(LUẬN VĂN THẠC SĨ) Chế tạo màng mỏng TIO2,CdS cấu trúc nano bằng công nghệ bốc bay kết hợp ủ nhiệt và khảo sát tính chất điện, quang, quang điện của chúng

ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI TRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ PHAN THỊ QUẾ ANH CHẾ TẠO MÀNG MỎNG TiO2/CdS CẤU TRÚC NANO BẰNG CÔNG NGHỆ BỐC BAY KẾT HỢP Ủ NHIỆT VÀ KHẢO SÁT TÍNH CHẤT ĐIỆN, QUANG, QUANG ĐIỆN CỦA CHÚNG LUẬN VĂN THẠC SĨ Hà Nội – 2010 TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com MỤC LỤC MỞ ĐẦU Chƣơng 1: TỔNG QUAN VỀ VẬT LIỆU TiO2 1.1 Cấu trúc TiO2 1.2 Tính chất điện tinh thể nano TiO2 1.3 Tính chất quang xúc tác TiO2 1.3.1 Nguyên lý quang xúc tác 1.3.2 Cơ chế quang xúc tác TiO2 1.4 Pin mặt trời nhạy quang dựa cấu trúc tinh thể nanơ TiO 1.4.1 Cấu tạo 1.4.2 Giải thích hoạt động pin mặt trời nhạy quang lí thuyết 1.4.3 Các yếu tố pin mặt trời nhạy quang 1.4.4 Pin mặt trời nhạy quang composite TiO2/CdS Trang 4 11 13 14 17 20 24 Chƣơng 2: THỰC NGHIỆM 2.1 Các phương pháp thực nghiệm 2.1.1 Phương pháp bốc bay nhiệt 2.1.2 Phương pháp bốc bay dùng chùm tia điện tử 2.1.3 Chụp ảnh bề mặt kính hiển vi điện tử quét 2.1.4 Phép đo phổ hấp thụ 2.1.5 Đo đặc trưng quang điện hóa 2.2 Thực nghiệm chế tạo mẫu 26 26 26 27 30 31 32 34 Chƣơng 3: KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN 3.1 Đặc điểm cấu trúc hình thái học màng TiO2 3.2 Hình thái học bề mặt màng mỏng composite TiO2/CdS 3.3 Phổ hấp thụ màng mỏng composite TiO2/CdS 3.4 Đặc trưng quang điện hóa màng mỏng composite TiO 2/CdS 36 36 38 41 42 KẾT LUẬN 46 TÀI LIỆU THAM KHẢO 47 TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com DANH MỤC CÁC BẢNG, HÌNH VẼ Hình 1.1 Cấu trúc bát diện TiO2 Hình 1.2 Cấu trúc rutile Hình 1.3 Cấu trúc Anatase Hình 1.4 Pha brookite Hình 1.5 Sơ đồ nguyên lý hệ đo điện hóa : Điện cực làm việc (Mẫu: TiO2); Điện cực đối Pt Hình 1.6 Cấu trúc vùng lượng chất bán dẫn hoạt động chất bán dẫn kích thích quang hóa Hình 1.7 Cơ chế quang xúc tác TiO2 Hình 1.8 Q trình ơxy hố quang xúc tác hạt TiO nano Hình 1.9 Các trình vật lí xảy với hạt tải khơng cân chiếu xạ chuyển tiếp p–n, với lớp A lớp bán dẫn n lớp B lớp bán dẫn p Hình 1.10 Cấu tạo pin mặt trời nhạy quang dựa nano tinh thể TiO2 Hình 1.11 Sơ đồ nguyên lý làm việc pin mặt trời nhạy quang Hình 1.12 Quá trình chuyển đổi điện tích lớp màu mạng tinh thể TiO2: Metal – to – ligand charge tranfer, Tiêm điện tử Sự tái hợp điện tích Hình 1.13 Q trình kích thích bước dịch chuyển điện tích chất nhạy màu Hình 1.14 Sơ đồ mô tả tế bào quang điện nhạy màu làm từ tinh thể TiO Hình 1.15 Sơ đồ dịch chuyển điện tích hợp chất bán dẫn kiểu capped (a) coupled (b) TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com Hình 2.1 Nguyên lý phương pháp bốc bay nhiệt Hình 2.2 Sơ đồ nguyên lý hệ thống thiết bị bốc bay chùm tia điện tử chân khơng YBH – 75PI Hình 2.3 Kính hiển vi điện tử qt Hitachi FESEM S–4800 Hình 2.4 Sự hấp thụ ánh sáng mẫu đồng có chiều dày d Hình 2.5 Sơ đồ ngun lý hệ AutoLap.PGS–30: Điện cực làm việc (Mẫu TiO2); Điện cực đối (Pt); Môi trường hai điện cực chất điện phân 1M KCl 0.1M Na2S Hình 3.1 Giản đồ chế truyền điện tích lớp chuyển tiếp dị thể TiO2/CdS Hình 3.2 Ảnh FESEM chụp bề mặt màng mỏng ITO/TiO2 Hình 3.3 Ảnh FESEM chụp bề mặt màng mỏng ITO/TiO2/70nm CdS Hình 3.4 Ảnh FESEM chụp bề mặt màng mỏng ITO/TiO2/300nm CdS Hình 3.5 Phổ hấp thụ UV−Vis màng mỏng ITO/TiO2 màng mỏng ITO/TiO2/CdS Hình 3.6 Phổ I − V màng mỏng ITO/TiO2 màng ITO/TiO2/CdS khơng có có chiếu sáng Hình 3.7 Phổ I − V tất màng mỏng ITO/TiO2/CdS chế tạo chiếu sáng TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung MỞ ĐẦU Pin mặt trời thiết bị sản xuất điện trực tiếp từ lượng mặt trời sử dụng rộng rãi ngày Đây giải pháp sử dụng nguồn lượng thay cho việc sử dụng nguồn lượng truyền thống dần cạn kiệt dầu mỏ, khí đốt… Vấn đề mấu chốt công nghiệp phát triển công nghệ để giảm giá thành chế tạo nâng cao hiệu suất biến đổi quang điện pin Tế bào quang điện pin mặt trời thực chất lớp chuyển tiếp p−n dày có nhiều loại vật liệu sử dụng để chế tạo nó; nhiên chất bán dẫn silic sử dụng nhiều Si vật liệu phổ biến, sản xuất với số lượng lớn có hiệu suất chuyển đổi quang điện cao Tuy giá thành Watt pin mặt trời tinh thể silic giảm đáng kể khoảng 10 năm trở lại đây, thiết bị sử dụng lượng mặt trời để chuyển thành điện đắt so với giá điện hộ gia đình trả hàng tháng Năm 1991, đời “dye–sensitized solar cell (DSC)” – pin mặt trời nhạy quang dựa vật liệu TiO2 hứa hẹn vật liệu thay rẻ tiền nhiều so với pin mặt trời truyền thống Hiện nay, hệ pin mặt trời đạt hiệu chuyển hóa đến 11% khả thích nghi tốt với điều kiện chiếu sáng môt khoảng thời gian dài Thực nghiệm với 8000 chiếu sáng với cường độ gấp 2,5 lần ánh sáng mặt trời, nhiệt độ thực nghiệm 80 – 90°C cho thấy hiệu suất bị giảm ít, kết (LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung thí nghiệm giúp ta tin tưởng vật liệu hoạt động bền bỉ khoảng thời gian 10 năm Hiện hướng nghiên cứu sử dụng màng mỏng TiO2 điện cực thu điện tử linh kiện pin mặt trời kiểu (pin mặt trời Grazel – pin mặt trời sử dụng vật liệu composite) đặc biệt quan tâm cho thấy có nhiều triển vọng Người ta nhận thấy việc thay đổi kích thước hình dạng nanơ tinh thể TiO2 tăng hiệu suất làm việc linh kiện lên nhiều lần, điều mở hướng cho việc nghiên cứu chế tạo pin mặt trời giá rẻ Có nhiều phương pháp công nghệ khác sử dụng để chế tạo màng TiO2 có cấu trúc nanơ phương pháp nhúng kéo, quay phủ ly tâm hay phủ trải sử dụng công nghệ sol–gel … Tuy nhiên gần nhiều cơng trình nghiên cứu phương pháp