... trúc ZnO 1.4.1 Tính chất điện quang màngZnOphatạp Tùy vào vật liệu phatạp vào ZnO mà tính chất điện quang màngZnOphatạp khác ZnOphatạp nhóm kim loại IA (Li, Na…) thành bán dẫn loại p pha ... chếtạomàngsuốtdẫn điện ZnOphatạp V phương pháp đồng phúnxạmagnetron DC từ hai bia ZnO bia kim loại V Để đánh giá xác tính chất quang điện, cấu trúc, độ mấp mô bề mặt màng thành phần pha ... Moss bán dẫnphatạp [7, 9, 46, 60] Sau bảng tóm tắt số kết tạomàngZnOphatạp loại n tác giả giới công bố năm qua Bảng 1.3: Một số kết tạomàngZnOphatạp tác giả giới Vật liệu phatạp (.cm)...
... .40 3.1 ChếTạoMàngBằng Phương Pháp Đồng PhúnXạMagnetron Không Cân Bằng 40 3.1.1 Lắp ráp hệ giá đỡ đồng phúnxạ .40 3.1.2 Quy trình tạomàng 43 ... Chẳng hạn ta muốn chếtạo bia TiO phatạpZnO hay SnO2 tương đối dễ dàng, xác suất thành công cao, TiO phatạp vanadium vơ khó khăn Như vậy, ta thấy việc chếtạo bia phúnxạ TiO phatạp có giới hạn ... ĐO TÍNH NĂNG QUANG XÚC TÁC 3.1 ChếTạoMàngBằng Phương Pháp Đồng PhúnXạMagnetron Không Cân Bằng 3.1.1 Lắp ráp hệ giá đỡ đồng phúnxạ Chúng sử dụng hệ phúnxạ chân khơng phòng thí nghiệm Quang...
... độ lặp lại quang xúc tác màng TiO2:V Thực nghiệm, kết bàn luận TạoMàng TiO2 PhaTạp Vanadium Bằng Phương Pháp Đồng PhúnXạ Phản Ứng Dùng phương phápphúnxạ để thu màng có độ bền cao đảm bảo ... 5cm Công suất phúnxạ bia Ti: 100W Thời gian phúnxạ 60 phút Thực nghiệm, kết bàn luận Khảo Sát Tính Chất Quang Xúc Tác Của TiO2:V Tạomàng TiO2:V phương pháp đồng phúnxạmagnetron DC tính ... quang xúc tác Thực nghiệm, kết bàn luận TạoMàng TiO2 PhaTạp Vanadium Bằng Phương Pháp Đồng PhúnXạ Phản Ứng Thực nghiệm, kết bàn luận Các Phương Pháp Khảo Sát Tính Năng Quang Xúc Tác Của...
... phương pháp phay bao hình ứng dụng cơng nghệ tái tạo ngược thiết kế chếtạo Cam sử dụng nghiên cứu cam bơm nhiên liệu động Diesel công ty Diesel Sông Công chếtạo Loại cam chếtạo phương pháp chép ... giống với kích thước cam thật Như vậy, việc chếtạo cam theo phương pháp chép hình có sai số chếtạo cam mẫu Với phương pháp phay bao hình: + Phương pháp phay sau nhiệt luyện khơng phụ thuộc hồn ... giống với kích thước cam thật Như vậy, việc chếtạo cam theo phương pháp chép hình có sai số chếtạo cam mẫu Với phương pháp phay bao hình: + Phương pháp phay sau nhiệt luyện khơng phụ thuộc hồn...
... giống với kích thước cam thật Như vậy, việc chếtạo cam theo phương pháp chép hình có sai số chếtạo cam mẫu Với phương pháp phay bao hình: + Phương pháp phay sau nhiệt luyện khơng phụ thuộc hồn ... thì: dao phay ứng với góc tiếp xúc ψ Khi phay dao phay trụ thẳng xoắn, dao phay đĩa, dao phay định hình, dao phay góc chiều sâu phay trùng với chiều sâu cắt to Sin Khi phay biên dạng dao phay trụ ... phay trụ thẳng, dao phay mặt đầu dao phay tương tự với góc nghiêng bé thì: n hay Z n 360 Z (2-8) Đối với dao phay trụ nghiêng: Hình 2.3 Góc tiếp xúc phay n Khi phay dao phay trụ, phay ngón, phay...
