Phương pháp phún xạ Magnetron RF và ứng dụng trong công nhệ chế tạo màng mỏng bán dẫn

... B.Yao, màng mỏng ZnO: N được chế tạo bằng phương ph p phún xạ magnetron RF ở điều kiện nhiệt độ 510K trên đế thạch anh và xác định cấu trúc bằng phương ph p nhiễu xạ tia X Hình 2.5 Phổ nhiễu xạ của ... ĐẠI HỌC KHOA HỌC TỰ NHIÊN TP.HCM BỘ MÔN VẬT LÝ ỨNG DỤNG SEMINAR PHƯƠNG PH P TH ỰC NGHIỆM CHUYÊN NGÀNH: NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO MÀNG MỎNG ZnO LOẠI P BẰNG PHƯƠNG PH P...

Ngày tải lên: 18/03/2013, 11:49

... sử dụng trong nghiên cứu là loại lạc tiên vỏ tím. Loại dứa được sử dụng nghiên cứu trong đề tài này là Cayene. I.3. Chế phẩm enzim GOD Chế phẩm enzim GOD sử dụng trong nghiên cứu là enzim chế ... bia Trong sản xuất bia, người ta thường dùng GOD để ổn định chất lượng cho bia thành phẩm. Một hàm lượng nhỏ chế phẩm này khi đưa vào trong...

Ngày tải lên: 17/03/2014, 09:00

... Bài viết này trình bày việc nghiên cứu chế tạo màng mỏng Al 2 O 3 bằng phương pháp phún xạ magnetron rf và chuyển pha bằng xử lý nhiệt sau đó. Màng được phún xạ phản ứng từ bia nhôm kim loại ... tạo thành công màng Al 2 O 3 bằng phương pháp phún xạ magnetron rf. Tính chất quang của màng được xác định bằng phép đo UV − VIS. Thành phần...

Ngày tải lên: 27/06/2014, 10:20

... ĐHQG-HCM ẢNH HƯỞNG CỦA NHIỆT ĐỘ ĐẾ LÊN CẤU TRÚC VÀ TÍNH CHẤT ĐIỆN CỦA MÀNG DẪN ĐIỆN TRONG SUỐT SnO 2 :Sb ĐƯỢC CHẾ TẠO BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON PHẢN ỨNG Lê Văn Ngọc (1) , Phạm Ngọc Hiền (1) , ... 10 -5 torr. Nhiệt độ đế trong quá trình tạo màng được giữ ổn định ở các giá trị trong khoảng từ nhiệt độ phòng đến 420 0 C. Sự phụ thuộc của kích thước hạt t...

Ngày tải lên: 27/06/2014, 11:20

... TẠP CHÍ PHÁT TRIỂN KH&CN, TẬP 10, SỐ 03 - 2007 Trang 37 ẢNH HƯỞNG CỦA SỰ PHA TẠP Ga LÊN TÍNH CHẤT ĐIỆN CỦA MÀNG ZnO TẠO BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON Cao Thị Mỹ ... vùng khả kiến T ~ 85%. Màng cho tính chất quang điện tốt ngay cả khi được phún xạ ở nhiệt độ phòng. Tính chất điện của màng cho thấy màng ít bị ảnh hưởng bởi...

Ngày tải lên: 27/06/2014, 13:20

... quyền thuộc ĐHQG-HCM Trang 43 SỰ ẢNH HƯỞNG DÒNG PHÚN XẠ VÀ SỰ Ủ NHIỆT LÊN TÍNH CHẤT QUANG XÚC TÁC MÀNG TiO 2 CHẾ TẠO BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC KHÔNG CÂN BẰNG Vũ Thị Hạnh Thu (1) , ... phún xạ mạnh có tính năng quang xúc tác cao mà không phải xử lý ủ nhiệt. Giải pháp tăng dòng phún xạ kinh tế và hiệu quả, có thể ứng dụng trong công nghệ phủ...

Ngày tải lên: 22/07/2014, 03:20

... bằng phương pháp phún rf với màng tạo bằng phương pháp dc, ta nhận thấy màng tạo bằng phương pháp dc tồn tại dưới dạng vô định nhiều hơn và Rms của nó cũng thấp hơn. Hình 7.Ảnh AFM của màng ... Phổ truyền qua của màng TiO 2 được tạo từ phương pháp phún xạ magnetron rf (1) và phún xạ magnetron dc (2). Khi so sánh phổ truyền qua của m...

