SEM và TEM [5,83], đều sử dụng chựm tia điện tử để tạo ảnh mẫu nghiờn
cứu. Chựm tia điện tử được tạo ra từ catụt (sỳng điện tử) qua 2 tụ quang điện tử sẽ được hội tụ lờn mẫu nghiờn cứu. Khi chựm điện tử đập vào mẫu nghiờn cứu sẽ phỏt ra cỏc chựm điện tử phản xạ và điện tử truyền qua. Cỏc điện tử phản xạ và truyền qua này được đi qua điện thế gia tốc vào phần thu và biến đổi thành tớn hiệu ỏnh sỏng, tớn hiệu được khuếch đại, đưa vào mạng lưới điều khiển tạo độ sỏng trờn màn ảnh. Mỗi điểm trờn mẫu cho một điểm tương ứng trờn màn ảnh. Độ sỏng tối trờn màn ảnh phụ thuộc vào lượng điện tử phỏt ra tới bộ thu và phụ thuộc vào hỡnh dạng mẫu nghiờn cứu. Tựy theo tương tỏc giữa chựm điện tử với mẫu nghiờn cứu mạnh hay yếu mà trờn màn huỳnh quang xuất hiện cỏc điểm sỏng hay tối. Nếu kớch thước hay chiều dày của mẫu vượt quỏ 200nm thỡ chựm
tia điện tử hầu như khụng truyền qua, do vậy ảnh TEM thu được trong trường
hợp này cú màu đen. Hỡnh 2.3 trỡnh bày nguyờn tắc chung của chựm tia điện tử khi gặp mẫu nghiờn cứu.
Hỡnh 2.3. Nguyờn tắc chung của phương phỏp hiển vi điện tử
I1
I2
Io
TEM
SEM
Trong kớnh hiển vi điện tử truyền qua (TEM), thụng tin về mẫu được tạo nờn
sau khi chựm tia điện tử truyền qua mẫu đó đi qua một hệ thống cỏc thấu kớnh điện, cho ảnh trờn màn huỳnh quang hoặc phim ảnh dưới dạng nhiễu xạ điện tử
hoặc hiển vi điện tử. Cũn trong kớnh hiển vi điện tử quột (SEM), tạo ảnh bằng
chựm tia điện tử quột trờn bề mặt của mẫu, thụng tin về mẫu nhận được nhờ cỏc tớn hiệu thứ cấp được tạo ra do sự tương tỏc giữa chựm tia điện tử sơ cấp (chựm bắn ra) và mẫu nghiờn cứu.
Phương phỏp SEM thường được sử dụng để nghiờn cứu bề mặt của vật liệu,
nú cho biết cỏc thụng tin về hỡnh thỏi của bề mặt và kớch thước hạt. Cũn phương
phỏp TEM được sử dụng rất hiệu quả trong việc đặc trưng bề mặt và cấu trỳc của
vật liệu. Tựy thuộc vào gúc độ hay kĩ thuật quan sỏt mà ta cú thể phõn biệt được cấu trỳc lập phương của SBA-16 và cấu trỳc lục lăng của MCM-41 hay SBA-15. Quan sỏt theo hướng [100] cấu trỳc lập phương của SBA-16 cho mặt cắt là những hỡnh vuụng, trong khi đú cấu trỳc lục lăng cho mặt cắt là cỏc lục giỏc đều.
Trong luận ỏn này, cỏc mẫu SEM được đo trờn mỏy JSM – 5300 (Nhật Bản) ở Viện Khoa học Vật liệu cũn mẫu TEM được đo trờn mỏy Jeol-JEM 1010
Microscopy ở Viện Vệ sinh dịch tễ Trung ương, số 1, Yesin, Hà Nội.