Các tiến bộ trong các quá trình CMOS thường là phức tạp và ở một mức độ nào đó ngăn cản sự hình dung (visualization) của tất cả các lớp mặt nạ được sử dụng trong quá trình sản xuất thực tế. Tuy vậy quá trình thiết kế có thể được trừu tượng hóa tới một số có thể quản lý được các mức layout khái niệm biểu diễn các đặc trưng vật lý mà chúng ta có thể quan sát được trên các tấm wafer si-líc cuối cùng. Ở một mức khái niệm đủ cao, tất cả các quá trình CMOS sử dụng các đặc trưng sau:
Hai lớp đế khác nhau.
Các vùng có tạp chất của cả transistor loại n và p tạo thành vật liệu. Các bản cực cửa transistor.
41 Các đường kết nối.
Các liên kết giữa các lớp.
Các lớp cho các quá trình CMOS điển hình được biểu diễn trong các hình dạng khác nhau ở dạng:
Một sơ đồ màu được đề xuất bởi JPL (Jet Propulsion Laboratory).
Một sơ đồ màu được cải tiến để phân biệt giữa các cấu trúc nMOS và CMOS. Các mẫu khắc sơn.
Các kiểu đường.
Hoặc là một hỗn hợp của các dạng trên.
Bảng 2.3 và 2.4 trình bày một số trong các biểu diễn vừa kể.
Bảng 2.3: Biểu diễn lớp JPL cho quá trình CMOS p-well
Lớp JPL
Màu Ký hiệu Ghi chú
p-well Nâu -
Màu nâu bên trong là giếng p, bên ngoài là đế
loại n
Ô-xít mỏng Xanh lá cây Transistor n Lớp thinox không bao phủ biên giếng
Poly Đỏ Si-lic đa tinh thể Thường là n+
p+ Vàng Transistor p Bên trong là p+
Kim loại 1 Xanh da trời nhạt Kim loại 1 -
Kim loại 2 Xanh da trời đậm Kim loại 2 -
Nút cắt kết nối Đen Kết nối -
Khi sơ đồ được sử dụng, một ký hiệu sẽ được sử dụng để chỉ các phân chia lớp. Ở mức mặt lạ, một số lớp có thể được bỏ qua để nhằm mục đích biểu diễn rõ ràng. Ở mức ký hiệu, chỉ các transistor loại n và p được trình bày. Điều này có thể được xem như việc dịch sang một tập thích hợp các mặt nạ cho bất cứ quá trình nào được xem xét.
Để thuận tiện, các tên lớp CIF (Caltech Intermediate Form) như được sử dụng bởi JPL cho CMOS thân (bulk) được trình bày trong bảng 2.4.
B ảng 2.4: Biểu diễn các lớp kế tiếp cho quá trình CMOS p-well
Lớp Màu xen kẽ Mã CIF
p-well Nâu CW
Ô-xít mỏng Đỏ CD
Poly Xanh lá cây CP
p+ Đỏ tía CS
Kim loại 1 Vàng sậm CM
Kim loại 2 Xanh da trời đậm CN
42 Phiên bản 2.0 của CIF sử dụng bốn ký tự (số và chữ cái). Tuy nhiên tóm lại chữ cái đầu tiên được sử dụng để đặc tả lớp quá trình, chẳng hạn chữ cái "C" cho các quá trình CMOS bulk. Theo sau là chữ cái thứ hai để xác định loại lớp.