vật lý bốc bay chân không kết hợp ủ nhiệt khơng chế tạo màng TiO cấu trúc nanô với độ đồng cao mà cịn dễ dàng thay đổi kích thước hình dạng hạt nano tinh thể Đặc biệt với phương pháp màng TiO2 nhận có độ tinh khiết cao Việc nghiên cứu chế tạo màng TiO2 cấu trúc nano khảo sát tính chất điện, quang, quang điện hóa chúng khơng có ý nghĩa khoa học mà cịn sở ban đầu cho việc hướng tới chế tạo pin mặt trời kiểu với giá thành hạ kích thước lớn ứng dụng vào thực tiễn Với mục đích trên, sau thời gian tập trung chế tạo nghiên cứu, màng mỏng TiO2 ứng dụng làm điện cực dương cho pin mặt trời chế tạo thành công, kết khảo sát bước đầu khả quan Các kết thu cấu trúc hình thái học tính chất điện, điện quang quang điện hóa mẫu chế tạo tiến hành khảo sát, đánh giá để tìm điều kiện tối ưu cho việc chế tạo điện cực dương TiO ứng dụng cho pin mặt trời, đáp ứng mục tiêu an tồn lượng cho tương lai Do chọn (LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung hướng nghiên cứu với nội dung: “Chế tạo màng mỏng TiO2/CdS cấu trúc nano công nghệ bốc bay kết hợp ủ nhiệt khảo sát tính chất điện, quang, quang điện chúng” làm đề tài khóa luận Bố cục khóa luận gồm:  Chƣơng 1: Tổng quan vật liệu TiO2 Trong phần tổng quan giới thiệu cấu trúc tính chất điện, quang, quang điện vật liệu nanô tinh thể TiO2  Chƣơng 2: Thực nghiệm Phần thực nghiệm trình bày phương pháp chế tạo mẫu phương pháp phân tích đánh giá phẩm chất mẫu chế tạo  Chƣơng 3: Kết thảo luận Đánh giá kết đạt được, hạn chế trình nghiên cứu đưa giải pháp  Kết luận chung  Tài liệu tham khảo Luận văn hoàn thành kết hợp nghiên cứu đào tạo Khoa Vật lý Kỹ thuật – Trường Đại học Công nghệ – Đại học Quốc gia Hà Nội Phịng Cơng nghệ màng mỏng cấu trúc nano (LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung CHƢƠNG TỔNG QUAN VỀ VẬT LIỆU TiO2 1.1 Cấu trúc TiO2 Ơxít TiO2 xem vật liệu bán dẫn vùng cấm rộng (với Eg = 3.2eV  3.6 eV) Vật liệu chế tạo dạng kích thước nano cho thấy nhiều tính chất hóa, lý thú vị quan tâm nhiều lĩnh vực ứng dụng khác lĩnh vực quang xúc tác, nghiên cứu chế tạo sensơ, linh kiện điện sắc linh kiện tích trữ chuyển hóa lượng… Trong vật liệu TiO2, nguyên tử ôxy titan xếp theo cấu trúc bát diện (Hình 1.1): Hình 1.1 Cấu trúc bát diện TiO2 Mỗi hình bát diện coi ô sở mạng tinh thể Tùy theo ô mạng Bravais vị trí tương đối hình bát diện, TiO có dạng thù hình: brookite, anatase rutile (LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung Rutile: trạng thái tinh thể bền TiO2, pha rutile có độ rộng khe lượng 3,02 eV Rutile pha có độ xếp chặt cao so với pha lại, khối lượng riêng 4,2 g/cm3 Rutile có kiểu mạng Bravais tứ phương với hình bát diện xếp tiêp xúc đỉnh (Hình 1.2) Hình 1.2 Cấu trúc rutile Anatase: pha có hoạt tính quang hố mạnh pha Anatase có độ rộng khe