Luận án Tiến sĩ Vật lý: Chế tạo, nghiên cứu tính chất của màng mỏng, cấu trúc nano trên cơ sở ZnO pha tạp và khả năng ứng dụng

Luận án chế tạo thành công các hạt nano ZnO bằng phương pháp vi sóng. Các hạt thu được có kích thước nhỏ (

ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI TRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC TỰ NHIÊN …  … Nguyễn Việt Tuyên CHẾ TẠO, NGHIÊN CỨU TÍNH CHẤT CỦA MÀNG MỎNG, CẤU TRÚC NANO TRÊN CƠ SỞ ZnO PHA TẠP VÀ KHẢ NĂNG ỨNG DỤNG LUẬN ÁN TIẾN SĨ VẬT LÝ Hà Nội – 2011 ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI TRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC TỰ NHIÊN …  … Nguyễn Việt Tuyên CHẾ TẠO, NGHIÊN CỨU TÍNH CHẤT CỦA MÀNG MỎNG, CẤU TRÚC NANO TRÊN CƠ SỞ ZnO PHA TẠP VÀ KHẢ NĂNG ỨNG DỤNG CHUYÊN NGÀNH: VẬT LÝ CHẤT RẮN MÃ SỐ: 62.44.07.01 LUẬN ÁN TIẾN SĨ VẬT LÝ NGƯỜI HƯỚNG DẪN KHOA HỌC: PGS TS TẠ ĐÌNH CẢNH PGS TS NGÔ THU HƯƠNG Hà Nội – 2011 MỤC LỤC Trang DANH MỤC CÁC KÝ HIỆU VÀ CHỮ VIẾT TẮT V MỞ ĐẦU Chương Tổng quan vật liệu bán dẫn ZnO 1.1 Tính chất ZnO cấu trúc nano 1.1.1 Cấu trúc tinh thể ZnO 1.1.2 So sánh tính chất vật lý cấu trúc nano ZnO với ZnO dạng khối 1.1.2.1 Tính chất học 1.1.2.2 Tính chất điện 10 1.1.2.3 Tính chất quang 13 1.1.2.4 Pha tạp ion từ tính 17 1.1.2.5 Tính chất nhận biết chất hóa học 21 1.2 Tình hình nghiên cứu vật liệu ZnO hướng nghiên cứu cịn có khả phát triển 24 1.2.1 Tình hình nghiên cứu vật liệu ZnO giới nước 24 1.2.2 Những hướng nghiên cứu cịn có khả phát triển 24 1.2.2.1 Vật liệu ZnO pha tạp loại n loại p 25 1.2.2.2 Chế tạo khảo sát tính chất cấu trúc nano ZnO 27 Kết luận chương 29 Chương Một số phương pháp chế tạo màng, vật liệu nano ZnO kỹ thuật thực nghiệm 30 2.1 Các phương pháp chế tạo mẫu 30 2.1.1 Phương pháp phún xạ r.f magnetron 30 2.1.2 Phương pháp bốc bay nhiệt đơn giản có sử dụng khí mang 33 2.1.3 Phương pháp vi sóng 37 2.1.3.1 Giới thiê ̣u chung 37 2.1.3.2 Cơ sở phương pháp vi sóng 39 2.2 Một số phương pháp khảo sát tính chất vật liệu ZnO 40 2.2.1 Nghiên cứu cấu trúc phương pháp nhiễu xạ tia X 40 2.2.2 Hiển vi điện tử 41 2.2.2.1 Kính hiển vi điện tử truyền qua truyền qua phân giải cao 42 2.2.2.2 Kính hiển vi điện tử quét 44 2.2.2.3 Nhiễu xạ điện tử diện tích chọn lọc 45 2.2.2.4 Phổ tán sắc lượng 46 2.2.3 Từ kế mẫu rung (VSM) 47 I 2.2.4 Hệ đo hiệu ứng Hall 48 2.2.5 Hệ đo phổ hấp thụ truyền qua 52 2.2.6 Hệ đo phổ huỳnh quang 54 Kết luận chương 55 Chương Chế tạo màng mỏng ZnO pha tạp chất phương pháp phún xạ r.f magnetron tính chất chúng 56 3.1 Chế tạo màng mỏng ZnO pha tạp chất Indi (In) 56 3.1.1 Chế tạo mẫu 56 3.1.2 Ảnh hưởng nhiệt độ đế tới cấu trúc, tính chất điện quang màng ZnO:In 57 3.1.2.1 Tính chất cấu trúc 57 3.1.2.2 Hình thái học màng 58 3.1.2.3 Tính chất điện 59 3.1.2.4 Tính chất quang 60 3.2 Chế tạo màng mỏng ZnO pha tạp chất Phốtpho (P) 62 3.2.1 Chế tạo mẫu 62 3.2.2 Tính chất cấu trúc tính chất điện màng mỏng ZnO pha tạp chất Phốtpho 63 3.3 Màng ZnO pha tạp Phốtpho (P) chế tạo môi trường khí Nitơ (N 2) 64 3.3.1 Chế tạo mẫu 64 3.3.2 Tính chất cấu trúc tính chất điện màng mỏng ZnO pha tạp chất Phốtpho chế tạo mơi trường khí Nitơ 65 Kết luận chương 68 Chương Chế tạo số cấu trúc nano ZnO ZnO pha tạp chất tính chất chúng 69 4.1 Chế tạo hạt nano ZnO ZnO pha tạp chất phương pháp vi sóng 69 4.1.1 Chế tạo mẫu 69 4.1.1.1 Quá trình chuẩn bị 69 4.1.1.2 Tạo hạt nano phương pháp vi sóng 70 4.1.2 Ảnh hưởng số điều kiện cơng nghệ đến hình dạng cấu trúc ̣t nano ZnO 72 4.1.2.1 Ảnh hưởng dung mơi lên tính chất cấu trúc hạt nano 72 4.1.2.2 Ảnh hưởng chất hoạt hóa bề mặt lên hình dạng cấu trúc hạt nano ZnO chế tạo phương pháp vi sóng 76 4.1.2.3 Ảnh hưởng tỉ lệ PVP lên hình dạng kích thước cấu trúc nano ZnO pha tạp Ni 80 4.1.3 Một số tính chất hạt nano ZnO ZnO pha tạp 85 4.1.3.1 Phổ EDS 85 4.1.3.2 Nhiễu xạ tia X 86 II 4.1.3.3 Tính chất huỳnh quang 87 4.1.3.4 Tính chất từ hạt nano ZnO pha tạp kim loại chuyển tiếp 89 4.2 Chế tạo dây, nano ZnO phương pháp bốc bay nhiệt đơn giản 93 4.2.1 Chế tạo mẫu 93 4.2.2 Ảnh hưởng chế độ cơng nghệ lên hình thái kích thước dây nano ZnO 94 4.2.2.1 Ảnh hưởng độ dày màng vàng xúc tác 95 4.2.2.2 Ảnh hưởng nhiệt độ đế 96 4.2.3 Tính chất cấu trúc, tính chất huỳnh quang dây, nano ZnO 98 4.3 Chế tạo mẫu đĩa nano ZnO pha tạp In 100 4.3.1 Ảnh hưởng chế độ công nghệ đến hình thái, kích thước cấu trúc nano ZnO pha tạp In 101 4.3.1.1 Ảnh hưởng hàm lượng In bột nguồn 101 4.3.1.2 Ảnh hưởng nhiệt độ đế 102 4.3.1.3 Cơ chế giải thích hình thành số cấu trúc nano chế tạo 106 4.3.2 Tính chất cấu trúc tính chất huỳnh quang đĩa nano ZnO:In 110 Kết luận chương 117 Chương Một vài khả ứng dụng màng mỏng vật liệu cấu trúc nano sở ZnO 119 5.1 Sử dụng màng mỏng ZnO để chế tạo cảm biến nhạy ánh sáng tử ngoại 119 5.1.1 Chế tạo màng mỏng ZnO cấu trúc Al/ZnO/Al 119 5.1.2 Khảo sát tính chất cấu trúc, tính chất quang màng mỏng ZnO cấu trúc Al/ZnO/Al 119 5.2 Sử dụng lớp chuyển tiếp dị thể n-ZnO:In/p-Si để chế tạo thiết bị tự động đóng ngắt quang điện 122 5.2.1 