Chương 1 đã đưa ra một cách khái quát một số kết quả nghiên cứu trong và ngoài nước có liên quan tới vấn đề mà mục tiêu đề tài đã đặt ra.
- Các khí H2S và NO2 có thể sinh ra và tồn tại trong môi trường sống là các khí rất độc, hại. Việc phát hiện và kiểm soát các khí này đang là vấn đề rất cấp bách hiện nay.
- Cảm biến khí dựa trên cơ sở oxit kim loại bán dẫn cấu trúc dị thể trong cảm biến khí bao gồm phương pháp chế tạo, đặc trưng nhạy khí.
- Đặc trưng nhạy khí của cảm biến khí dựa trên cơ sở dây nano oxit kim loại bán dẫn cấu trúc dị thể cùng loại hạt tải n - n là SnO2/ZnO và SnO2/WO3
- Đặc trưng nhạy khí H2S của cảm biến khí dựa trên cơ sở dây nano oxit kim loại bán dẫn cấu trúc dị thể khác loại hạt tải n – p là SnO2/NiO và SnO2/Ag2O
- Các kết quả nghiên cứu cho thấy các cảm biến dựa trên cơ sở trúc dị thể, đặc biệt là cấu trúc dị thể dây nano SnO2 biến tính với oxit kim loại khác còn hạn chế với khí H2S và nồng độ nghiên cứu với khí này còn cao so với ngưỡng gây độc hại của khí.
41
CHƯƠNG 2: THỰC NGHIỆM
Trong chương này chúng tôi trình bày các bước công nghệ chính để chế tạo được cảm biến dây nano SnO2 bằng phương pháp CVD nhiệt. Cảm biến dây nano cấu trúc dị thể n-SnO2/SMO được chế tạo nhờ biến tính bề mặt dây nano SnO2 bởi các lớp nano oxit kim loại bán dẫn khác bằng các phương pháp hoá lý khác nhau và phương pháp khảo sát tính chất nhạy khí H2S của cảm biến cấu trúc dị thể đã chế tạo được.