lượng 3,23 eV khối lượng riêng 3,9 g/cm3 Anatase có kiểu mạng Bravais tứ phương rutile hình bát diện xếp tiếp xúc cạnh với trục c tinh thể bị kéo dài (Hình 1.3) Hình 1.3 Cấu trúc Anatase (LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung Brookite: có hoạt tính quang hố yếu Brookite có độ rộng khe lượng 3,4 eV, khối lượng riêng 4,1 g/cm3 (Hình 1.4) Do vật liệu màng mỏng hạt nano TiO2 tồn dạng thù hình anatase rutile, khả xúc tác quang brookite khơng có nên ta khơng xét đến pha brookite phần cịn lại đề tài Hình 1.4 Pha brookite TiO2 có số tính chất ưu việt thích hợp dùng làm chất quang xúc tác:  Hấp thụ ánh sáng vùng tử ngoại, cho ánh sáng vùng hồng ngoại khả kiến truyền qua  Là vật liệu có độ xốp cao tăng cường khả xúc tác bề mặt  Ái lực bề mặt TiO2 phân tử cao dễ dàng phủ lớp TiO2 lên loại đế với độ bám dính tốt  Giá thành thấp, dễ sản xuất với số lượng lớn, trơ hố học, khơng độc, thân thiện với mơi trường có khả tương hợp sinh học cao 1.2 Tính chất điện tinh thể nano TiO2 Hầu hết nghiên cứu tính dẫn điện tinh thể nano TiO tiến hành cách cho màng tiếp xúc với dung dịch điện phân có hiệu suất chuyển đổi lượng cao ứng dụng làm pin mặt trời (tế bào Gratzel) (Hình 1.5) (LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung – Pm công suất cực đại pin mặt trời, tức giá trị cực đại tích I × V, mà điểm đường cong I–V tạo dòng lớn gọi điểm điện lớn (MPP) Pm = VMPP.IMPP Trong luận văn này, phép đo phổ I –V để đánh giá hiệu ứng quang điện màng mỏng TiO2/CdS tiến hành hệ AutoLap.PGS–30 phịng Vật lý Cơng nghệ màng mỏng, Viện Khoa học Vật liệu, Viện Khoa học & Công nghệ Việt Nam 2.2 Thực nghiệm chế tạo mẫu Các bước chế tạo mẫu tiến hành theo sơ đồ sau: Đế ITO làm Màng Ti dày 300nm lắng đọng lên đế ITO Mẫu ủ nhiệt để tạo lớp màng TiO Màng CdS lắng đọng lên lớp màng TiO Mẫu ITO/TiO2/CdS ủ nhiệt để ổn định cấu trúc Bước 1: Làm đế ITO Đế phiến thủy tinh có phủ lớp dẫn điện suốt, ITO, có điện trở mặt 30Ω/ kích thước 30502mm, làm kỹ thuật rung siêu 37 (LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung âm ba lần nước khử ion, cồn axeton, sấy khô gắn vào gá mẫu Trước thực bốc bay, đế làm kỹ thuật phóng điện lạnh khí nitơ Bước 2: Màng Ti dày 300nm lắng đọng lên đế ITO Màng Ti với chiều dày khoảng 300 nm lắng đọng lên đế vật kỹ thuật bốc bay chùm tia điện tử từ vật liệu nguồn Ti kim loại có độ cao Bước 3: Mẫu ủ nhiệt để tạo lớp màng TiO2 Để tạo lớp màng TiO2, mẫu ITO/Ti ủ nhiệt chân không nhiệt độ 400oC Bước 4: Màng CdS lắng đọng lên lớp màng TiO2 Màng mỏng CdS bốc bay nhiệt chân không cỡ 10 −4 Torr với tốc độ tạo màng 0.2nm/s Các màng mỏng CdS chế tạo với kích thước thay đổi dần từ 10nm đến 300nm Bước 5: Mẫu chế tạo ủ nhiệt để ổn định cấu trúc Để thu cấu trúc ổn định cho mẫu chế tạo, tiến hành ủ nhiệt mẫu