Chế tạo, nghiên cứu tính chất của màng mỏng, vật liệu cấu trúc nano trên cơ sở oxit kẽm pha tạp và khả năng ứng dụng

Ch to, nghiờn cu tớnh cht ca mng mng, vt liu cu trỳc nano trờn c s oxit km pha v kh nng ng dng Nguyn Vit Tuyờn Trng i hc Khoa hc T nhiờn; Khoa Vt lý Chuyờn ngnh: Vt lý Cht rn; Mó s: 62 44 07 01 Ngi hng dn: PGS.TS T ỡnh Cnh PGS.TS Ngụ Thu Hng Nm bo v: 2011 Abstract Chng Tng quan v vt liu bỏn dn ZnO Chng Mt s phng phỏp ch to mng, vt liu nano ZnO v cỏc k thut thc nghim Chng Ch to mng mng ZnO pha cht bng phng phỏp phỳn x r.f magnetron Chng Ch to mt s cu trỳc nano ZnO v ZnO pha cht Chng Mt vi kh nng ng dng ca mng mng v vt liu cu trỳc nano trờn c s ZnO Keywords Vt liu bỏn dn; Km oxit; Vt liu Nano Content A M U Cỏc cu trỳc nano ca km oxit (ZnO) ó thu hỳt c s quan tõm to ln nhng nm gn õy vỡ nú cú nhiu tớnh cht lý thỳ khin cho vt liu ny cú th c ng dng nhiu lnh vc cụng ngh Thc t ZnO l mt vt liu rt cun hỳt cú nhiu c tớnh quớ bỏu nh: rng vựng cm ln, nng lng liờn kt exciton ln, bn húa hc cao, tng thớch sinh hc, ỏp in, cỏc hiu ng quang phi tuyn Hn na, chuyn t dng sang dng cu trỳc nano, s lụi cun ca vt liu ny cũn tng cao hn na ngoi nhng tớnh cht riờng ca vt liu ZnO nú cũn cú nhng tớnh cht ca cỏc cu trỳc thp chiu Tỡm qui trỡnh tng hp vt liu mng ZnO v cỏc cu trỳc nano ca ZnO bng cỏc phng phỏp tng i n gin, phự hp vi iu kin phũng thớ nghim Vit Nam l nhng nhim v nghiờn cu ch yu ca cun lun ỏn ny Cng vỡ lý ú lun ỏn cú nhan l: Ch to, nghiờn cu tớnh cht ca mng mng, vt liu cu trỳc nano trờn c s ZnO pha v kh nng ng dng Mc ớch ca lun ỏn: Tỡm qui trỡnh cụng ngh ch to bia v mng ZnO pha bng phng phỏp phỳn x catt, cng nh mt s cu trỳc nano bng phng phỏp chuyn pha hi v phng phỏp húa Nghiờn cu, kho sỏt mt s tớnh cht vt lý v tỡm hng ng dng ca cỏc mu ó ch to Phng phỏp nghiờn cu: L phng phỏp thc nghim, s dng phng phỏp phỳn x catt trờn thit b Univex-450 Leybold ch to mng ZnO pha tp, phng phỏp bc bay nhit v phng phỏp húa ch to cỏc cu trỳc nano ZnO pha Kt qu chớnh ca lun ỏn ó ch to thnh cụng mng ZnO bng phng phỏp phỳn x r.f magnetron cng nh cỏc cu trỳc nano dng ht, dõy, v a nano ca ZnO phng phỏp vt lý v húa hc khỏ n gin Cỏc mng ó ch to c cú c loi dn loi n v loi p, õy cng l ang c quan tõm nghiờn cu cú tớnh thi s cao vỡ dn loi p ZnO c cụng b l rt khú ch to Cỏc mng ZnO dn loi n c ch to bng cỏch pha In cho mng cú truyn qua cao, in tr sut nh (~ 10-4 cm) tng ng vi cỏc cụng b tt nht v dn ca ZnO Trong ú, dn loi p mng ZnO, dự c cụng b l rt khú ch to, cng ó t c bng cỏch ch to mu ZnO pha Phtpho ng thi s dng khớ N2 lm mụi trng to mu Mt kt qu ni bt khỏc ca lun ỏn l vic ch to thnh cụng cỏc ht nano ZnO bng phng phỏp vi súng Cỏc ht thu c cú kớch thc nh (