0.00E+00 1200 1000 800 600 Binding Energy (eV) Phổ XPS mẫu xử lý 170 oC, Survey 2.50E+05 Counts / s 2.00E+05 1.50E+05 1.00E+05 5.00E+04 0.00E+00 1200 1000 800 600 400 200 400 200 Binding Energy (eV) Phổ XPS mẫu xử lý 200 oC, Survey 4.00E+05 Counts / s 3.00E+05 2.00E+05 1.00E+05 0.00E+00 1200 1000 800 600 Binding Energy (eV) Phổ XPS mẫu xử lý 200 oC, Survey 3.00E+05 Counts / s 2.00E+05 1.00E+05 0.00E+00 1200 1000 800 600 400 200 400 200 Binding Energy (eV) Phổ XPS mẫu xử lý 180 oC, Survey 2.20E+05 2.00E+05 1.80E+05 1.60E+05 Counts / s 1.40E+05 1.20E+05 1.00E+05 8.00E+04 6.00E+04 4.00E+04 2.00E+04 0.00E+00 1200 1000 800 600 Binding Energy (eV) Phụ lục Phổ XRD mẫu đối chứng Phổ XRD mẫu xử lý 210 oC, Phổ XRD mẫu xử lý 190 oC, Phổ XRD mẫu xử lý 190 oC, Phổ XRD mẫu xử lý 170 oC, Phổ XRD mẫu xử lý 180 oC, Phổ XRD mẫu xử lý 200 oC, Phổ XRD mẫu xử lý 180 oC, Phổ XRD mẫu xử lý 200 oC, Phổ XRD mẫu xử lý 190 oC, 10