ITO/TiO2/CdS chân không 300oC Cuối mẫu bảo quản để chờ tiến hành đo đạc, đánh giá phẩm chất mẫu Các mẫu chúng tơi bao gồm: – Mẫu 1: Đế ITO/TiO2 màng mỏng TiO2 dày 300nm – Mẫu 2: Màng CdS dày 10nm lắng đọng đế ITO/TiO phương pháp bốc bay nhiệt – Mẫu 3: Màng CdS dày 30nm lắng đọng đế ITO/TiO – Mẫu 4: Màng CdS dày 70nm lắng đọng đế ITO/TiO – Mẫu 5: Màng CdS dày 140nm lắng đọng đế ITO/TiO2 – Mẫu 6: Màng CdS dày 200nm lắng đọng đế ITO/TiO – Mẫu 7: Màng CdS dày 300nm lắng đọng đế ITO/TiO 38 (LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung CHƢƠNG KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN 3.1 Đặc điểm cấu trúc hình thái học màng TiO2 Màng TiO2 cấu trúc nanô chế tạo kỹ thuật bốc bay chùm tia điện tử kết hợp với trình ủ nhiệt Ban đầu lớp màng Ti với chiều dày khoảng 300 nm lắng đọng lên đế Si ITO phương pháp bốc bay chùm tia điện tử, Sau màng tiến hành sử ủ nhiệt để nhận màng TiO2 có cấu trúc nanơ a b 2 Hình 3.1 Phổ nhiễu xạ tia X màng TiO2 nhận sau ủ nhiệt 400 C 750 C Trên Hình 3.1 giản đồ nhiễu xạ tia X màng TiO2 nhận sau ủ nhiệt độ khác Có thể nhận thấy nhiệt độ ủ Ts = 450C màng TiO2 tồn pha anatase có tồn phần nhỏ pha rutile Độ rộng vạch phổ lớn, điều cho thấy màng nhận có cấu trúc nano 39 (LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung Đối với màng ủ 750C, màng TiO2 chuyển hoàn toàn sang pha rutile vạch phổ bị thu hẹp lại Rõ ràng tăng nhiệt độ ủ trình kết tinh tốt dẫn đến làm tăng kích thước hạt màng TiO2 chuyển dần từ pha anatase sang rutile, 750C màng lại pha rutile Kết nghiên cứu cấu trúc cho thấy sau ủ nhiệt màng Ti kim loại bị oxy hóa hồn tồn sang oxit TiO2 (a) (b) Hình 3.2 Ảnh SEM màng TiO2 nhận sau ủ nhiệt 400 C 750 C 40 (LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung Trên Hình 3.2 ảnh SEM bề mặt mặt cắt màng TiO2 theo nhiệt độ ủ khác Dễ dàng thấy nhiệt độ ủ thấp Ts = 450C bề mặt màng gồm hạt có hình dạng kích thước phân bố tồn màng Kích thước hạt vào khoảng 15  30 nm Trong ảnh mặt cắt màng cho thấy hạt kéo dài từ bề mặt mấu vào sâu màng, chiều dài chúng > 100 nm vào khoảng 100  300 nm Các sợi TiO2 xắp xếp song song với vng góc với bề mặt đế Khi nhiệt độ ủ tăng lên đến 750C ảnh bề mặt mặt cắt cho thấy có lớn lên rõ rệt kích thước hạt chiều dài hạt chiếm hết chiều dày màng độ rộng chúng vào khoảng 50  100 nm điều hoàn toàn phù hợp với kết từ phân tích cấu trúc màng tăng nhiệt độ ủ tới 750C vạch phổ bị thu hẹp Như thấy nhiệt độ ủ Ts = 450C thích hợp cho q trình phát triển màng ơxit TiO có cấu trúc nano từ màng Ti kim loại Các màng sau sử dụng để chế tạo mẫu bước Hình thái học bề mặt màng mỏng composite TiO2/CdS Hình 3.3 Giản đồ chế truyền điện tích lớp chuyển tiếp dị thể TiO2/CdS 41 (LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung Hiệu ứng quang điện