Tài liệu hạn chế xem trước, để xem đầy đủ mời bạn chọn Tải xuống
1
/ 25 trang
THÔNG TIN TÀI LIỆU
Thông tin cơ bản
Định dạng
Số trang
25
Dung lượng
1,38 MB
Nội dung
KÍNHHIỂNVIĐIỆNTỬ Hai loại KHVĐT phổ biến nhất hiện nay : Kínhhiểnviđiệntử truyền qua (Transmission Electron Microscope - TEM) Kínhhiểnviđiệntử quét (Scanning Electron Microscope - SEM) I/ Kínhhiểnvi truyền qua (TEM) 1 , Giới thiệu Là thiết bị nghiên cứu vi cấu trúc vật rắn sử dụng chùm điệntử có năng lượng cao chiếu xuyên qua mẫu vật rắn mỏng và sử dụng thấu kínhtừ để tạo ảnh với độ phóng đại lớn 2 , Cấu trúc và nguyên lý làm việc Đối tượng sử dụng của TEM là chùm năng lượng có năng lượng cao vì thế các cấu kiện chính của TEM nằm trong cột chân không siêu cao được tạo ra nhờ các hệ bơm chân không ( bơm turbo, bơm ion) Có 2 cách để tạo ra chùm điệntử Sử dụng nguồn phát xạ nhiệt điệntử Sử dụng súng phát xạ trường Trong TEM sự điều khiển tạo ảnh thông qua thấu kínhtừ . Thấu kínhtừ là nam châm điện có cấu trúc là môt cuộn dây cuốn trên lõi làm bằng vật liệu từ mềm . II/ Kínhhiểnviđiệntử quét (SEM) KHVĐT lần đầu tiên đựoc phát triển bởi Zwory Kin năm 1942 1 , Cấu tạo Súng phóng điệntử hướng ở dưới lên Ba thấu kính tĩnh điện Hệ thống các cuộn quét điệntừ Ống nhân quang điện 2 , Nguyên lý hoạt động và sự tạo ảnh trong SEM Điệntử được phóng ra từ súng phóng điệntử sau đó được tăng tốc và hội tụ thành một chùm điệntử hẹp nhờ hệ thống thấu kínhtừ Một số hình ảnh thu được thông qua SEM . KÍNH HIỂN VI ĐIỆN TỬ Hai loại KHVĐT phổ biến nhất hiện nay : Kính hiển vi điện tử truyền qua (Transmission Electron Microscope - TEM) Kính hiển vi điện tử quét (Scanning. mềm . II/ Kính hiển vi điện tử quét (SEM) KHVĐT lần đầu tiên đựoc phát triển bởi Zwory Kin năm 1942 1 , Cấu tạo Súng phóng điện tử hướng ở dưới lên Ba thấu kính tĩnh điện Hệ thống. tạo ra chùm điện tử Sử dụng nguồn phát xạ nhiệt điện tử Sử dụng súng phát xạ trường Trong TEM sự điều khiển tạo ảnh thông qua thấu kính từ . Thấu kính từ là nam châm điện có cấu