Micron-gap Electrodes in Aqueous Solution for Highly Gas Sensing”, Material Research Society 33.Rubio-Sierra F J, Heckl W M and Stark R W (2005), Adv Eng Mater 7, 1936 34.S.-J An1, W.I Park1, G.-C Yi1, S.Cho (2002), “Laser–MBE growth of highquality ZnO thin films on Al2O3(0001) and SiO2/Si(100) using the third harmonics of a Nd:YAGlaser” Appl Phys A 74, 509–512 35.Senden, M., (1960), Space and Sight (London: Methuen & Co., 1960) Spies, Werner, Vasarely (NY: Abrams, 1969) 36.Stanney, K M (2002): Handbook of Virtual Environments, Lawrence Erlbaum Associates, Inc., New Jersey, United States 37.Takashi YATSUI, Motoich OHTSU, Sung Jin AN, Jinkyoung YOO and GyuChul YI (2006), “Evaluating the Quantum Confinement Effect of Isolated ZnO Nanorod Single-Quantum-Well Structures Using Near-Field Ultraviolet Photoluminescence Spectroscopy”, Opt Rev Vol 13, No 4, 218–221 38.Tandra Ghoshal et al (2008), “Direct synthesis of ZnO nanowire arrays on Zn foil by a simple thermal evaporation process”, Nanotechnology 19, 065606 39.W I Park, D H Kim, S.-W Jung, and Gyu-Chul Yi (2002), “Metalorganic vapor-phase epitaxial growth of vertically well-aligned ZnO nanorods” Appl Phys Vol 80, Nos 22 40.Wagner R S and Ellis W C (1964), Appl Phys Lett 89–90 41.Won I Park, Dong-Wook Kim, Sug Woo Jung and Gyu-Chul Yi (2006), “Catalyst-free growth of ZnO nanorods and their nanodevice applications”, Int J Nanotechnology, Vol 3, Nos 2/3 42.Won I Park, Jinkyoung Yoo, Dong-Wook Kim, and Gyu-Chul Yi (2006), “Fabrication and Photoluminescent Properties of Heteroepitaxial ZnO/Zn0.8Mg0.2O Coaxial Nanorod Heterostructures”, The Journal of Physical Chemistry Letters, 110, 1516-1519 43.Xiang Chen and Robert F Murphy (2004), “Robust Classification of Subcellular Location Patterns in High Resolution 3D Fluorescence Microscope Images” Proceedings of the 26th Annual International Conference of the IEEE EMBS, San Francisco, CA, USA September 1-5, 2004 44.Yong Ding, Pu Xian Gao, and Zhong Lin Wang (2003), “CatalystNanostructure Interfacial Lattice Mismatch in Determining the Shape of VLS Grown Nanowires and Nanobelts: A Case of Sn/ZnO”, JACS 45.Yong-Jin Kim, Chul-Ho Lee, Young Joon Hong, and Gyu-Chul Yi (2006), “Controlled selective growth of ZnO nanorod and microrod arrays on Si substrates by a wet chemical method”, Appl Phys Nos 89, 163128 WEBSITES 48 Gallery ảnh 3D anaglyph NASA: http://www.nasa.gov/mission_pages/stereo/main/index.html 49 Gallery ảnh 3D chụp hỏa: http://www.rainbowsymphony.com/mars3dgallery 50 Kính hiển vi 3D SEM: http://www.kagaku.com/sanyu/esss7000.html 51 Datasheet kính hiển vi Hitachi 4800: http://www.hitachi-hta.com/media/Hitachi_4800_Lvimg.pdf http://www.hhtc.ca/microscopes/sem/s4800.htm 52 NADS (2003): National Advanced Driving Simulator: http://www-nrd.nhtsa.dot.gov/departments/nrd-12/nads/[20031028] 53 In ảnh 3D Việt nam: http://www.kythuatmoivn.com/default.asp 54 Thị giác hai mắt: http://en.wikipedia.org/wiki/Binocular_vision http://en.wikipedia.org/wiki/Anaglyph_image