... phương pháp phay bao hình ứng dụng cơng nghệ tái tạo ngược thiết kế chếtạo Cam sử dụng nghiên cứu cam bơm nhiên liệu động Diesel công ty Diesel Sông Công chếtạo Loại cam chếtạo phương pháp chép ... giống với kích thước cam thật Như vậy, việc chếtạo cam theo phương pháp chép hình có sai số chếtạo cam mẫu Với phương pháp phay bao hình: + Phương pháp phay sau nhiệt luyện khơng phụ thuộc hồn ... giống với kích thước cam thật Như vậy, việc chếtạo cam theo phương pháp chép hình có sai số chếtạo cam mẫu Với phương pháp phay bao hình: + Phương pháp phay sau nhiệt luyện khơng phụ thuộc hồn...
... trúc màng: màng nano ZnOmàngdẫn điện suốtZnOphatạp In” MàngdẫnsuốtZnOphatạp In nhóm chúng tơi tổng hợp từ trước phương phápphúnxạMagnetron Sau có màngdẫnsuốt chúng tơi tiếp tục tạo ... 2.2.2 Phƣơngpháp hóa siêu âm chếtạomàng nano ZnO lớp màngdẫnsuốt ZnO: In 2.2.2.1 Phƣơngpháp hóa siêu âm 2.2.2.2 Q trình chếtạomàngphƣơngpháp hóa siêu âm 2.2.3 Phƣơngpháp thủy nhiệt chếtạo ... Quy trình chếtạo mẫu: Màng mỏng ZnOphatạp In chếtạo đế thủy tinh cách phúnxạ bia ZnO: In có đường kính 7,5 cm hệ phúnxạ R.F magnetron Bia ZnO: In chếtạo cách nung hỗn hợp bột ZnO (99,9%)...
... màng: màng nano ZnOmàngdẫn điện suốtZnOphatạp In” MàngdẫnsuốtZnOphatạp In đƣợc nhóm tổng hợp từ trƣớc phƣơngphápphúnxạMagnetron Sau có màngdẫnsuốt chúng tơi tiếp tục tạo lớp màng ... kiện thực nghiệm nƣớc ta 2.1 ChếtạomàngdẫnsuốtZnOphatạpIndiumphƣơngphápphúnxạMagnetron 2.1.1 PhƣơngphápphúnxạMagnetron Cơ sở vật lý phƣơngphápphúnxạ dựa tƣợng va chạm hạt có ... Chƣơng 22 PHƢƠNGPHÁP THỰC NGHIỆM 22 2.1 ChếtạomàngdẫnsuốtZnOphatạpIndiumphƣơngphápphúnxạMagnetron 22 2.1.1 PhƣơngphápphúnxạMagnetron 22...
... Hầu hết tiêu công thức xử lý Benlat đạt cao công thức khác Nh vậy, chất xử lý chống thối không ức chế trình bật chồi hom giâm mà xúc tiến sinh trởng phát Hom (%) Hom thân 120 100 100 80 80 60 60 ... thời điểm theo dõi Sau 80 ngày, tỷ lệ bật mầm hom công thức 96,5% (công thức 3) 90% (c«ng thøc 5) Trong c«ng thøc xư lý Auxin có tỷ lệ bật mầm 86,7% (NAA) 83,4% (2.4D) Đối với trình bật mầm, hiệu...
... kiện phơng pháp 2,2 nhiệt độ đồng (Bi 0,1) nên không đợc phép áp dụng phơng pháp Phơng pháp phân ly biến số kết hợp với việc sử dụng bảng tính đồ thị cho sẵn giúp cho việc giải toán dẫn nhiệt ... kiện nh trờng hợp trên, ta dùng phơng pháp nhiệt độ đồng (phơng pháp quy tụ) để tính nhiệt độ khối nớc đá bëi lý nh− sau: Do chiỊu dµi quy −íc L khối nớc đá bằng: L = có giá trị: Bi = V = 0,015 ... 0,85.0,88.0,88 = 0,685 Tính nhiệt độ t: = t tL t − 22 = = 0,685 → t = - 3,30C t0 − tL − 15 − 22 B»ng phơng pháp trên, tính đợc nhiệt độ điểm khối nớc đá thời điểm cách thay giá trị toạ độ thời gian tơng...