màng mỏng composite TiO2/CdS chủ yếu xảy bề mặt lớp composite Khi lớp màng bán dẫn CdS có độ rộng vùng cấm hẹp Eg = 2.5eV có khả hấp thụ mạnh photon làm cho điện tử nhận kích thích để di chuyển từ vùng hóa trị lên vùng dẫn sau điện tử tiêm vào lớp bán dẫn TiO có độ rộng vùng cấm rộng Eg = 3.2eV (Hình 3.3) Để thu hiệu suất quang điện cao, phải tiến hành khảo sát độ dày thích hợp màng CdS vật liệu TiO Ở màng mỏng CdS chế tạo với kích thước thay đổi dần từ 10nm đến 300nm phủ màng mỏng TiO2 có độ dày 300nm Hình 3.4, 3.5 3.6 ảnh SEM chụp bề mặt màng mỏng ITO/TiO2, ITO/TiO2/70nm CdS ITO/TiO2/300nm CdS Hình 3.4 Ảnh FESEM chụp bề mặt màng mỏng ITO/TiO2 42 (LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung Hình 3.5 Ảnh FESEM chụp bề mặt màng mỏng ITO/TiO2/70nm CdS Hình 3.6 Ảnh FESEM chụp bề mặt màng mỏng ITO/TiO2/300nm CdS 43 (LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung Hình 3.4 cho thấy màng mỏng TiO2 chế tạo màng xốp, có kích thước hạt trung bình nhỏ 20nm kết mà mong muốn Cấu trúc tinh thể nanô TiO2 xốp có chức làm tăng diện tích bề mặt bên điện cực cho phép lượng đủ lớn chất màu tiếp xúc với cực TiO chất điện phân thời điểm Trong chất điện phân đóng vai trị ngăn điện trường nội lỗ xốp (đây điện trường làm cản trở khả khuếch tán hạt tải điện) Ngoài để tăng hiệu suất chuyển đổi quang điện pin, cần cấu trúc TiO2 có diện tích hấp thụ lớn Do ta cần phải giảm kích thước hạt tinh thể TiO xuống kích thước nm Hình 3.5 3.6 cho thấy màng mỏng CdS lắng đọng TiO2 phương pháp bốc bay nhiệt có độ đồng bám dính tốt Các màng CdS đồng độ gồ ghề màng có độ dày khác khác Cụ thể màng ITO/TiO2/300nm CdS có độ gồ ghề cỡ ÷ 10nm Trong màng ITO/TiO2/70nm CdS có độ gồ ghề cao có kết tụ hạt Điều màng mỏng CdS có độ dày 300nm có thời gian bốc bay nhiệt lâu màng có độ dày 70nm tạo điều kiện cho việc phân bố lại hạt CdS xung quang hạt TiO2 làm cho màng có cấu trúc đồng Phổ hấp thụ màng mỏng composite TiO2/CdS Hình 3.7 phổ hấp thụ UV−Vis màng mỏng ITO/TiO màng mỏng CdS chế tạo với kích thước thay đổi dần từ 10nm đến 300nm phủ màng mỏng ITO/TiO2 Hình 3.7 cho thấy màng mỏng TiO2 chủ yếu hấp thụ ánh sáng khoảng bước sóng 300 ÷ 380nm (vùng tử ngoại) Bờ hấp thụ màng CdS đế ITO/TiO2 xác định bước sóng 500nm vùng ánh sáng nhìn thấy (tương ứng với mức lượng 2.48eV − xấp xỉ độ rộng vùng cấm bán dẫn CdS) Ngồi ra, Hình 3.7 cho thấy cường độ hấp thụ màng mỏng composite TiO2/CdS tăng độ dày màng CdS tăng Điều chứng tỏ 44 (LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung màng mỏng CdS làm tăng khả hấp thụ phổ mặt trời cho cấu trúc composite TiO2/CdS từ nâng cao hiệu suất quang điện mẫu chế tạo Hình 3.7 Phổ hấp thụ UV−Vis màng mỏng ITO/TiO2 màng mỏng ITO/TiO2/CdS Đặc trƣng quang điện hóa màng mỏng composite TiO2/CdS Các