CHƯƠNG 2 PHƯƠNG PHÁP THỰC NGHIỆM
2.5 Các phương pháp nghiên cứu đặc trưng của vật liệu
2.5.3 Phương pháp kính hiển vi điện tử quét phát xạ trường (FESEM)
Phương pháp kính hiển vi điện tử quét (SEM) là phương pháp thường được sử dụng để đánh giá hình thái học và bề mặt riêng của vật liệu. Kỹ thuật này cho phép tạo ảnh bề mặt mẫu phân tích với độ phân giải cao mà không cần phá hủy mẫu, làm việc ở mức độ chân khơng bình thường.
42
Phương pháp hiển vi điện tử quét dùng chùm tia điện tử để tạo ảnh mẫu nghiên cứu, ảnh đó khi đến màn huỳnh quang có thể đạt độ phóng đại theo yêu cầu. Chùm tia điện tử được tạo ra từ catot qua hai tụ quang sẽ được hội tụ lên mẫu nghiên cứu. Khi chùm tia điện tử đập vào mẫu, trên bề mặt mẫu phát ra các chùm tia điện tử thứ cấp. Mỗi điện tử phát xạ này qua điện thế gia tốc vào phần thu sẽ biến đổi thành một tín hiệu ánh sáng, tín hiệu được khuếch đại, đưa vào mạng lưới điều khiển tạo độ sáng trên màn hình dạng bề mặt mẫu nghiên cứu. Độ phân giải SEM được xác định từ kích thước chùm điện tử hội tụ vào bề mặt mẫu. Nguyên lý hoạt động của kính hiển vi điện tử quét được thể hiện trong Hình 2-5.
Hình 2-5. Nguyên lý hoạt động của kính hiển vi điện tử quét [48]
FESEM hay Kính hiển vi điện tử quét phát xạ trường là một loại kính hiển vi điện tử có những điểm cải tiến hơn so với Kính hiển vi điện tử qt SEM thơng thường. Trong thiết bị FESEM, bộ phát điện tử từ là súng phát xạ trường có thể tạo ra sự phát xạ cao hơn nhiều so với súng phóng điện trong thiết bị SEM cổ điển. Điều này giúp các thiết bị FESEM ghi lại được ảnh có độ phân giải cao hơn so với ảnh SEM thường. Tuy nhiên, các thiết bị FESEM yêu cầu điều kiện chân không cao hơn nhiều, nhưng vẫn là phương pháp thơng dụng trong nghiên cứu hình thái vật liệu.
b. Thực nghiệm
Mẫu được chụp tại Phịng thí nghiệm Siêu cấu trúc, Viện Vệ sinh dịch tễ Trung ương. Thiết bị sử dụng là S4800 FESEM của hãng Hitachi.
43