từ đó tìm được cấu trúc của mẫu. Trong màng mỏng chứa nhiều pha cấu trúc khác nhau thì trên giản đồ nhiễu xạ cũng sẽ có các đỉnh đặc trưng cho từng pha cấu trúc đó. Do vậy, về mặt ý nghĩa thực tiễn thì phương pháp ghi giản đồ nhiễu xạ tia X chỉ là phương pháp khảo sát các cấu trúc của màng trên cơ sở đã biết các cấu trúc đó.
Từ các số liệu ghi được trên giản đồ nhiễu xạ tia X (góc 2 của các cực đại nhiễu xạ, khoảng cách d của các mặt phẳng nguyên tử), có thể xác định được cấu trúc tinh thể (kiểu ô mạng, hằng số mạng… ) và thành phần pha của mẫu, trên cơ sở đối chiếu với thẻ pdf tương ứng. Đối với mỗi chất hay hợp chất đã biết đều có một thẻ riêng trong đó các số liệu XRD, như tập hợp các giá trị d (và 2), quy luật cường độ, các chỉ số Miller và các hằng số mạng tinh thể cũng như nhóm đối xứng tinh thể.
2.4. Đo độ dày màng mỏng bằng phƣơng pháp Stylus Profiler
Máy Stylus Profiler là một thiết bị để đo độ dày màng mỏng cỡ micromet hay nanomet. Phương pháp này đòi hỏi mẫu phải được phủ để so sánh độ dày chênh lệch với vùng không phủ. Vật mẫu được đặt trên một cái đế di chuyển một cách đều đặn, người ta đặt đầu dò với mũi được làm bằng kim cương ghì sát vào vật mẫu. Đầu dò được nối với lõi biến áp biến thiên tuyến tính thẳng nhằm nhận biết sự thay đổi của bề mặt mẫu. Khi hệ thống di chuyển thì đầu dị di chuyển tịnh tiến trên vật mẫu theo một đường thẳng.
Như vậy, mũi dò sẽ quét ngang từ biên này sang biên kia của mẫu ở một khoảng cách và với một lực tiếp xúc xác định. Phương pháp này có thể đo được sự biến đổi nhỏ của bề mặt khi sự dịch chuyển đứng của mũi dò là một hàm của điện thế. Tại những điểm có độ dày khác nhau thì tạo ra sự thay đổi vị trí của lõi biến áp. Những thay đổi này chuyển thành tín hiệu xoay chiều với tỷ lệ tương thích. Cuối cùng chuyển sang tín hiệu kỹ thuật số lưu trong bộ nhớ của máy tính để hiển thị, đo lường và in kết quả.
2.5. Đo đặc trƣng quang - điện
Hiệu năng hoạt động của một PMT được thể hiện qua các thông số đặc trưng như: mật độ dòng đoản mạch (JSC), thế hở mạch (VOC), hệ số điền đầy (FF) và hiệu
suất chuyển đổi (η). Các thông số này đã được định nghĩa trong mục 1.2.1.4. Chúng tôi tiến hành đo đặc trưng I-V để xác định các thông số này. Các giá trị VOC, JSC và Pmax = (V.J)max = Vm.Vm được xác định từ đường cong I-V (xem hình 2.10). Giá trị η và FF sẽ được xác định theo biểu thức (1.7) và (1.8).
Các đặc trưng quang điện trong luận án này được đo bởi hệ potentio- galvanostat PGS-30 và chiếu rọi bằng đèn halogen có cơng suất tương đương khoảng 140 mW/cm2 (tại Trường ĐH Công Nghệ - Đại học Quốc gia Hà Nội).