CÁC PHƯƠNG PHÁP CÔNG NGHỆ CHẾ TẠO VÀ ĐẶC TRƯNG CẤU TRÚC MÀNG.
2.3.4.Kính hiển vi lực nguyên tử AFM Nanotec.
Việc khảo sát bề mặt của màng được thực hiện nhờ hệ đo AFM (Atomic Force
Microscope) Nanotec của phòng thí nghiệm Công nghệ Nano thuộc Đại học Quốc gia TPHCM.
Hình 2.10.7. Đường biểu diễn (αhν)1/2
theo năng lượng photon của màng TiO
2-xN
x [74].
Hình 2.10.8. Đường biểu diễn (αhν)1/2
theo năng lượng photon của màng TiO
2-xN
x và TiO
2 [53].
Hình 2.10.5. Đường biểu diễn (αhν)1/2
theo năng lượng photon của màng TiO2-xNx khi lượng tạp N thay đổi [40].
Hình 2.10.6. Đường biểu diễn (αhν)1/2
theo năng lượng photon của màng TiO2-xNx khi lượng tạp N thay đổi [68].
Kính hiển vi lực nguyên tử là loại kính hiển vi dùng để quan sát cấu trúc vi mô bề mặt của vật rắn dựa trên nguyên tắc xác định lực tương tác nguyên tử giữa đầu mũi dò nhọn với bề mặt của mẫu (hình 2.11). Các kính hiển vi AFM điển hình sử dụng một hệ photodetector mà trong đó đầu dò được gắn vào phía dưới của một cần quét phản xạ. Một tia laser được chiếu vào mặt phản xạ của cần quét. Khi đầu dò quét lên bề mặt mẫu, do sự mấp mô của bề mặt, nó sẽ rung động và chùm laser phản xạ trên cần quét sẽ bị xê dịch tương ứng với rung động đó. Đặc trưng dao động của chùm laser phản xạ sẽ được hệ thống photodetector ghi lại và chuyển
thành tín hiệu điện thế. Tín hiệu điện thế được xử lý và diễn giải theo chiều cao z đặc trưng cho tính chất địa hình của mẫu. Quá trình hồi tiếp khác nhau về tín hiệu giữa những cảm biến quang học, qua xử lý của phần mềm máy tính, cho phép duy trì hoặc là một lực không đổi, hoặc là một độ cao không đổi trên bề mặt mẫu. Ảnh AFM được điều chỉnh 3 chiều hoặc 2 chiều theo phần mềm của máy tính. Độ ghồ ghề bề mặt của màng được xác định (hình 2.12) bởi:
Độ ghồ ghề trung bình: ∫ = L 0 a ydx L 1 R (2.28)
Và độ ghồ ghề căn quân phương: 2 1 0 2 1 = ∫L rms y dx L R (2.29)