... VẬT LIỆU ZnO VẬT LIỆU ZnOPHATẠP LOẠI P CHẾTẠOMÀNG ZnO: (In, N) KẾT LUẬN Ứng dụng vật liệu bán dẫnZnO p-n LED Trongsuốt OLED Màng mỏng dẫn điện suốt Cảm biến khí Màng bán dẫnphatạp loại ... chếtạo bia gốm ZnO: In Chu trình nhiệt độ trình dung kết CHƯƠNG 3: CHẾTẠOMÀNG ZnO: (In,N) 3.1 Quy trình chếtạo bia gốm ZnO: In Bia gốm trước phúnxạ Bia gốm sau phúnxạ CHƯƠNG 3: CHẾTẠOMÀNG ... trở suất cao Dẫn điện loại n với điện trở suất tốt Màng ZnO: (III, N) Màng ZnO: (V) Màng ZnO: (I) MàngZnO Mục tiêu đề tài Chếtạomàng bán dẫn đồng phatạp loại p: - Độ truyền qua màng 85% - Điện...
... nén phá hỏng màng Các thông số tạomàng phương phápphúnxạmagnetron phản ứng cơng trình trình bày bảng 60 400 600 800 Bước sóng (nm) 1000 Hình Phổ truyền qua màng SnO2:Sb chếtạo nhiệt độ ... pin mặt trời 4.KẾT LUẬN Công trình chếtạo thành cơng màngdẫn điện suốt SnO2:Sb phương phápphúnxạmagnetron phản ứng kết hợp với trình cấp nhiệt cho đế Màng có trạng thái kết tinh tốt Độ truyền ... phóng điện phún xạ: Áp suất hỗn hợp khí làm việc: Tỷ lệ mol khí làm việc nO2 / nAr: Khoảng cách bia - đế : Thời gian tạo màng: Nhiệt độ đế: 4200C Bảng Các thông số tạomàng SnO2:Sb Trong hệ...
... wurtzite màngZnOphatạp Cu nồng độ Cu khác - Cấu trúc màngZnOphatạp Cu ủ nhiệt 5500C thời gian khác - Sự phụ thuộc độ rộng vùng cấm màng vào nồng độ Cu phatạp - Độ truyền qua màngZnOphatạp ... phatạp khác - Độ truyền qua màngZnOphatạp Cu số lần nhúng khác - Tính chất phát quang màngZnOphatạp Cu nhiệt độ phòng… Sau trình chếtạo khảo sát tính chất màng chúng tơi tìm nồng độ pha ... PHƯƠNG PHÁPCHẾTẠO VÀ KHẢO SÁT TÍNH CHẤT CỦA MÀNG MỎNG 2.1 Nguyên lý chung phương phápchếtạomàng Nguyên lý chung phương phápchếtạomàng đưa vật liệu dạng lỏng khí sau cho ngưng tụ đế Theo chế...
... điện tốt Phương phápchếtạo - Phúnxạmagnetron - Lắng đọng pha hoá học hữu kim loại (MOCVD) - Lắng đọng laser xung (PLD) Các ứng dụng Màng mỏng ZnOphatạp Al In sử dụng điện cực suốt cho hình ... phát quang hữu MàngZnOphatạp Al, Ga hay B với bề mặt thô ráp dùng làm điện cực suốt cho pin mặt trời α-Si CuInSe2 Người ta cho màng mỏng ZnOphatạp Al Ga tốt cho màngsuốtdẫn điện Hướng ... Hướng nghiên cứu mới, phatạp nguyên tố đất (Sc, Y…) vào ZnO để tạomàngsuốtdẫn điện Thí nghiệm •Dùng phương phápphúnxạmagnetron DC –Bia (đường kính 150mm): hỗn hợp bột ZnO Sc2O3 (hoặc Y2O3),...