Ngày tải lên: 22/07/2014, 10:21

... 2005 CÁC TÍNH CHẤT QUANG ĐIỆN CỦA MÀNG MỎNG ĐA LỚP TẠO BỞI PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON Mã số đề tài: 440303 Tên chủ nhiệm đề tài: PGS.TS. TRẦN TUẤN Cơ quan công tác: Trường Đại học Khoa học ... qua bằng phương pháp phún xạ magnetron DC có diện tích màng lớn. Báo cáo hội nghị vật lý toàn quốc lần 6. [2]. Chế tạo màng đa lớp WO3 / ITO trên đế thủy ti...

Ngày tải lên: 10/08/2014, 04:20

Ngày tải lên: 06/10/2014, 15:26

... HỌC TỰ NHIÊN CAO THỊ ĐÔNG PHƯƠNG PHÁP THỨ HAI CỦA LYAPUNOV VÀ ỨNG DỤNG TRONG VI C NGHIÊN CỨU TÍNH ỔN ĐỊNH CỦA PHƯƠNG TRÌNH VI PHÂN HÀM VÀ PHƯƠNG TRÌNH VI PHÂN HÀM CÓ XUNG LUẬN VĂN THẠC SĨ TOÁN ... HỌC TỰ NHIÊN CAO THỊ ĐÔNG PHƯƠNG PHÁP THỨ HAI CỦA LYAPUNOV VÀ ỨNG DỤNG TRONG VI C NGHIÊN CỨU TÍNH ỔN ĐỊNH CỦA PHƯƠNG TRÌNH VI PHÂN HÀM VÀ PHƯƠNG TRÌNH VI PHÂN HÀM CÓ...

Ngày tải lên: 07/01/2015, 17:12

... phƣơng pháp khai phá dữ liệu trong thực tế để có thể dựa vào đó nhƣ một tài liệu thám khảo, cuối cùng đƣa ra giải pháp để giải quyết bài toán lập thời khoá biểu – một bài toán NP khó. Với thời ... kho dữ liệu và cách sử dụng Kho dữ liệu. 5  Luận văn xây dựng phƣơng pháp giải quyết bài toán lập thời khoá biểu dựa trên giải...

Ngày tải lên: 25/03/2015, 09:53

... 40 <<HJM;L6L>8LQ21aRB19b4% <</Y9c>4>SdPa1D9O9F;eF;LJM;L9cLa71 <<<HJM;L6L>8977 <<HJM;L6LeTOf4dg...

Ngày tải lên: 25/05/2015, 22:39

... tôi thực hiện chế tạo màng ZnO: Sn trên đế thủy tinh bằng phương pháp phún xạ magnetron DC. Qua đó khảo sát các yếu tố ảnh hưởng đến cấu trúc, tính chất điện và tính chất quang của màng. Chúng tôi ... loại màng ZnO pha tạp được các nhà khoa học trong và ngoài nước nghiên cứu chế tạo khá nhiều như ZnO: Al, ZnO: Ga, thì màng ZnO:...

Ngày tải lên: 25/05/2015, 22:52

... CỦA NỒNG ĐỘ TẠP In Tính chất điện của màng ZnO: (In, N): Tính chất điện và quang của các màng ZnO: (In, N)theo tỷ lệ tạp In Tính chất điện và quang của các màng ZnO: (In, N)theo tỷ lệ tạp In ẢNH ... sau khi phún xạ. 3.1 Quy trình chế tạo bia gốm ZnO: In CHƯƠNG 3: CHẾ TẠO MÀNG ZnO: (In ,N) CHƯƠNG 3: CHẾ TẠO MÀNG ZnO: (In, N) 3.2 Hệ...

Ngày tải lên: 25/05/2015, 23:10

... Bài 1: TẠO MÀNG BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC I. LÝ THUYẾT: 1. Định nghĩa hiện tượng phún xạ:  Định nghĩa: Phún xạ là hiện tượng nguyên tử trên bề ... đều xuất phát từ phương pháp bay hơi và phương pháp phún xạ. 1. Phương pháp bay hơi: 11 P H Ư Ơ N G P H Á P P V D D B A Y H Ơ I P H Ú N X Ạ Bay hơi trong chân không (Evaporation) Bay hơi ph...

Ngày tải lên: 27/05/2015, 22:29