Nghiên cứu, thiết kế bộ khuếch đại lock in tương tự ứng dụng trong kính hiển vi lực nguyên tử (atomic force microscopy)

ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI TRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ NGUYỄN NGỌC TUẤN NGHIÊN CỨU, THIẾT KẾ BỘ KHUẾCH ĐẠI LOCK-IN TƯƠNG TỰ ỨNG DỤNG TRONG KÍNH HIỂN VI LỰC NGUYÊN TỬ (Atomic Force Microscopy) LUẬN VĂN THẠC SĨ NGÀNH CÔNG NGHỆ ĐIỆN TỬ - VIỄN THÔNG Huế – 2014 ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI TRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ NGUYỄN NGỌC TUẤN NGHIÊN CỨU, THIẾT KẾ BỘ KHUẾCH ĐẠI LOCK-IN TƯƠNG TỰ ỨNG DỤNG TRONG KÍNH HIỂN VI LỰC NGUYÊN TỬ (Atomic Force Microscopy) Ngành: Công nghệ Điện tử - Viễn thông Chuyên ngành: Kỹ thuật Điện tử Mã số: 60.52.02.03 LUẬN VĂN THẠC SĨ NGÀNH CÔNG NGHỆ ĐIỆN TỬ - VIỄN THÔNG CÁN BỘ HƯỚNG DẪN: TS VÕ THANH TÙNG Huế – 2014 LỜI CẢM ƠN Trước hết cho xin bày tỏ lời cảm ơn chân thành lòng tri ân sâu sắc tới TS Võ Thanh Tùng, người thầy ln tận tình hướng dẫn, giúp đỡ, tạo điều kiện tốt cho suốt thời gian thực luận văn Tôi xin gởi lời cám ơn đến tất giáo viên giảng dạy công tác khoa Điện tử - Viễn thông, trường Đại học Công nghệ, Đại học Quốc gia Hà Nội tận tình hướng dẫn trang bị cho tơi kiến thức từ chuyên sâu suốt trình vào giảng dạy trường Đại học Khoa học Huế Và cuối xin cảm ơn thầy, cô, anh, chị, bạn khoa Điện tử - Viễn thông, trường Đại học Khoa học Huế tạo điều kiện giúp đỡ, bảo cho lời khuyên vô quý báu Học viên Nguyễn Ngọc Tuấn LỜI CAM ĐOAN Tôi xin cam đoan kết trình bày luận văn nghiên cứu hướng dẫn TS Võ Thanh Tùng Các số liệu kết nêu luận văn trung thực chưa công bố cơng trình khác Ngƣời viết Nguyễn Ngọc Tuấn MỤC LỤC LỜI CẢM ƠN LỜI CAM ĐOAN MỤC LỤC DANH MỤC HÌNH VẼ MỞ ĐẦU Cơ sở khoa học thực tiễn đề tài Mục đích nội dung nghiên cứu Ý nghĩa khoa học khả ứng dụng thực tiễn đề tài .9 CHƢƠNG 1: TỔNG QUAN LÝ THUYẾT KĨ THUẬT LOCK-IN 11 1.1 Tại sạo phải sử dụng kĩ thuật Lock-in [4] 11 1.2 Bộ khuếch đại Lock-in gì? 12 1.3 Nguyên lý làm việc Lock-in 14 1.4 Tín hiệu - Phase 15 1.5 Các kĩ thuật Lock-in 17 1.5.1 Bộ khuếch đại Lock-in số (Digital Lock-in Amplifiers) 17 1.5.2 Bộ khuếch đại Lock-in tương tự (Analog Lock-in Amplifiers) 18 1.6 Đánh giá ưu, nhược điểm loại Lock-in? 20 CHƢƠNG 2: KÍNH HIỂN VI LỰC NGUYÊN TỬ KHUẾCH ĐẠI LOCK-IN ỨNG DỤNG TRONG KÍNH HIỂN VI LỰC NGUYÊN TỬ 22 2.1 Tổng quan SPM (Kính hiển vi quét đầu dò) 22 2.2 Nguyên lý hoạt động AFM 24 2.2.1 Nguyên lý chung 24 2.2.2 Thiết bị dò 28 2.2.3 Sự phản hồi 28 2.3 Các chế độ hoạt động AFM [8,14] 29 2.3.1 Chế độ tiếp xúc 2.3.2 Chế độ không tiếp xúc 2.3.3 Chế độ dao động (Chế độ tiếp xúc liên tục) 2.3.4 Ưu điểm nhược điểm chế độ AFM 2.4.AFM so sánh với thiết bị khác [14,21 2.4.1 Kính hiển vi quét đường ngầm 2.4.2 Kính hiển vi quét điện tử 2.4.3 Kính hiển vi điện tử truyền qua 2.5.Lock-in AFM CHƢƠNG 3: NGHIÊN CỨU, CHẾ TẠO LOCK-IN TƢƠNG TỰ KẾT QUẢ, THẢO LUẬN 3.1.Phát triển khuếch đại Lock-in tương tự tron 3.2.Mô tả nguyên lý mạch Lock-in 3.3.Đánh giá, kiểm tra thiết bị 3.4.Phát triển khuếch đại Lock-in tương tự tron tử AFM KẾT LUẬN, ĐỀ XUẤT DANH MỤC CÔNG TRÌNH CỦA TÁC GIẢ TÀI LIỆU THAM KHẢO Hình 1.1 Sơ Hình 1.2 Tín lệc Hình 1.3 Tín gó Hình 1.4 Bộ ình 1.5 Sơ Hình 2.1 Sự tru Hình 2.2 Họ Hình 2.3 Sơ Hình 2.4 Sơ Hình 2.5 Ng Hình 2.6 Sơ Hình 2.7 Cá Hình 2.8 Qu (N Hì h 3.1 Sơ Hình 3.2 Sơ hợ Hình 3.3 Mạ Hình 3.4 Mạ Hình 3.5 Kế Hình 3.6 Đƣ mạ Hình 3.7 Kế Hình 3.8 Kết tín hiệu đo thơng qua sử dụng Lock-in Hình 3.9 Đầu dị hệ kính hiển vi lực ngun tử “Fork-AFM” Hình 3.10 Hình