Chế tạo màng mỏng ZnO:In cấu trúc n-ZnO:In/p-Si 122 5.2.2 Khảo sát tính chất quang, huỳnh quang màng mỏng ZnO:In cấu trúc n-ZnO:In/p-Si 124 5.2.3 Chế tạo thiết bị đóng ngắt quang điện 125 5.3 Sử dụng dây nano ZnO để chế tạo sensor nhạy độ ẩm 127 5.3.1 Chế tạo cấu trúc Pt/nano ZnO/Pt 127 5.3.2 Khảo sát tính chất nhạy độ ẩm cấu trúc Pt/nano ZnO/Pt 128 5.3.3 Cơ chế nhạy ẩm vật liệu nano ZnO 131 Kết luận chương 134 Kết luận 135 III DANH MỤC CÁC CƠNG TRÌNH KHOA HỌC CỦA TÁC GIẢ LIÊN QUAN ĐẾN LUẬN ÁN 137 Tài liệu tham khảo 139 IV MỤC LỤC Trang DANH MỤC CÁC KÝ HIỆU VÀ CHỮ VIẾT TẮT V MỞ ĐẦU Chương Tổng quan vật liệu bán dẫn ZnO 1.1 Tính chất ZnO cấu trúc nano 1.1.1 Cấu trúc tinh thể ZnO 1.1.2 So sánh tính chất vật lý cấu trúc nano ZnO với ZnO dạng khối 1.1.2.1 Tính chất học 1.1.2.2 Tính chất điện 10 1.1.2.3 Tính chất quang 13 1.1.2.4 Pha tạp ion từ tính 17 1.1.2.5 Tính chất nhận biết chất hóa học 21 1.2 Tình hình nghiên cứu vật liệu ZnO hướng nghiên cứu cịn có khả phát triển 24 1.2.1 Tình hình nghiên cứu vật liệu ZnO giới nước 24 1.2.2 Những hướng nghiên cứu cịn có khả phát triển 24 1.2.2.1 Vật liệu ZnO pha tạp loại n loại p 25 1.2.2.2 Chế tạo khảo sát tính chất cấu trúc nano ZnO 27 Kết luận chương 29 Chương Một số phương pháp chế tạo màng, vật liệu nano ZnO kỹ thuật thực nghiệm 30 2.1 Các phương pháp chế tạo mẫu 30 2.1.1 Phương pháp phún xạ r.f magnetron 30 2.1.2 Phương pháp bốc bay nhiệt đơn giản có sử dụng khí mang 33 2.1.3 Phương pháp vi sóng 37 2.1.3.1 Giới thiê ̣u chung 37 2.1.3.2 Cơ sở phương pháp vi sóng 39 2.2 Một số phương pháp khảo sát tính chất vật liệu ZnO 40 2.2.1 Nghiên cứu cấu trúc phương pháp nhiễu xạ tia X 40 2.2.2 Hiển vi điện tử 41 2.2.2.1 Kính hiển vi điện tử truyền qua truyền qua phân giải cao 42 2.2.2.2 Kính hiển vi điện tử quét 44 2.2.2.3 Nhiễu xạ điện tử diện tích chọn lọc 45 2.2.2.4 Phổ tán sắc lượng 46 2.2.3 Từ kế mẫu rung (VSM) 47 I 2.2.4 Hệ đo hiệu ứng Hall 48 2.2.5 Hệ đo phổ hấp thụ truyền qua 52 2.2.6 Hệ đo phổ huỳnh quang 54 Kết luận chương 55 Chương Chế tạo màng mỏng ZnO pha tạp chất phương pháp phún xạ r.f magnetron tính chất chúng 56 3.1 Chế tạo màng mỏng ZnO pha tạp chất Indi (In) 56 3.1.1 Chế tạo mẫu 56 3.1.2 Ảnh hưởng nhiệt độ đế tới cấu trúc, tính chất điện quang màng ZnO:In 57 3.1.2.1 Tính chất cấu trúc 57 3.1.2.2 Hình thái học màng 58 3.1.2.3 Tính chất điện 59 3.1.2.4 Tính chất quang 60 3.2 Chế tạo màng mỏng ZnO pha tạp chất Phốtpho (P) 62 3.2.1 Chế tạo mẫu 62 3.2.2 Tính chất cấu trúc tính chất điện màng mỏng ZnO pha tạp chất Phốtpho 63 3.3 Màng ZnO pha tạp Phốtpho (P) chế tạo mơi trường khí Nitơ (N 2) 64 3.3.1 Chế tạo mẫu 64 3.3.2 Tính chất cấu trúc tính chất điện màng mỏng ZnO pha tạp chất Phốtpho chế tạo mơi trường khí Nitơ 65 Kết luận chương 68 Chương Chế tạo số cấu trúc nano ZnO ZnO pha tạp chất tính chất chúng 69 4.1 Chế tạo hạt nano ZnO ZnO pha tạp chất phương pháp vi sóng 69 4.1.1 Chế tạo mẫu 69 4.1.1.1 Quá trình chuẩn bị 69 4.1.1.2 Tạo hạt nano phương pháp vi sóng 70 4.1.2 Ảnh hưởng số điều kiện công nghệ đến hình dạng cấu trúc ̣t nano ZnO 72 4.1.2.1 Ảnh hưởng dung môi lên tính chất cấu trúc hạt nano 72 4.1.2.2 Ảnh hưởng chất hoạt hóa bề mặt lên hình dạng cấu trúc hạt nano ZnO chế tạo phương pháp vi sóng 76 4.1.2.3 Ảnh hưởng tỉ lệ PVP lên hình dạng kích thước cấu trúc nano ZnO pha tạp Ni 80 4.1.3 Một số tính chất hạt nano ZnO ZnO pha tạp 85 4.1.3.1 Phổ EDS 85 4.1.3.2 Nhiễu xạ tia X 86 II 4.1.3.3 Tính chất huỳnh quang 87 4.1.3.4 Tính chất từ hạt nano ZnO pha tạp kim loại chuyển tiếp 89 4.2 Chế tạo dây, nano ZnO phương pháp bốc bay nhiệt đơn giản 93 4.2.1 Chế tạo mẫu 93 4.2.2 Ảnh hưởng chế độ cơng nghệ lên hình thái kích thước dây nano ZnO 94 4.2.2.1 Ảnh hưởng độ dày màng vàng xúc tác 95 4.2.2.2 Ảnh hưởng nhiệt độ đế 96 4.2.3 Tính chất cấu trúc, tính chất huỳnh quang dây, nano ZnO 98 4.3 Chế tạo mẫu đĩa nano ZnO pha tạp In 100 4.3.1 Ảnh hưởng chế độ cơng nghệ đến hình thái, kích thước cấu trúc nano ZnO pha tạp In 101 4.3.1.1 Ảnh hưởng hàm lượng In bột nguồn 101 4.3.1.2 Ảnh hưởng nhiệt độ đế 102 4.3.1.3 Cơ chế giải thích hình thành số cấu trúc nano chế tạo 106 4.3.2 Tính chất cấu trúc tính chất huỳnh quang đĩa nano ZnO:In 110 Kết luận chương 117 Chương Một vài khả ứng dụng màng mỏng vật liệu cấu trúc nano sở ZnO 119 5.1 Sử dụng màng mỏng ZnO để chế tạo cảm biến nhạy ánh sáng tử ngoại 119 5.1.1 Chế tạo màng mỏng ZnO cấu trúc Al/ZnO/Al 119 5.1.2 Khảo sát tính chất cấu trúc, tính chất quang màng mỏng ZnO cấu trúc Al/ZnO/Al 119 5.2 Sử dụng lớp chuyển tiếp dị thể n-ZnO:In/p-Si để chế tạo thiết bị tự động đóng ngắt quang điện 122 5.2.1 Chế tạo màng mỏng ZnO:In cấu trúc n-ZnO:In/p-Si 122 5.2.2 Khảo sát tính chất quang, huỳnh quang màng mỏng ZnO:In cấu trúc n-ZnO:In/p-Si 124 5.2.3 Chế tạo thiết bị đóng ngắt quang điện 125 5.3 Sử dụng dây nano ZnO để chế tạo sensor nhạy độ ẩm 127 5.3.1 Chế tạo cấu trúc Pt/nano ZnO/Pt 127 5.3.2 Khảo sát tính chất nhạy độ ẩm cấu trúc Pt/nano ZnO/Pt 128 5.3.3 Cơ chế nhạy ẩm vật liệu nano ZnO 