màng mỏng ITO/TiO màng mỏng ITO/TiO 2/CdS chế tạo để ứng dụng làm tế bào quang điện Hình 3.8 phổ I − V màng mỏng ITO/TiO2 màng ITO/TiO2/CdS khơng có có chiếu sáng Hình 3.8 cho thấy tế bào quang điện ITO/TiO hở mạch V oc mật độ dịng ngắn mạch Jsc đạt giá trị thấp Bên cạnh mẫu có xuất màng mỏng CdS giá trị hở mạch V oc mật độ dòng ngắn mạch Jsc mẫu tăng lên đáng kể Điều giải thích thơng qua chế truyền điện tích lớp chuyển tiếp dị thể TiO2/CdS (Hình 3.1) 45 (LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung Hình 3.8 Phổ I − V màng mỏng ITO/TiO2 màng ITO/TiO2/CdS khơng có có chiếu sáng Hình 3.9 Phổ I − V màng mỏng ITO/TiO2/CdS chiếu sáng 46 (LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung Hình 3.9 phổ I − V màng mỏng ITO/TiO2/CdS có độ dày màng CdS 10nm, 30nm, 70nm, 140nm, 200nm, 300nm Sự biến thiên giá trị Voc Jsc mẫu phụ thuộc vào độ dày màng mỏng CdS Khi độ dày màng CdS có giá trị từ 10 ÷ 70nm, giá trị V oc Jsc màng mỏng composite TiO2/CdS tăng lên độ dày màng CdS tăng Giá trị lớn Voc Jsc thu Voc = 304mV Jsc = 35μA màng CdS có độ dày 70nm Cịn độ dày màng CdS có giá trị từ 70 ÷ 300nm, giá trị Voc Jsc màng mỏng composite TiO2/CdS lại giảm độ dày màng CdS tăng lên Điều giải thích màng CdS dày làm tăng khả hấp thụ photon ánh sáng đồng thời làm tăng dòng quang điện Tuy nhiên màng CdS dày dẫn đến tượng thời gian di chuyển điện tử kích thích tới lớp chuyển tiếp TiO2/CdS tăng lên đồng thời làm tăng khả tái hợp với lỗ trống Điều dẫn đến dịng quang điện giảm độ dày màng mỏng CdS tăng lên Ví dụ màng mỏng CdS có độ dày lớn (200nm 300nm), giá trị V oc Jsc mẫu lại đạt giá trị nhỏ Nhìn chung, kết đo đặc trưng quang điện hóa cho thấy độ dày tối ưu màng mỏng CdS đế ITO/TiO2 70nm Bên cạnh đó, kết SEM cho thấy màng mỏng CdS đế ITO/TiO2 có độ gồ ghề cao Điều có hai tác dụng: Thứ nhất, bề mặt mẫu gồ ghề làm giảm khả ánh sáng chiếu tới bị phản xạ ngược trở lại, làm tăng khả hấp thụ ánh sáng Thứ hai, bề mặt làm tăng diện tích tiếp xúc điện cực chất điện phân, làm tăng độ dẫn điện mẫu chế tạo Các kết đo đặc trưng quang điện hóa mẫu chế tạo liệt kê Bảng 47 (LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung Bảng Các giá trị hở mạch Voc mật độ dòng ngắn mạch Jsc màng mỏng ITO/TiO2/CdS với độ dày màng CdS 0nm, 10nm, 30nm, 70nm, 140nm, 200nm, 300nm chiếu sáng Độ dày màng CdS Thế hở mạch Voc Mật độ dòng ngắn mạch Jsc (nm) (mV) (μAcm−2) đế ITO/TiO2 32 0.5 10 107 3.5 30 143 11.5 70 304 35 140 241 16 200 79 3.6 300 72 1.2 48 (LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung KẾT LUẬN Các kết nhận q trình thực luận văn thể nội dung sau đây: Đã chế tạo màng mỏng TiO2/CdS cấu trúc nano công nghệ bốc bay kết hợp ủ nhiệt để ứng dụng làm tế bào quang điện Màng mỏng TiO2/CdS có lớp màng TiO2 dày 300nm, lớp màng