8. Bố cục của luận án
2.2.3. Phương pháp khảo sát bằng kính hiển vi điện tử quét (SEM) và kính hiển
kính hiển vi điện tử truyền qua (TEM)
a. Kính hiển vi điện tử quét (SEM)
Phương pháp khảo sát cấu trúc vi mô của vật liệu nano bằng SEM là một phương pháp lý tưởng và phổ biến ngày nay, nó cung cấp thông tin về hình thái, thành phần và địa hình của bề mặt các vật liệu nano. Nguyên lý hoạt động của SEM như sau: các điện tử được tạo ra từ các súng bắn điện tử, tăng tốc trong điện trường đến thấu kính hội tụ, khẩu độ giúp tạo ra một chùm điện tử hẹp. Chùm điện tử quét qua bề mặt mẫu tương tác với bề mặt mẫu sẽ cũng cấp các thông tin trong một vùng không gian. Tín hiệu này được ghi lại bằng các đầu dò các đặc điểm hình thái, đại hình. Các ưu điểm chính của SEM là cung cấp các hình ảnh 3D thông tin linh hoạt với độ phân giải từ cỡ 1 nm đến cỡ μm mà không cần phá hủy mẫu và độ phóng đại có thể thay đổi được [128]. Trong luận văn này các kết quả đo SEM và EDX được đo bằng thiết
46
bị HITACHI S-4800 với độ phóng đại tối đa sử dụng trong luận án này là 250000 lần, thiết bị này được đặt tại Viện Khoa học và Công nghệ Việt Nam, Viện Hàn lâm Khoa học và Công nghệ Việt Nam.
b. Kính hiển vi đện tử truyền qua (TEM)
Kính hiển vi điện tử truyền qua (TEM) cùng với SEM là các công cụ hiện đại, thông dụng và quan trọng nhất trong việc xác định các đặc tính hình thái và cấu trúc của vật liệu nano. TEM cung cấp các thông tin ở mức độ phân giải cao bằng với kích thước của nguyên tử. TEM cung cấp đầy đủ các thông tin về mức độ đồng đều, phân tán hay kết đám và xác định đặc tính của vật liệu nano. Tuy nhiên TEM cũng cho thấy nhiều ưu điểm hơn SEM khi cung cấp hình ảnh với độ phân giải cao hơn, chất lượng tốt hơn và đi kèm với các phép đo phân tích. TEM hoạt động tương tự như một kính hiển vi quang học, sử dụng chùm điện tử, thấu kính điện từ và hình ảnh được quan sát trên màn hình huỳnh quang hoặc máy tính thông qua camera kĩ thuật số [128]. Trong luận án này, các kết quả ảnh TEM được quan sát bằng máy đo TEM 1010 (JEOL, Nhật Bản) đặt tại Phòng thí nghiệm Siêu cấu trúc, Trung tâm Nghiên cứu Y Sinh học, Viện Vệ sinh dịch tễ Trung Ương.