131 Kết luận chương 134 Kết luận 135 III DANH MỤC CÁC CƠNG TRÌNH KHOA HỌC CỦA TÁC GIẢ LIÊN QUAN ĐẾN LUẬN ÁN 137 Tài liệu tham khảo 139 IV chất hoạt hóa lên hình dạng, cấu trúc tính chất hạt nano sản phẩm nghiên cứu giải thích Kết cho thấy dung mơi chất hoạt hóa có ảnh hưởng mạnh lên hình thái sản phẩm thu Dung mơi thích hợp để tạo hạt nano ZnO propanol PVP chất hoạt hóa có tác dụng làm giảm kích thước hạt tăng độ bền hạt nano môi trường dung dịch Các hạt nano nhỏ có dạng hình cầu kích thước trung bình vào khoảng 5-10 nm  Các sản phẩm chế tạo được khảo sát số khả ứng dụng, là: o Đã chế tạo thành cơng màng quang trở ZnO có cấu trúc kim loại-bán dẫn-kim loại nhạy tia tử ngoại o Đã chế tạo thành công khảo sát đặc trưng lớp chuyển tiếp dị thể n-ZnO:In/p-Si có hiệu ứng pin mặt trời Chế tạo thành cơng thiết bị đóng ngắt quang tự động sở lớp chuyển tiếp dị thể n- ZnO:In/ p-Si có khả dùng làm thiết bị đóng ngắt tự động o Đã chế tạo thành công sensor nhạy độ ẩm sử dụng dây nano ZnO nano ZnO với điện cực Pt có dạng cài lược với độ nhạy tốt độ bền cao (sai số nhỏ 3% sau tháng) 136 DANH MỤC CÁC CƠNG TRÌNH KHOA HỌC CỦA TÁC GIẢ LIÊN QUAN ĐẾN LUẬN ÁN Nguyen Viet Tuyen, Nguyen Ngoc Long and Ta Dinh Canh (2010), “Synthesis and characteristics of single-crystal Ni-doped ZnO nanorods by a microwave irradiation”, nhận in tạp chí e-Journal of Surface Science and Nanotechnology Nguyen Viet Tuyen, Ta Dinh Canh and Nguyen Ngoc Long (2010), “Photoconductive UV detectors based on ZnO films prepared by r.f magnetron sputtering method”, Commmunications in Physics, 20, pp 77-81 Ta Dinh Canh, Nguyen Viet Tuyen, Nguyen Ngoc Long and Vo Ly Thanh Ha (2010), “Preparation and characteristics of the In-doped ZnO thin films and the nZnO:In/p-Si heterojunction for optoelectronic switch”, VNU Journal of Science, Mathematics-Physics, 26, pp 9-16 Nguyen Viet Tuyen, Ta Đinh Canh, Nguyen Ngoc Long, Tran Thi Quynh Hoa, Nguyen Xuan Nghia, Đam Hieu Chi, K.Higashimine, T.Mitani (2009), “Indium doped Zinc oxide nanometer thick disks synthesized by a vapor phase transport process”, Journal of Experimental Nanoscience , 4(3), pp 243-252 Nguyen Viet Tuyen , Ta Dinh Canh, Nguyen Ngoc Long, Nguyen Xuan Nghia, Bui Nguyen Quoc Trinh and Zhongrong Shen (2009), “Synthesis of Undoped- and M-doped ZnO (M = Co, Mn) Nanopowder in Water using Microwave Irradiation”, Journal of Physics: Conference Series, 187, pp 012020 012026 Nguyen Viet Tuyen, Nguyen Ngoc Long, Ta Dinh Canh (2009), “Stabilization of ZnO nanoparticles prepared by microwave irradiation method”, Proceedings of the 6th Vietnam National Conference on Solid State Physics and Materials Science, pp 587-591 Ta Dinh Canh, Nguyen Viet Tuyen, Nguyen Ngoc Long (2009), “Influence of solvents on the growth of zinc oxide nanoparticles fabricated by microwave irradiation”, VNU Journal of Science: Mathematics-Physics, 25, pp 71-76 Nguyen Viet Tuyen, Ta Dinh Canh, Pham Van Ben, Bach Van Sy, Nguyen Xuan Nghia, Tran Thi Quynh Hoa and Nguyen Ngoc Long (2008), “Preparation of n-ZnO:In/p-Si heterojunction by r.f magnetron sputtering”, Proceedings of the eleventh Vietnam-German seminar on Physics and Engineering, pp.137-140 137 Ta Dinh Canh, Nguyen Viet Tuyen, Nguyen Ngoc Long, Hoang Minh Tuan, Bui Nguyen Quoc Trinh and Zhongrong Shen (2008), “Synthesis of zinc oxide nanopowders via microwave irradiation”, VNU Journal of Science: MathematicsPhysics, 24, pp 146-149 10 Nguyễn Việt Tuyên, Tạ Đình Cảnh, Trần Thị Quỳnh Hoa (2007), “Màng mỏng ZnO pha tạp Nitơ Phốtpho loại p chế tạo phương pháp phún xạ r.f Magnetron”, Tuyển tập báo cáo Hội nghị vật lý chất rắn toàn quốc (2007), pp.342-345 11 T.T.Q.Hoa, T.D.Canh, N.N.Long, N.V.Tuyen and N.D.Phuong (2007), “Photoluminescence of ZnO nanostructure prepared by catalyst- assisted vaporliquid-solid”, A Journal of the ASEAN Committee on Science & Technology, 24(1), pp.131-137 12 Nguyễn Việt Tuyên, Tạ Đình Cảnh, Trần Thị Quỳnh Hoa, Đặng Hải Ninh, Ngô Thu Hương, Nguyễn Duy Phương (2007), “Tính chất cấu trúc, tính chất điện quang màng mỏng ZnO:In chế tạo phương pháp phún xạ r.f magnetron”, Tuyển tập báo cáo Hội nghị vật lý chất rắn toàn quốc, tr 355358 13 T.T.Q.Hoa, T.D.Canh, N.N.Long, N.V.Tuyen (2006), “Zinc oxide nanostructure for humidity sensor”, VNU Journal of Science: Mathematics – Physics, 22(2AP), pp 69-72 14 N.V.Tuyen, T.D.Canh, N.T.Huong, T.T.Q.Hoa, N.D.Phuong (2006), “Preparation of transparent and conductive In2O3 doped ZnO by radio frequency magnetron sputtering”, Proceedings of the seventh Vietnam German Seminar on Physics and Engineering, pp 346-349 15 Nguyen Viet Tuyen, Ta Dinh Canh, Nguyen Ngoc Long and Tran Thi Quynh Hoa (2006), “Zinc/Zinc oxide core/shell Nanostructures”, Proceedings of the st IWOFM and 3rd IWONN Conference, pp 396-399 16 Tạ Đình Cảnh, Nguyễn Việt Tuyên, Trần Thị Quỳnh Hoa, Nguyễn Ngọc Long (2005), “Chế tạo khảo sát dây nanô ZnO”, Tuyển tập báo cáo Hội nghị Vật lý Toàn quốc lần thứ VI, tr 1357-1360 