MỤC LỤC
DANH MỤC CÁC KÝ HIỆU VÀ CHỮ VIẾT TẮT
DANH MỤC CÁC BẢNG BIỂU
DANH MỤC CÁC HÌNH VẼ, ĐỒ THỊ
LỜI NÓI ĐẦU
Chương 1. TỔNG QUAN LÝ THUYẾT
1.1 Lịch sử hình thành và phát triển ống nano carbon (CNTs)
1.2 Cấu trúc, phân loại CNTs
1.2.1 Cấu trúc
1.2.2 Phân loại CNTs
1.3 Tính chất của CNTs
1.3.1 Tính chất cơ học:
1.3.2 Tính chất điện
1.3.3 Tính chất nhiệt
1.3.4 Tính chất phát xạ trường
1.4 Ứng dụng
1.4.1 Lưu trữ năng lượng
1.4.2 Linh kiện phát xạ trường
1.4.3 Vật liệu composite
1.4.4 Ống nano carbon dùng đầu dò và cảm biến
1.4.5 Ống nano carbon dùng làm chất hấp thụ
Chương 2. CÁC PHƯƠNG PHÁP TỔNG HỢP ỐNG
NANO CARBON
2.1 Tổng quát các phương pháp tổng hợp ống nano carbon
2.1.1 Các phương pháp tổng hợp ống nano carbon
2.1.2 Cơ chế phát triển của ống nano
2.2 Phương pháp phóng điện hồ quang (AD - Arc Discharge)
2.3 Phương pháp dùng laser (LA - Laser Ablation)
2.4 Phương pháp lắng đọng hóa hơi (CVD)
2.4.1 CVD tăng cường plasma (PECVD - Plasma Enhanced CVD)
2.4.2 CVD nhiệt (TCVD – Thermal CVD)
2.4.3 CVD xúc tác cồn (ACCVD – Alcohol Catalytic CVD)
2.5 Tổng hợp ống nano carbon ở thể khí
2.6 Ưu, khuyết điểm của phương pháp t – CVD so với các phương pháp khác
Chương 3. PHƯƠNG PHÁP THỰC NGHIỆM
3.1 Thiết bị
3.2 Quy trình tạo lớp xúc tác
3.2.1 Quy trình làm sạch bề mặt Silic
3.2.2 Tạo lớp đệm:
3.2.3 Tạo lớp màng xúc tác kim loại
3.3 Quy trình tổng hợp nano carbon bằng t – CVD
3.4 Các phép phân tích, đánh giá kết quả:
3.4.1 Kính hiển vi điện tử quét (SEM)
3.4.2 Kính hiển vi điện tử truyền qua (TEM)
3.4.3 Kính hiển vi lực nguyên tử (AFM)
3.4.4 Thiết bị quang phổ Raman (Raman spectroscopy)
Chương 4. KẾT QUẢ VÀ BÀN LUẬN
4.1 Khảo sát các màng xúc tác Ni và Fe
4.1.1 Các lớp màng đệm SiO2 và Al
4.1.2 Màng xúc tác Ni trên các lớp đệm khác nhau
4.1.3 Màng xúc tác Fe trên các lớp đệm khác nhau
4.2 Tổng hợp ống nano carbon bằng phương pháp t-CVD
4.2.1 Tổng hợp ống nano carbon với màng xúc tác Ni
4.2.2 Tổng hợp ống nanocarbon với màng xúc tác Fe
4.3 Ảnh hưởng của các thông số lên quá trình tổng hợp ống nano carbon
4.3.1 Khảo sát ảnh hưởng của quá trình ủ nhiệt lên các màng xúc tác
4.3.2 Khảo sát ảnh hưởng của bề dày lớp màng xúc tác đối với ống nano carbon
4.3.3 Khảo sát sự ảnh hưởng của nhiệt độ tổng hợp đối với màng Al/Ni
4.4 Quy trình chế tạo ống nano carbon thẳng đứng bằng phương pháp t-CVD
KẾT LUẬN
TÀI LIỆU THAM KHẢO