... pha tạp N từ bia gốm Màng ZnO pha tạp N chếtạophươngphápphún x magnetron phản ứng RF đế thủy tinh corning 7059 Các bia ZnO, AZN, GZN đư ợc dùng làm bia phúnxạ Và khí phúnxạ khí hay hỗn hợp ... N N2O dùng nguồn pha tạp N Các điều kiện phúnxạtạomàng Áp suất buồng Áp suất Áp suất phúnxạ Khí phúnxạ Đế phủ Khoảng cách phúnxạ Công suất phúnxạ RF Nhiệt độ đế < 5.10-6 torr 1,5.10-5 ... 58 83 c Màng ZnO đồng pha tạp N-Ga Ngoài việc tạomàng ZnO đồng pha tạp N-Al, tiến hành tạomàng ZnO đồng pha tạp N-Ga từ bia gốm GZO Kết thu số màng có tính dẫn loại p Mẫu Khí phúnxạ GZ1 40%N2...
... ng Tương t v y phươngphápphún x có ưu th Phươngphápphún x s đư c trình bày chi ti t ph n sau T o màng b ng phươngpháp hóa h c (CVD): hai phươngpháp ch y u sol – gel, phươngphápphun phân ... li u màng, s thay ñ i c a màu theo h p th c khơng m nh b ng Vì màng có đ d y nh nên tính h p th quang nh Trong trư ng h p màng oxit vonfram ñư c t o b ng phươngphápphún x , h p th c c a màng ... h p m u màng ñư c ch t o b ng phươngphápphún x , nhi t ñ tinh th hóa n m kho ng 350 – 380 oC [12] m t vài trư ng h p có th th p [13] ð i v i màng vơ đ nh hình đư c ch t o b ng phươngpháp b...
... tạp lớn màngchếtạomàng TiO2:N phươngphápphúnxạ magnetron Mặc dù, theo [5,7,13], tác giả cho có phươngpháp IBAD, PLD cho lượng pha tạp lớn Ngồi ra, giải thích phươngphápphúnxạ magnetron ... bề mặt màng, giảm nhiệt độ đế tạo phóng điện áp suất thấp Hệ phúnxạ cải thiện gọi hệ phúnxạ magnetron ( chiều xoay chiều ) 3.2 HỆ PHÚNXẠ MAGNETRON DC 3.2.1 Cấutạo Hình 3.3 Hệ phúnxạ magnetron ... văn thạc sĩ Vật Lý 26 HV: Đinh Cơng Trường Có phươngphápphúnxạ cathode phúnxạ chiều (dc) phúnxạ xoay chiều (rf) Phúnxạ chiều kỹ thuật phúnxạ sử dụng hiệu điện chiều để gia tốc cho iơn...
... In2O3 Lắng đọng phúnxạ [179] Cd2SnO4 Lắng đọng phúnxạ [134] Cd2SnO4 Phun nhiệt phân [133] ZnO:In Phun nhiệt phân [112] ZnO:Al Lắng đọng phúnxạ [117] ZnO:In Lắng đọng phúnxạ [147] ZnO:B Lắng đọng ... anatase TiO2 Hình 1.9: Cấutrúc tinh thể anatase màng TiO2 Cấutrúc tinh thể rutile màng TiO2 Hình 1.10: Cấutrúc tinh thể rutile TiO2 Cấutrúc tinh thể brookite TiO2 Hình 1.11: Cấutrúc tinh thể brookite ... hay gây phúnxạ 1.6.1.2 Quá trình lắng đọng màngphươngphápphúnxạPhươngpháp ảnh hưởng đến thông số trình gây plasma, mối liên hệ chúng lên tính chất màng lắng đọng Quá trình phúnxạ trình...
... điện tạomàngMàngMàngMàngMàngMàngMàng ZnO: ZnO: ZnO: ZnO: ZnO: ZnO: 1%Co Màng ZnO 2%Co 3%Co 4%Co 5%Co 6%Co XỬ LÝ NHIỆT Hình 2.1 Sơ đồ tạo mẫu 2.2 KHẢO SÁT CẤU TRÚC, TÍNH CHẤT CUẢ ZnO VÀ ZnO:CO ... phươngpháp vật lý nhúm cỏc phươngpháp hoỏ học Các phươngpháp vật lý bao gồm: phúnxạcatốt (phún xạ chiều), phúnxạ cao tần, phúnxạ phản ứng với bia, phươngpháp bốc bay nhiệt, phươngpháp ... lược số phươngphápchếtạomàng thông dụng: 1.3.1 Phươngpháp sol-gel Phươngpháp sol-gel phươngpháp hoá học dùng để chếtạomàng mỏng dựa pha trộn chất dạng dung dịch lỏng Phươngpháp cho...