17 Tạ Đình Cảnh, Nguyễn Việt Tuyên, Trần Thị Quỳnh Hoa, Nguyễn Ngọc Long (2005), “Chế tạo tính chất đĩa nanô ZnO pha tạp In”, Tuyển tập báo cáo Hội nghị Vật lý Toàn quốc lần thứ VI, tr 1277-1280 138 Tài liệu tham khảo Tài liệu tham khảo tiếng Việt Đàm Trung Đồn, Nguyễn Viết Kính (1990), Vật lý phân tử nhiệt học, Trường đại học Tổng hợp Hà Nội, Hà Nội Trương Tinh Hà (2006), Ứng dụng kỹ thuật van der Pauw hiệu ứng Hall cho màng mỏng, Luận văn Thạc sĩ Vật lý, Đại học Quốc gia Thành phố Hồ Chí Mính Trần Thị Quỳnh Hoa, Chế tạo khảo sát dây nano ZnO có xúc tác Au phương pháp bốc bay nhiệt đơn giản, Luận văn cao học Vật lý, Đại học Quốc Gia Hà Nội Phùng Hồ, Phan Quốc Phơ (2001), Giáo trình vật lý bán dẫn, NXB Khoa học Kĩ thuật Nguyễn Duy Phương (2006), Nghiên cứu chế tạo khảo sát số tính chất màng mỏng sở ZnO khả ứng dụng chúng, Luận án tiến sĩ Vật lý, Trường Đại học Khoa học Tự nhiên, ĐHQG Hà Nội Tài liệu tham khảo tiếng Anh Ali A I., Kim C.H., Cho J.H., Kim G.B (2006), “Growth and Characterization of ZnO:Al Thin Film Using r.f Sputtering for Transparent Conducting Oxide”, Journal of the Korean Physical Society, 49, pp S652-S656 Ajimsha R.S., Jayaraj M.K., and Kukreja L.M (2008), “Electrical characteristics of n-ZnO/p-Si heterojunction diodes grown by pulsed laze deposition at different oxygen pressures”, Journal of electronic materials, 37, pp 770-775 Arnold M S., Avouris P., Pan Z W., and Wang Z L (2003), “Field-Effect Transistors Based on Single Semiconducting Oxide Nanobelts”, Journal of Physics and Chemistry B, 107, pp 659- 663 Bai X D., Gao P X., and Wang Z L., Wang E G (2003), “Dual-mode mechanical resonance of individual ZnO nanobelts”, Applied Physics letters, 82(26), pp 4806-4808 10 Bao J., Zimmler M A., and Capasso F (2006), “Broadband ZnO SingleNanowire Light-Emitting diode”, Nano Letters, 6, pp 1719-1722 11 Baxter J B., Walker A M., Ommering K van., and Aydil E S (2006), “Synthesis and integration of ZnO nanowires into dye sensitized solar cells” Nanotechnology, 17, pp S304-S308 139 12 Cao B., Cai W., and Zeng H (2006), “Temperature-dependent shifts of three emission bands for ZnO nanoneedle arrays”, Applied Physics letters, 88, pp 161101-161105 13 Cao H., Wu J Y., Ong H C., Dai J Y., and Chang R P H (1998), “Second harmonic generation in lazer ablated zinc oxide thin films”, Appied Physics Letters 73, pp 572-575 14 Cha S N., Jang J E., Choi Y., Amaratunga G A J., Ho G W., Welland M E., Hasko D G., Kang D.J., and Kim J M (2006), “High performance ZnO nanowire field effect transistor using self-aligned nanogap gate electrodes”, Applied Physics Letters, 89, pp 263102-263105 15 Chang Y Q., Wang D B., Luo X H., Xu X Y., Chen X H., Li L., Chen C P., Wang R M., Xu J., Yu D P (2003), “Synthesis, optical, and magnetic properties of diluted magnetic semiconductor Zn1−xMnxO nanowires via vapor phase growth”, Applied Physics Leters, 83, pp 4020-4023 16 Chen X.Y., Fang F., Alan M C Ng., Djurišič A B., Cheah K W., Ling C C., Chan W K., Patrick W K F., Lui H F, and Surya C (2011), “Nitrogen dopedZnO/n-GaN heterojunctions”, Journal of Applied Physics, 109, pp 084330 17 Chen Z and Lu C (2005), “Humidity Sensors: A Review of Materials and Mechanisms”, Sensor Letters, 3, pp274–295 18 Chi D.H., Binh L.T.T., Binh N.T., Khanh L.D., and Long N.N (2006), “Bandedge photoluminescence in nanocrystalline ZnO: In films prepared by electrostatic spray deposition”, Applied Surface Science, 252, pp 2770–2775 19 Choy J H., Jang E S., Won J H., Chung J H., Jang D.J., and Kim Y W (2004), “Hydrothermal route to ZnO nanocoral reefs and nanofibers”, Applied Physics Letters, 84(2), pp 287- 290 20 Choy J.H., Jang E.S., Won J.H., Chung J.H., Jang D.J., Kim Y.W (2003), “Soft Solution Route to Directionally Grown ZnO Nanorod Arrays on Si Wafer RoomTemperature Ultraviolet Lazer”, Advanced Matter, 15, pp 1911-1914 21 Chu D., Zeng Y., Jiang D (2007), “Controlled growth and properties of Pb2+ doped ZnO nanodisks”, Materials Research Bulletin, 42, pp 814–819 22 Cui J and Gibson U (2007), “Low-temperature fabrication of single-crystal ZnO nanopillar photonic bandgap structures”, Nanotechnology, 18, pp.155302155308 140 23 Cullity B.D (1978), Elements of X-ray diffractions, Edition-Wesley, Reading, M.A 24 Dickinson C (2007), Metal Oxide Porous Single Crystals and Other Nanomaterials: An HRTEM Study, PhD Thesis, Faculty of Science of the University of St Andrews, England 25 Dietl T (2002), “Ferromagnetic semiconductors”, Semiconductor Science and Technology, 17, pp.377-342 26 Fan Z., and Lu J G (2005), “Gate refreshable nanowire chemical sensors”, Applied Physics Letters, 86, pp 123510-123513 27 Feng X L., Jin M., Zhai J., Jiang L., and Zhu D (2004), “Reversible Superhydrophobicity to Super-hydrophilicity Transition of Aligned ZnO Nanorod Films”, Journal of American Chemistry Society, 126(1), pp 62–63 28 Feng W., Tao H., Liu Y and Liu Y (2006), “Structure and Optical Behavior of Nanocomposite