... tạomàng mỏng phúnxạ rf - Chếtạomàng mỏng TiO2 phúnxạ rf Phạm vi nghiên cứu Phương phápphúnxạmagnetron rf: ưu điểm, nhược điểm phương phápphúnxạ rf, Ứng dụng phương phápphúnxạmagnetron ... phương phápchếtạomàng mỏng bán dẫnphúnxạ rf phương pháp sử dụng phổ biến công nghệ chếtạomàng mỏng bán dẫn có nhiều ưu điểm Mục đích chọn đề tài - Tìm hiểu phương phápphúnxạ - Công nghệ chế ... chiều Chƣơng PHƢƠNGPHÁPPHÚNXẠMAGNETRON RF TRONGCHẾTẠOMÀNG MỎNG 2.1 Nguyên lý RF -Magnetron Sputter kỹ thuật tạomàng mỏng (Thin films) hiệu kỹ thuật phúnxạ Từ trường tạoMagnetron định...
... Đại học Quốc gia Tp Hồ Chí Minh, nghiên cứu chếtạo thành công ZnOphatạp Al phương phápphúnxạmagnetronBằng phương phápphúnxạ cathode, cao tần magnetron, nhiều tập thể khoa học giới nhóm ... tạo nên phúnxạ vật liệu Mô tả hoạt động hệ phúnxạmagnetron xem chi tiết tài liệu tham khảo [102], [108] 2.1.2 Phương phápphúnxạmagnetron phẳng dc rf Nguồn phúnxạmagnetron phẳng sáng chế ... gồm việc chếtạo vật liệu gốm dẫn điện cho bia phúnxạ (target); chếtạo khảo sát tính chất quang điện, tính chất tinh thể GZO theo điều kiện tạomàng điển hình phương phápphúnxạ magnetron...
... Phương pháp sol – gel 17 2.2 Chếtạomàngdẫn sóng SiO2 – SnO2 phatạp Er3+ 19 2.2.1 Hóa chất quy trình tạo mẫu 19 2.2.2 Thiết kế chếtạomàngdẫn sóng phatạp đất ... nghiên cứu chếtạomàngdẫnphatạp đất hiếm, từ nghiên cứu chếtạo vật liệu phatạp đất dùng khuếch đại tín hiệu quang trở thành lĩnh vực vô động Việc tích hợp khuếch đại vào màngdẫn sóng nghiên ... 0C dẫ só pha tạ 2.2.2 Thiết kế chếtạo n tử a\ Cấu tạomàngdẫn sóng 21 t bằ (a) (b) Hình 2.2 Ảnh mask linh kiện a ảnh linh kiện mask b b\ Quy trình chếtạomàngdẫn Tất trình chếtạo từ xử...
... 58 83 c MàngZnO đồng phatạp N-Ga Ngoài việc tạomàngZnO đồng phatạp N-Al, tiến hành tạomàngZnO đồng phatạp N-Ga từ bia gốm GZO Kết thu số màng có tính dẫn loại p Mẫu Khí phúnxạ GZ1 40%N2 ... màngZnOphatạp N từ bia gốm MàngZnOphatạp N chếtạo phương phápphún x magnetron phản ứng RF đế thủy tinh corning 7059 Các bia ZnO, AZN, GZN đư ợc dùng làm bia phúnxạ Và khí phúnxạ khí hay ... Ar, O 2, N2, N2O Trong N N2O dùng nguồn phatạp N Các điều kiện phúnxạtạomàng Áp suất buồng Áp suất Áp suất phúnxạ Khí phúnxạ Đế phủ Khoảng cách phúnxạ Công suất phúnxạ RF Nhiệt độ đế...
... ủ màng lên tính chất điện phụ thuộc nhiều vào phương pháptạomàngchếdẫn điện màng Chúng tơi tạomàng ZnO- Ga có điều kiện tạomàng khác nhiệt độ ủ màng là: nhiệt độ phòng, 300oC chân khơng màng ... Cơ chếdẫn điện màng chủ yếu hạt tải tự sinh phatạp donor hình thành lỗ trống oxy Màng ZnO- Ga dẫn điện chủ yếu tạp chất donor, nên không bị ảnh hưởng nhiệt độ ủ khơng khí Trong đó, màng ZnO- Al ... nhiệt độ xử lí mơi trường khơng khí ZnO- Al (đường cong số 4) [1] TẠP CHÍ PHÁT TRIỂN KH&CN, TẬP 10, SỐ 03 - 2007 KẾT LUẬN Màng ZnO- Ga tạo phương phápphúnxạmagnetron có điện trở suất khoảng 4-5...