CdS có độ dày 0nm, 10nm, 30nm, 70nm, 140nm, 200nm 300nm Đã khảo sát cấu trúc lớp màng TiO2 chế tạo màng xốp, có kích thước hạt trung bình nhỏ 20nm phù hợp làm điện cực pin quang điện hóa Tuy nhiên màng TiO2 hở mạch V oc mật độ dòng ngắn mạch Jsc đạt giá trị thấp Điều cho thấy cần thiết cấu trúc composite TiO2/CdS để làm tăng hiệu ứng bề mặt, từ làm tăng hiệu suất chuyển đổi quang điện Đã khảo sát cấu trúc tính chất quang, điện cấu trúc composite TiO2/CdS Kết đo đặc trưng quang điện hóa cho thấy xuất màng CdS làm tăng giá trị hở mạch V oc mật độ dòng ngắn mạch Jsc mẫu Các kết đo phổ I – V cho thấy biến thiên giá trị Voc Jsc mẫu phụ thuộc vào độ dày màng mỏng CdS Khi độ dày màng CdS có giá trị từ 10 ÷ 70nm, giá trị V oc Jsc màng mỏng composite TiO2/CdS tăng lên độ dày màng CdS tăng Còn độ dày màng CdS có giá trị từ 70 ÷ 300nm, giá trị Voc Jsc màng mỏng composite TiO2/CdS lại giảm độ dày màng CdS tăng lên Các kết đo ảnh SEM phổ I – V cho thấy độ dày tối ưu màng mỏng CdS đế ITO/TiO2 70nm Khi V oc Jsc đạt giá trị lớn thu Voc = 304mV Jsc = 35μA Điều mở hướng ứng dụng chế tạo pin mặt trời composite TiO2/CdS có hiệu suất chuyển đổi quang điện cao giá thành rẻ thay cho loại pin mặt trời silic truyền thống 49 (LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung DANH MỤC CÁC CÔNG BỐ CỦA BẢN THÂN Le Ha Chi, Nguyen Nang Dinh, Phan Thi Que Anh, Pham Duy Long, Dang Tran Chien, and Tran Thi Chung Thuy, “Electrical and Optical Properties of the Hybrid TiO2 Nanocrystals – MEH–PPV Thin Films”, Communications in Physics, Vol 19, No (2009), pp 243–248 Dang Tran Chien, Pham Duy Long, Pham Van Hoi, Le Ha Chi, Do Xuan Mai, Dang Van Thanh, and Phan Thi Que Anh, “Electrical and optical properties of TiO2/CdS composite nanoparticle thin films”, Hội nghị Vật lý chất rắn Khoa học vật liệu toàn quốc lần thứ (SPMS–2009) – Đà Nẵng 8–10/11/2009 TÀI LIỆU THAM KHẢO Tiếng Việt GS.TS Nguyễn Năng Định (2005), Giáo trình “Vật lý kỹ thuật màng mỏng”, Nhà xuất Đại học Quốc Gia Hà Nội GS Phan Hồng Khôi (2006), Bài giảng Nhập môn Khoa học Công nghệ Nano, Trường Đại học Công nghệ, Đại học Quốc gia Hà Nội Tiếng Anh Dobrowolski J.A., Ranger.M., and Wilkerson.R.L (1983), ``Measure the angular evaporation characteristics of sources,” J Vac Sci Tech A.,1: 1403 Fang.J.H., Lu.X.M., et.al., (1998), ``CdSe/ TiO nanocrystalline solar cells”, Supramolecular Science (5-6) (p 709-711) 50 (LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung TIEU LUAN MOI download : skknchat@gmail.com (LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung (LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung(LUAN.VAN.THAC.SI).Che.tao.mang.mong.TIO2.CdS.cau.truc.nano.bang.cong.nghe.boc.bay.ket.hop.u.nhiet.va.khao.sat.tinh.chat.dien quang quang.dien.cua.chung