Hybrid Films of Well Monodispersed ZnO Nanoparticles into Poly (vinylpyrrolidone)”, Journal of Material Science and Technology, 22(2), pp.173178 29 Gao P X., Lao C S., Ding Y., and Wang Z L (2006), “Metal/Semiconductor Core/Shell Nanodisks and Nanotubes”, Advanced Functional Material, 16, pp.53– 62 30 Ghoshal T., Biswas S., Paul M., De S.K (2009), “Synthesis of ZnO nanoparticles by solvothermal method and their ammonia sensing properties”, Journal of Nanoscience and Nanotechnology, 9(10), pp 5973-5980 31 Gu Y., Kuskovsky I L., Yin M., O’Brien S., and Neumark G G (2004), “Quantum confinement in ZnO nanorods”, Applied Physics Letters, 85, pp.38333836 32 Gu Y., Qi J., Zhang Y (2007), “Surface Energy of Indium Doped ZnO Studied by PAW+U Method”, Materials Science Forum, 561-65 (3), pp.1861-1864 33 Guo L and Yang S (2000), “Synthesis and Characterization of Poly(vinylpyrrolidone)-Modified Zinc Oxide Nanoparticles”, Chemistry and Material, 12, pp.2268-2274 34 Hamedani N F and Farzaneh F., (2006), “Synthesis of ZnO Nanocrystals with Hexagonal (Wurtzite) Structure in Water Using Microwave Irradiation”, Journal of Sciences - Islamic Republic of Iran, 17(3), pp 231-234 141 35 Han X., Wang G., Wang Q., Cao L., Liu R., Zou B., and Hou J G (2005), “Ultraviolet lasing and time-resolved photoluminescence of well-aligned ZnO nanorod arrays”, Applied Physics Letter, 86, pp.223106-223109 36 Heo Y W., Ip K., Park S J., Pearton S J., Norton D D (2004), “Shallow donor formation in phosphorousdoped ZnO thin films”, Applied Physics A, 78, pp 53-57 37 Heo Y W., Ivill M P., Ip K., Norton D.P., Pearton S J., Kelly J G., Rairigh R., Hebard F., Steiner T (2004), “Effects of high-dose Mn implantation into ZnO grown on sapphire”, Applied Physics Letters, 84, pp.2292-2294 38 Hinoki T., Yazawa K., Kinoshita K., Ohmi K (2010), “Ga doped ZnO thin films prepared by RF plasma assisted DC magnetron sputtering under reductive atmosphere without heating substrates”, Physics status solidi (c), 7, pp.1559–1561 39 Hong W K., Hwang D K., Park I K., Jo G., Song S., Park S J., Lee T., Kim B J., and Stach E A (2007), “Realization of highly reproducible ZnO nanowire field effect transistors with n-channel depletion and enhancement modes”, Applied Physics Letters, 90, pp.243103-243106 40 Hou K., Li C , Lei W., Zhang X., Gu W and Engelsen D (2007), “Surface conduction electron emission of ZnO nanostructures”, Nanotechnology, 18, pp.335204-335210 41 Hsu C L., Chang S J., Lin Y R., Li P C., Lin T S., Tsai S Y., Lu T H and Chen I C (2005), “Ultraviolet photodetectors with low temperature synthesized vertical ZnO nanowires”, Chemistry Physics Letters, 416, pp.75-78 42 Hu Z., Oskam G., and Searson P C (2003), “Influence of solvent on the growth of ZnO nanoparticles”, Journal of Colloid and Interface Science, 263, pp.454–460 43 Hu H., Yu K., Zhu J., Zhu Z (2006), “ZnO nanostructures with different morphologies and their field emission properties”, Applied Surface Science, 252, pp.8410-8413 44 Huang M H., Mao S., Feick H., Yan H., Wu Y., Kind H., Weber E., Russo R., and Yang P (2001), “Roomtemperature ultraviolet nanowire nanolazers”, Science, 292, pp.1897-1899 45 Huang Y., Zhang Y., Zhang X., Liu J., He J., Liao Q (2006), “Structures, growth mechanism and properties of ZnO nanomaterials fabricated by zinc power evaporation”, NanoScience, 11(4), pp.265-275 46 Hughes W L and Wang Z L (2005), “Controlled synthesis and manipulation of ZnO nanorings and nanobows”, Applied Physics letters, 86, pp 043106-043110 142 47 Hughes W L., Wang Z L (2003), “Nanobelts as nanocantilevers”, Applied Physics Letters, 82, pp.2886.-2889 48 Hwang D., Kim H., Lim J., Oh J., Yang J and Park S (2005), “Study of photoluminescence of phosphorous-doped p-type ZnO thin films grown by radiofrequency magnetron sputtering”, Applied Physics Letters, 86, pp.151917-151923 49 Hwang D.K., Oh M.S., Lim J.H., Kang C.G., and Park S.J (2007), “Effect of annealing temperature and ambient gas on phosphorus doped p-type ZnO”, Applied physics letters, 90, pp 021106-021109 50 Illy B., Shollock B.A., Machames-Driscoll J.L., and Ryan M.P (2006), “Electrochemical growth of ZnO nanoplates”, Nanotechnology, 16, pp.320–324 51 Ji Z., Yang C., Liu K., Ye Z (2003), “Fabrication and characterization of p-type ZnO films by pyrolysis of zinc-acetate-amonia solution”, Journal of Crystal Growth, 253, pp.239-242 52 Johnson J C., Yan H., Schaller R D., Haber L H., Saykally R J., and Yang P (2001), “Single Nanowire Lazers” , Journal of Physics and Chemistry, B105, pp.11387-11390 53 Kind H., Yan H., Messer B., Law M., Yang P (2002), “Nanowire Ultraviolet Photodetectors and Optical Switches”, Advanced Material, 14, pp.158-160 54 Kukreja L M., Barik S., Misra P (2004), “Variable band-gap ZnO Nanostructures Grown by Pulsed Lazer Deposition”, Journal of Crystal Growth, 268, pp.531-535 55 Kumar S., Kim G., Sreenivas K and Tandon R P (2007), “Mechanism of ultraviolet photoconductivity