... xạmàng ZnO thủy tinh với độ dày khác Hình 3.43 Giản đồ nhiễu xạmàng ITO/ZnO với độ dày ZnO khác Hình 3.44 Giản đồ nhiễu xạmàng ITO với độ dày khác màng ZnO 150 nm Hình 3.45 Giản đồ nhiễu xạ ... bắn vào bia tạo nên phúnxạ vật liệu Mô tả hoạt động hệ phúnxạ magnetron xem chi tiết tài liệu tham khảo [102], [108] 2.1.2 Phươngphápphúnxạ magnetron phẳng dc rf Nguồn phúnxạ magnetron ... (IC), màng cứng (TiN), nghiên cứu phươngpháp tiếp tục, đặc biệt lĩnh vực phủ màng mỏng bán dẫn Nguyên tắc hoạt động phúnxạ magnetron Penning đưa năm 1936 [76] sở phươngpháp phủ màngphúnxạ magnetron...
... nung Cấutrúc hạt SnO2 (nung 400oC, 500oC, ủ 6h) màng xác định từ phép đo nhiễu xạ tia X (hình 1, 2) Kết phép đo cho thấy màng SnO2 tạo có cấutrúc đa tinh, đỉnh đặc trưng rõ đỉnh nhiễu xạ mở ... thước nhỏ Cấutrúc SnO2 thu kết tinh tốt nung nhiệt độ thấp (400oC).Từ phổ nhiễu xạ tia X, quan sát đỉnh đặc trưng cho cấutrúc tứ diện SnO2 ((110), (101), (211)) từ xác định màngtạomàng SnO2 ... Hình Ảnh SEM mẫu màng SnO2 tổng hợp với chất phụ gia khác 4.KẾT LUẬN Màng SnO2 với tinh thể SnO2 tạo thành phươngpháp Sol-gel thông qua vật liệu vô ban đầu Các thơng số cấutrúc màng, kích thước...
... học nano công nghệ nano 1.3 Chếtạo vật liệu nano Vật liệu nanochếtạo hai phương pháp: phươngpháp từ lên phươngpháp từ xuống 1.3.1 Phươngpháp từ lên Khái niệm: phươngpháp từ lên phươngpháp ... ngưng tụ từ pha khí, Phươngpháptạo hạt nano, dây nano, ống nano, màng nano, bột nano, [1] 1.3.2 Phươngpháp từ xuống Khái niệm: phươngpháp từ xuống phươngpháptạo hạt nano từ hạt có kích thước ... ta phải thay đổi kỹ thuật chếtạo cho phù hợp Phươngpháptạo hạt nano, dây nano, ống nano, màng nano, bột nano, Phươngpháp kết hợp: phươngpháptạo vật liệu nano dựa nguyên tắc vật lý hóa...
... tách, rửa [25] 2.3 Các phươngpháp nghiên cứu đặc trưng vật liệu 2.3.1 Phươngpháp nhiễu xạ tia X (XRD) Phươngpháp nhiễu xạ tia X phươngpháp thường sử dụng để nhận dạng cấutrúc độ tinh thể vật ... nhiều phươngpháp khác để định lượng chất phươngpháp trắc quang Từ phươngpháp đơn giản không cần máy móc như: phươngpháp dãy 34 chuẩn nhìn màu, phươngpháp chuẩn độ so sánh màu, phươngpháp ... sử dụng máy quang phổ như: phươngpháp đường chuẩn, phươngpháp dãy tiêu chuẩn, phươngpháp chuẩn độ trắc quang, phươngpháp cân bằng, phươngpháp thêm chuẩn, phươngpháp vi sai… Tùy theo điều...
... Rhodamin B 1.4 Các phươngpháp xử lý nước thải chứa thuốc nhuộm 1.4.1 Phươngpháp hấp phụ 1.4.2 Phươngpháp sinh học 12 1.4.3 Phươngpháp oxi hóa tăng cường ... hợp nano α-MnO2 27 2.2.2 Tổng hợp nano β-MnO2 28 2.2.3 Tổng hợp nano γ-MnO2 29 2.3 Các phươngpháp nghiên cứu đặc trưng vật liệu 30 2.3.1 Phươngpháp nhiễu xạ ... Hình 3.3 Hình thái cấutrúcnano α- MnO2 39 Hình 3.4 Phổ XRD tinh thể β-MnO2 41 Hình 3.5 Cấutrúc tinh thể β-MnO2 42 Hình 3.6 Hình thái cấutrúcnano β- MnO2 ...
