4.2.1.2. Kết quả phân tích PIXE với mẫu mỏng
Chiếu mẫu với các thơng số về điện tích (nói lên số lượng hạt proton chiếu vào mẫu), cường độ dòng của chùm ion, diện tích chùm ion chiếu trên mẫu, hệ số hiệu chuẩn như trong Bảng 4.3. Đây là các giá trị được thiết lập khi chiếu mẫu. Giá trị này sẽ thay đổi tùy theo mẫu cụ thể, và thơng thường được chọn sao cho thích hợp với từng loại mẫu, sao cho thời gian chiếu mẫu là nhỏ nhất mà vẫn đạt độ chính xác cao nhất.
Bảng 4.3. Điều kiện thí nghiệm đối với các phép đo
Đại lƣợng Giá trị Đơn vị
Tổng điện tích chiếu lên mẫu, Q 20 µC
Cường độ dịng ion 16 nA
Q trình xử lý kết quả đo được tiến hành theo các bước sau:
Chạy phần mềm Gupix để phân tích mẫu chuẩn mỏng Ni (Hình 4.4) hàm lượng 38,3 μg/cm2 của hãng Micromatter để xác định hệ số chuẩn H, (hệ số chuẩn H này là hàm, H(Ω,q), của góc khối, Ω, của detector tia X và điện tích q. Trong các điều kiện thí nghiệm, thường góc khối Ω là cố định, do đó ta chỉ có thể thay đổi q sao cho kết quả phân tích đúng với giá trị đã cho của mẫu chuẩn. Trong trường hợp cụ thể này, khi đặt H = 0,75, thì hàm lượng Ni trong mẫu chuẩn thu được là 38380 ng/cm2 (tức là bằng 38,38 μg/cm2), trùng với giá trị cho trước bởi hãng Micromatter. Ta cố định giá trị H này để chạy phần mềm Gupix phân tích cho các mẫu đo trong cùng điều kiện. Phổ tia X và phổ đã khớp của mẫu chuẩn Ni được cho trong Hình 4.5.