in zinc oxide nanoneedles”, Journal of Physics: Condensed Matter, 19, pp.472202-472212 56 La S.A.M., Sigoli F.A., Jafelicci M., Davolos M.R., Inor J (2001), “Luminescent properties and lattice defects correlation on zinc oxide”, International Journal of Inorganic materials, 3, pp 749-754 57 Lakeshore Co (2006), Lakeshore Hall measurement 7600 series manual instruction, Lakeshore cryotronics Inc., USA 58 Larcipretel M.C , Haertle D , Belardini1 A , Bertolotti1 M , Sarto F and Günter P (2006), “Characterization of second and third order optical nonlinearities of ZnO sputtered films”, Applied Physics B, 82, pp.431-437 143 59 Law M., Sirbuly D J., Johnson J C., Goldberger J., Saykally R J., and Yang P (2004), “Nanoribbon Waveguides for Subwavelength Photonics Integration”, Science, 305, pp.1269-1273 60 Law M., Greene L E., Johnson J C., Saykally R., Yang P (2005), “Nanowire dye-sensitized solar cells”, Nature Materials, 4, pp.455-459 61 Li X.P., Zhang B.L., Guan H S., Shen R S., Peng X C., Zheng W., Xia X C., Zhao W., Dong X., Du G T (2009), “Photoluminescence and X-Ray Photoelectron Spectroscopy of p-Type Phosphorus-Doped ZnO Films Prepared by MOCVD”, Chinese Physics Letters, 26, pp.098101-098108 62 Lia P.G , Tanga W.H , Wang X (2009) , “Synthesis of ZnO nanowire arrays and their photoluminescence property”, Journal of Alloys and Compounds, 479(1-2), pp.634-637 63 Liu C., Yun F., Morkoc H (2005), “Ferromagnetism of ZnO and GaN: A Review”, Journal of Materials Science: Materials in electronics, 16, pp.555– 597 64 Liu C H., Yiu W C., Au F C K., Ding J X., Lee C S., Lee S T (2003), “Electrical properties of zinc oxide nanowires and intramolecular p–n junctions”, Applied Physics Letters, 83, pp.3168-3171 65 Liu X.M., Zhou Y.C (2004), “Seed-mediated synthesis of uniform ZnO nanorods in the presence of polyethylene glycol”, Journal of Crystal Growth, 270, pp.527–534 66 Liufu S., Xiao H., Li Y (2004), “Investigation of PEG adsorption on the surface of zinc oxide nanoparticles”, Powder Technology, 145, pp.20– 24 67 Look D C., Claflin B., Alivov Y I., Park S J (2004), “The future of ZnO light emitters” Physica status solidi (a), 201, p 2203-2212 68 Lu J., Liang Q., Zhang Y., Ye Z and Fujita S (2007), “Improved p-type conductivity and acceptor states in N-doped ZnO thin films”, Journal of Physics D: Applied Physics, 40, pp.3177-3181 69 Lu J., Zhang Y., Ye Z., Wang L., Zhao B., Huang J (2003), “p-type ZnO films deposited by DC reactive magnetron sputtering at different ammonia concentrations”, Materials letters, 57, pp.3311-3314 70 Martinez B., Sandiumenge F., and Balcells L (2005), “Structure and magnetic properties of Co-doped ZnO nano particles”, Physical review B, 72, pp.165202-08 71 Meng X.Q., Zhao D.X., Zhang J.Y., Shen D.Z., Lu Y.M., Dong L., Xiao Z.Y., Liu Y.C., Fan X.W (2005), “Wettability conversion on ZnO nanowire arrays 144 surface modified by oxygen plasma treatment and annealing”, Chemistry and Physics Letters, 413, pp.450-453 72 Meulenkamp E.A (1998), “Synthesis and growth of ZnO nanoparticles”, Physics and Chemistry B, 102(29), pp.5566-5572 73 Miao Y., Ye Z., Xu W., Chen F., Zhou X., Zhao B., Zhu L., Lu J (2006), “pType conduction in phosphorus-doped ZnO thin films by MOCVD and thermal activation of the dopant”, Applied Surface Science, 252, pp.7953-7956 74 Moghaddam A B., Nazari T., Badraghi J., Kazemzad M (2009), “Synthesis of ZnO Nanoparticles and Electrodeposition of Polypyrrole/ZnO Nanocomposite Film”, Inernational Journal of Electrochemistry and Science, 4, pp.247 – 257 75 Myong S Y., Baik S.J., Lee C H., Cho W Y and Lim K S (1997), “Extremely Transparent and Conductive ZnO:Al Thin Films Prepared by PhotoAssisted Metalorganic Chemical Vapor Deposition (photo-MOCVD) Using AlCl3(6H2O) as New Doping Material”, Japanese Journal of Applied Physics- Part 2, 36, pp L1078- L1082 76 Newton M C., Firth S., and Warburton P A (2006), “ZnO tetrapod Schottky photodiodes”, Applied Physics Letters, 89, pp.072104-072107 77 Nikolai T., Alena N., Mikhail N (2010), “Properties of zinc-oxide nanoparticles synthesized by electrical-discharge technique in liquids”, Physica status solidi (a), 207(10), pp.2319–2322 78 Opel M., Nielsen K.W., Bauer S., Goennenwein S.T.B., Cezar J.C., Schmeisser D., Simon J., Mader W and Gross R (2008), “Nanosized superparamagnetic precipitates in cobalt-doped ZnO”, European Physics Journal B, 63, pp.437-444 79 Ozgur U., Alivov Y.I., Liu C., Teke A., Reshchikov M.A., Dogan S., Avrutin V., Cho S.J and Morkoc H (2005), “A comprehensive review of ZnO materials and devices” Journal of Applied physics”, 98, pp.041301-449 80 Palomino A G P (2006), Room-Temperature Synthesis and Characterization of Highly Monodisperse Transition Metal-Doped ZnO Nanocrystall, Master Thesis of Science, University of Puerto Rico Maya Guez Campus, Puerto Rico 81 Park J B., Park S H.and Song P K (2010), “Electrical and structural properties of In-doped ZnO