... dẫn có cấutrúcnano m t chiều (1D) nhƣ dây n n , th nh n n với cấutrúc đơn sợi, cấutrúcmạng ƣới, cấutrúc bắc cầu dạng màng ch đ đáp ứng cao [97,153,163] Ảnh hƣởng củ đƣờng kính dây nano lên ... Bằng phƣơng pháp hó học tổng hợp đƣợc nhiều hình thái khác nh u nhƣ hạt nano, dây nano, nano, ống nano, màng nano, b t nano, v.v [108,194,201] Kết hợp phươngpháp vật lý hóa học: phƣơng pháp tạ vật ... đáp cảm biến phụ thu c vào nhiều yếu tố nhƣ: Cấu hình cảm biến điện cực, đế, cấutrúc đơn sợi, cấutrúcmạng ƣới, cấutrúc bắc cầu, cấutrúc màng, Schottky, FET, v.v.) Vật liệu nhạy khí (tính...
... Kết luận: Đã chếtạo thành cơng nhiều cấutrúcnano WO3 có hình thái kích thước khác phươngpháp thủy nhiệt Năm hệ cảm biến sở cấutrúc hình thái khác WO3 chếtạophươngpháp nhỏ phủ ký hiệu ... nhỏ (ethanol) dây nano có xu hướng phát triển tự tự vướng vào tạo hình thái dạng bơng hoa Hai loại cảm biến sở bó dây nano (Sensor-B) bơng hoa nano WO3 (Sensor-H) chếtạophươngpháp nhỏ phủ Đối ... biến tính thành cơng hạt nano Pd bề mặt nano WO3 phươngpháp khử trực tiếp Mật độ hạt nano Pd bề mặt nano WO3 điều khiểm cách thay đổi khối lượng muối PdCl2 Cảm biến khí sở nano Pd-WO3 tăng độ đáp...
... liệu chếtạo cảm biến giảm xuống tương đương với chiều dài Debye chúng [146] Tuy nhiên, việc chếtạocấutrúcnano chiều WO3 dây nano, nanophươngpháp lắng đọng hoá học từ pha hơi, phươngpháp bốc ... trình tổng hợp số cấutrúcnano WO3 với hình thái, kích thước khác phươngpháp thủy nhiệt, phươngpháp nhiệt dung mơi quy trình biến tính hạt nano Pd bề mặt nano WO3 phươngpháp khử trực tiếp ... Hình thái, vi cấutrúc tính chất nhạy khí vật liệu nano WO3 tổng hợp phươngpháp thủy nhiệt 36 trang; Chương Hình thái, vi cấutrúc tính chất nhạy khí vật liệu nano WO3 tổng hợp phươngpháp nhiệt...
... nhiều phươngpháp tổng hợp vật liệu oxit bán dẫn kim loại sử dụng chếtạo cảm biến khí như: phươngpháp sol-gel, phươngpháp thủy nhiệt, phươngpháp vi nhũ tương, phươngpháp phân hủy, phươngpháp ... tích cấutrúc vật liệu Để xác định cấutrúc tinh thể, thành phần nguyên tố nhằm khẳng định cấutrúc vật liệu WO3 chếtạo được, sử dụng phươngpháp phân tích phươngpháp phổ EDS, phươngpháp ... hướng để chếtạo vật liệu nano WO3 phươngpháp vật lý (bốc bay nhiệt) phươngpháp hóa học (sol-gel, phản ứng thủy nhiệt, oxi hóa nhiệt ) Phươngpháp vật lý: phươngpháptạo vật liệu nano từ nguyên...
... nén phá hỏng màng Các thông số tạomàngphươngphápphúnxạ magnetron phản ứng cơng trình trình bày bảng 60 400 600 800 Bước sóng (nm) 1000 Hình Phổ truyền qua màng SnO2:Sb chếtạo nhiệt độ ... lắng đọng màng tăng Điều cho thấy nồng độ hạt tải màng tăng đáng kể hiệu ứng Burstein-Moss Màng sau chếtạo khảo sát giản đồ XRD để xét ảnh hưởng nhiệt độ đế lắng đọng màng lên cấutrúcmàng Trên ... thấy màng lắng đọng nhiệt độ đế cao đỉnh nhiễu xạ bị dịch phía có góc nhiễu xạ nhỏ Điều giải thích màng có ứng suất nén [7] Ứng suất bao gồm ứng suất nội sai hỏng màng - lắng đọng phươngpháp phún...
... Ngoài phươngpháp nêu nhà khoa học nghiên cứu số phươngpháp khác như: Phươngphápphunbăng từ trường hay ép dị hướng từ trường phươngphápmàng đa lớp để tăng cường tính dị hướng hay tạocấutrúc ... Tích lượng (BH)max = 83 MGOe 1.6 Các phươngphápchếtạo vật liệu từ cứng nanocomposite Nd-Fe-B 1.6.1 Phươngphápphunbăng nguội nhanh Phươngphápphunbăng nguội nhanh lần thực vào năm 1960 ... có cấutrúc đơn đơmen, cấutrúc đơn đơmen cấutrúc khơng có vách đơmen nên khơng có q trình dịch chuyển vách hay hãm vách đơmen q trình từ hóa Vì thế, q trình từ hóa khử từ vật từ có cấu trúc...