Phương pháp phún xạ Magnetron RF và ứng dụng trong công nhệ chế tạo màng mỏng bán dẫn

38 752 0

Tài liệu hạn chế xem trước, để xem đầy đủ mời bạn chọn Tải xuống

1 / 38 trang

THÔNG TIN TÀI LIỆU

Thông tin cơ bản

Nội dung

Ngày đăng: 06/10/2014, 15:26

Xem thêm

TỪ KHÓA LIÊN QUAN

TÀI LIỆU CÙNG NGƯỜI DÙNG

TÀI LIỆU LIÊN QUAN