films deposited by r.f superimposed DC magnetron sputtering system”, Journal of Physics and Chemistry of Solids, 71, pp.669-672 145 82 Park S.H (2007), “Growth of homoepitaxial ZnO film on ZnO nanorods and light emitting diode applications”, Nanotechnology, 18, pp.55608-55612 83 Park W.I and Yi G.C (2004), “Electroluminescence in n-ZnO Nanorod Arrays Vertically Grown on p-GaN”, Advanced Material, 16, pp.87-90 84 Park W I., Kim J S., Yi G.C., Bae M H., Lee H.J (2004), “Fabrication and electrical characteristics of high-performance ZnO nanorod field-effect transistors” , Applied Physics Letters, 85, pp.5052-5055 85 Park W I., Kim J S., Yi G.C., Lee H.J (2005), “ZnO Nanorod Logic Circuits”, Advanced Material, 17, pp.1393 -1397 86 Park Y R., Kim E K., Jung D., Park T S and Kim Y S (2008), “Growth of transparent conducting nano-structured In doped ZnO thin films by pulsed DC magnetron sputtering”, Applied Surface Science, 254, pp.2250- 2254 87 Pearton S J., Norton D P., Ip K., Heo Y W., Steiner T (2005), “Recent progress in processing and properties of ZnO”, Progress in Material Science, 50, pp.293-340 88 Qi Q., Zhang T., Qi Y R., Zeng Y., Liu L., Yang H (2008), “Properties of humidity sensing ZnO nanorods-base sensor fabricated by screen-printing”, Sensors and Actuators B, 133, pp.638–643 89 Qu X., Jia D (2009), “Controlled growth and optical properties of Al3+ doped ZnO nanodisks and nanorod clusters”, Materials Letters, 63, pp.412–414 90 Rao K J., Mahesh K and Kumar S (2005), “A strategic approach for preparation of oxide nanomaterials”, Bulletin in Material Science, 28(1), pp 19– 24 91 Saravanakumar K (2011), “Structural, Surface Morphological and Electrical Properties of Nanostructured p-Type ZnO:N Films”, Contemporary Engineering Sciences, 4, pp.119 – 140 92 Sato K and Yoshida K (2001), “Electronic structure and ferromagnetism of transition-metal-impurity-doped zinc oxide”, Physica B: Condensed Matter, 308310, pp.904-907 93 Sato K and Yoshida K (2002), “First principles materials design for semiconductor spintronics”, Semiconductor Science and Technology, 17, pp.367376 94 Shalish I., Temkin H., and Narayanamurti V (2004), “Size-dependent surface luminescence in ZnO nanowires”, Physical Review B, 69, pp.245401-245405 146 95 Shantheyanda B P., Todi V.O., Sundaram, K.B, Vijayakumar A and Oladeji I (2011), “Compositional study of vacuum annealed Al doped ZnO thin films obtained by r.f magnetron sputtering”, Journal of Vaccum Science and Technology, A29, pp.051514-051523 96 Sharma P., Gupta A., Rao K V., Owens F J., Sharma R., Ahuja R., Osorio J M., Johansson B., Gehring G A (2003), “Ferromagnetism above room temperature in bulk and transparent thin films of Mn-doped ZnO”, Nature and Material, 2, pp.673-677 97 Shih Y T., Chien J F., Chen M J., Yang J R., Shiojiri M (2011), “P-Type ZnO:P Films Fabricated by Atomic Layer Deposition and Thermal Processing”, Journal of Electrochemistry Society, 158, pp H516-H520 98 Shwartz D A., Kittilstved K.R and Gamelin D R (2004), “Above-roomtemperature ferromagnetic Ni2+-doped ZnO thin films prepared from colloidal diluted magnetic semiconductor quantum dots”, Applied Physics Letters, 85, pp.1395-1398 99 Singh D P (2010), “Synthesis and Growth of ZnO Nanowires”, Science of Advanced Materials, 2(3), pp.245-272 100 Tachikawa S., Noguchi A., Tsuge T., Hara M., Odawara O and Wada H (2011), “Optical Properties of ZnO Nanoparticles Capped with Polymers”, Materials, 4, pp.1132-1143 101 Tominaga K., Umezu N., Mori I., Ushiro T., Moriga T., and Nakabayshi I., (1998), “Properties of ZnO:In prepared by sputtering of facing ZnO:In and Zn targets”, Journal of Vaccum Science and Technology, A16, pp.1213-1217 102 Tseng, Y.-K Huang C.-J., Cheng H.-M., Lin I.-N., Liu K.-S., Chen I.-C (2003), “Characterization and field emission properties of needle-like zinc oxide nanowires grown on conductive zinc oxide films”, Advanced Functional Material, 13, pp.811-814 103 Vaithiamathan V., Lee Y., Lee B., Hichita S., Kim S (2006), “Doping of As, P and N in lazer deposited ZnO films”, Journal of Crystal Growth, 287, pp.85-88 104 Wan Q., Lin C L., Xu X B., Wang T H (2004), “Room-temperature hydrogen storage characteristics of ZnO nanowires”, Applied Physics Letters, 84, pp.124-130 147 105 Wang G., Wong G K L., and Ketterson J B (2001), “Redetermination of Second-Order Susceptibility of Zinc Oxide Single Crystals”, Applied Optics, 40(30), pp 5436-5438 106 Wang H., Xu J., Ren M and Yang L (2010), “Microstructure and properties of Al-doped ZnO thin films by nonreactive DC magnetron sputtering at room temperature following rapid thermal annealing ”, Journal of Materials Science: Materials in Electronics, 21(1), pp.33-37 107 Wang Y.G., Yuen C., Lau S.P., Yu S.F., Tay B.K (2003), “Ultraviolet lasing of ZnO whiskers prepared by catalyst-free thermal evaporation”, Chemical Physics Letters, 377, pp.329–332 108 Wang Z L (2004), “Zinc oxide nanostructures: