Nhờ khả năng cho ảnh cú độ phúng đại lớn, rừ nột và chi tiết, kớnh hiển vi điện tử quột (SEM) được ứng dụng để nghiờn cứu hỡnh thỏi hạt của vật liệu sột hữu cơ tổng hợp được.
Phương phỏp SEM cú thể thu được những ảnh cú chất lượng ba chiều cao, cú sự rừ nột hơn và khụng đũi hỏi sự phức tạp trong khõu chuẩn bị mẫu. Tuy nhiờn phương phỏp này lại cho hỡnh ảnh với độ phúng đại nhỏ hơn TEM. Phương phỏp SEM đặc biệt hữu dụng vỡ nú cho độ phúng đại cú thể thay đổi từ 10 đến 100.000 lần với hỡnh ảnh rừ nột, hiển thị 3 chiều phự hợp cho việc phõn tớch hỡnh dạng và phõn tớch cấu trỳc.
Nguồn cấp electron Vật kính Tr−ờng quét Mẫu Phản xạ Thực hiện q trình qt đồng bộ ảnh ống tia catơt Chuyển thành tín hiệu điện và khuyếch đại
Detector
Hỡnh 1.18. Sơ đồ nguyờn lý của kớnh hiển vi điện tử quột (SEM)
Chựm electron từ ống phúng được đi qua một vật kớnh và được lọc thành một dũng hẹp. Vật kớnh chứa một số cuộn dõy (cuộn lỏi electron) được cung cấp với điện thế khụng đổi, cuộn dõy tạo nờn một điện từ trường tỏc động lờn chựm electron, từ đú chựm electron sẽ quột lờn bề mặt mẫu tạo thành một tường quột. Tớn hiệu của cuộn lỏi cũng được chuyển đến ống Katot để điều chỉnh quỏ trỡnh quột ảnh trờn màn hỡnh đồng bộ với quỏ trỡnh quột electron trờn bề mặt mẫu. Khi chựm electron đập vào bề mặt mẫu tạo thành một tập hợp cỏc hạt thứ cấp đi tới Katot, tại đõy nú được chuyển thành tớn hiệu và được khuếch đại. Tớn hiệu được gửi tới ống tia Katot và được quột lờn màn hỡnh tạo nờn ảnh. Độ nột của ảnh được xỏc định bởi số hạt thứ cấp vào ống tia Katot, số hạt này lại phụ thuộc vào gúc bắn ra của electron khỏi bề mặt mẫu, tức là phụ thuộc vào mức độ lồi lừm của bề mặt. Vỡ thế ảnh thu được sẽ phản ỏnh diện mạo của bề mặt vật liệu.