growth, properties and applications”, Condensed Matter, 16, pp R829- R835 109 Wang Z.L and Song J (2006), “Piezoelectric Nanogenerators Based on Zinc Oxide Nanowire Arrays”, Science, 312, pp.242-246 110 Wang Z L., Kong X J., Gao Y D P., Hughes W L., Jang R and Zhang Y (2004), “Semiconducting and piezoelectric nanostructures induced by Polar surfaces”, Advanced functional material, 14, pp.943-956 111 Wang J X., Sun X W., Wei A., Lei Y., Cai X P., Li C M., and Dong Z L (2006), “Zinc oxide nanocomb biosensor for glucose detection”, Applied Physics letters, 88, pp 233106-233112 112 Wang X., Ding Y., Summers C J., Wang Z L (2004), “Large-Scale Synthesis of Six-Nanometer-Wide ZnO Nanobelts”, Journal of Physics and Chemistry B, 108, pp.8773-8777 113 Wei A., Sun X W., Xu C X., Dong Z L., Yu M B., and Huang W., (2006), “Stable field emission from hydrothermally grown ZnO nanotubes”, Applied Physics letters, 88, pp.213102-213105 114 Wei M., Lei L., Kerr, and David C L (2011), “Enhanced p-type Conductivity of Nitrogen Doped ZnO by Nano/Micro Structured Rods and Zn-Rich Co-Doping”, Process Electronic Materials Letters, 7, pp 115-119 115 Xing Y J., Xi Z H., Xue Z Q., Zhang X D., Song J H., Wang R M., Xu J., Song Y., Zhang S.L., Yu D P (2003), “Optical properties of the ZnO nanotubes synthesized via vapor phase growth”, Applied Physics letters, 83, pp.1689-1691 148 116 Xu C., Yang K., Huang L., Wang H (2010), “Vertically aligned ZnO nanodisks and their uses in bulk heterojunction solar cells”, Journal of Renewable Sustainable Energy, 2, pp.053101-053108 117 Xu C X., Sun X W., Dong Z L., Yu M B., My T D., Zhang X H., Chua S J and White T J (2004), “Zinc oxide nanowires and nanorods fabricated by vapour-phase transport at low temperature”, Nanotechnology, 15, pp.839–842 118 Xu C X and Sun X W., Dong Z L., Yu M B (2004), “Zinc oxide nanodisk”, Applied Physics letters, 85(17), pp.3878-3881 119 Xu C.X., Zhu G.P., Kasim J., Tan S.T., Yang Y., Li X., Shen Z.X., Sun X.W (2009), “Spatial distribution of defect in ZnO nanodisks”, Current Applied Physics, 9, pp.573–576 120 Xu Z X., Roy V A L., Peter S., Michele M., Stefano T., Hei-Feng X., and Chi-Ming C (2007), “Nanocomposite field effect transistors based on zinc oxide/polyme blends”, Applied Physics letters, 90, pp.223509- 223512 121 Yan Y., Liu P., Wen J G., To B., and Al-Jassim M M (2003), “In-Situ Formation of ZnO Nanobelts and Metallic Zn Nanobelts and Nanodisks”, Journal of Physics and Chemistry B, 107, pp.9701-9704 122 Yang L.W., Wu X.L., Xiong Y., Yang Y.M., Huang G.S., Paul K Chu, Siu G.G (2005), “Formation of zinc oxide micro-disks via layer-by-layer growth and growth mechanism of ZnO nanostructures”, Journal of Crystal Growth, 283, pp.332–338 123 Yao B., Xie Y P., Cong C X., Zhao H J., Sui Y R., Yang T., He Q (2009), “Mechanism of p-type conductivity for phosphorus-doped ZnO thin film”, Journal of Physics D: Applied Physics, 42, pp.015407-015412 124 Yi G C., Wang C and Park W I (2005), “ZnO nanorods: synthesis, characterization and applications”, Semiconductor Science and Technology, 20, pp.S22–S34 125 Yin P., Zhang R., Wang N., Li L., Guo L (2010) “Influence of laser power on photoluminescence of hexagonal ZnO nanodisks” Journal of Nanoscience and Nanotechnology, 10(8), pp.5072-5078 126 Yun D.J., Rhee S.W (2009), “Deposition of Al-doped ZnO thin-films with radio frequency magnetron sputtering for a source/drain electrode for pentacene thin-film transistor”, Thin Solid Films, 517, pp 4644–4649 149 127 Zakharov N., Werner P., Sokolov L And Gosele U (2007), “Growth of Si whiskers by MBE: Mechanism and peculiarities”, Physica E: Low-dimensional system and nanostructures, 37, pp.148-152 128 Zeng J H., Jin B.B., Wang Y F (2009), “Facet enhanced photocatalytic effect with uniform single-crystalline zinc oxide nanodisks”, Chemistry Physics Letters, 472, pp.90–95 129 Zhang C., Zhang F., Sun X.W., Yang Y., Wang J., Xu J (2009) “Frequencyupconverted whispering-gallery-mode lasing in ZnO hexagonal nanodisks”, Optics Letters, 34(21):3349-51 130 Zhang L C., Ruan Y F (2011), “Synthesis and photoluminescence properties of ZnO nanowire arrays”, Crystal Research and Technology, 46(4), pp.405–408 131 Zhang Y., Yu K., Jiang D., Zhu Z., Geng H., Luo L (2005), “Zinc oxide nanorod and nanowire for humidity sensor”, Applied Surface Science, 242, pp.212– 217 150 ... Việt Tuyên CHẾ TẠO, NGHIÊN CỨU TÍNH CHẤT CỦA MÀNG MỎNG, CẤU TRÚC NANO TRÊN CƠ SỞ ZnO PHA TẠP VÀ KHẢ NĂNG ỨNG DỤNG CHUYÊN NGÀNH: VẬT LÝ CHẤT RẮN MÃ SỐ: 62.44.07.01 LUẬN ÁN TIẾN SĨ VẬT LÝ NGƯỜI... đề là: ? ?Chế tạo, nghiên cứu tính chất màng mỏng, cấu trúc nano sở ZnO pha tạp khả ứng dụng? ?? Ở đây, phương pháp phún xạ sử dụng để chế tạo màng ZnO cấu trúc nano hạt, dây, đĩa nano ZnO chế tạo... loại p màng ZnO pha tạp P chế tạo mơi trường khí N2 đạt Chương Chế tạo số cấu trúc nano ZnO ZnO pha tạp chất Chương giải vấn đề chế tạo số cấu trúc nano vật liệu ZnO chế tạo hạt nano ZnO với