ảnh khảo sát bề mặt hệ hiển vi lực nguyên tử “ForkAFM” Hình 3.11 Khối mạch điện tử Lock-in kết nối với mạch hệ kính hiển vi lực ngun tử “Fork-AFM” Hình 3.12 Khảo sát bề mặt mẫu máu kính hiển vi lực nguyên tử “Fork-AFM” DANH MỤC CÁC TỪ VIẾT TẮT AFM : Atomic Force Microscopy (Kính hiển vi lực nguyên tử) A/D : Bộ chuyển đổi tương tự/số AC : Dòng điện xoay chiều DC : Dòng điện chiều DSP : Digital Signal Processor (Xử lý tín hiệu số) FM-AFM : Kính hiển vi lực nguyên tử điều tần IC : Mạch tích hợp LIA : Lock-in Amplifier (Bộ khuếch đại Lock-in) Op Amps : Khuếch đại thuật tốn PSD : Phase Sensitive Detector (Bộ dị nhạy pha) PLL : Phase-Locked-Loop (Vịng khóa pha) SEM : Scanning Electron Microscope (Kính hiển vi quét điện tử) S/N : Tỉ số tín hiệu/nhiễu SPM : Scanning Probe Microscope (Kính hiển vi quét đầu dò) STM : Scanning Tunnel Microscope (Kính hiển vi quét đường ngầm) TEM : Transmission Electron Microscope (Kính hiển vi điện tử truyền qua) MỞ ĐẦU Cơ sở khoa học thực tiễn đề tài Ngày với phát triển nhanh khoa học kĩ thuật, việc đời thiết bị nhằm kiểm tra, đánh giá, khảo sát tính chất bề mặt vật liệu phát triển mạnh Trong đó, kính hiển vi lực ngun tử, viết tắt AFM (Atomic force microscopy) thiết bị công nghệ tiên tiến, đại sử dụng việc nghiên cứu tính chất bề mặt mẫu với độ phân giải cỡ nanomét Có thể nói thiết bị thuộc loại cao cấp giá trị chất xám lẫn giá trị kinh tế, tổng hợp nhiều công nghệ cao Hiện nay, hầu hết thiết bị kính hiển vi đầu dị trang bị nước đại có giá thành cao Bên cạnh vấn đề đặt q trình khai thác sử dụng trang thiết bị này, đặc biệt trình nâng cấp hạn chế Đặc biệt hệ đóng kín, bảo hộ quyền, nên người dùng hoàn toàn thụ động không dễ dàng can thiệp để thay đổi cập nhật Chính vậy, Việt Nam từ năm 2001 hình thành nhóm nghiên cứu, thiết kế chế tạo kính hiển vi lực nguyên tử AFM Đến phiên thứ thiết bị đời, song ứng dụng phòng thí nghiệm Việc triển khai mở rộng, thương mại hóa thiết bị cịn gặp nhiều khó khăn Một khó khăn việc sử dụng kĩ thuật Lock-in thiết bị nhằm để thu nhận tín hiệu tốt q trình qt đầu dị bề mặt mẫu Dựa phiên cung cấp từ thiết bị kính hiển vi đầu dị có, nhiều phiên Lock-in số nhóm nghiên cứu thiết kế, thử nghiệm kết không đạt theo mong muốn Xuất phát từ lý đó, tác giả muốn thử nghiệm với kĩ thuật Lock-in tương tự đề xuất tên đề tài: “Nghiên cứu, thiết kế khuếch đại Lock-in tương tự ứng dụng kính hiển vi lực nguyên tử (Atomic force microscopy)” Mục đích nội dung nghiên cứu Mục đích đề tài hướng đến nghiên cứu, phát triển khuếch đại Lock-in tương tự, từ đưa vào mạch hệ kính hiển vi lực ngun tử để thu hình ảnh quét tối ưu Với kết thu được, tách Lock-in tương tự thành thiết bị riêng để hỗ trợ phép đo khác thương mại hóa thiết bị 38 sinh viên" Tương tự vậy, máy phát dao động ký để phát tín hiệu Reference thay cung cấp từ máy phát chức chi phí thấp có sẵn thiết bị tiêu chuẩn hầu hết phịng thí nghiệm giảng dạy Hình 3.1 Sơ đồ LIA sử dụng mạch tích hợp (IC) 39 Hình 3.2 Sơ đồ mạch điện tử mạch in hệ LIA sử dụng mạch tích hợp Phần thứ hai, khuếch đại đầu vào, thiết bị khuếch đại vi mạch chuẩn, độ lợi thiết lập cách đóng ngắt điện trở Chúng sử dụng hai linh kiện Texas Instruments (Burr-Brown) INA114 Analog Divices AD620 Loại INA114 có bảo vệ lối vào tốt (lên đến 40V), loại lại AD620 đạt độ lợi lớn băng thông cao (>10 kHz so với 1kHz INA114) Việc kích hoạt linh kiện làm 40 việc chế độ khuếch đại thấp việc bổ sung op-amp giai đoạn khuếch đại thứ hai mở rộng băng thơng Một ví dụ thiết kế tìm thấy mạch tiền khuếch đại LIA kỹ thuật số mục tham khảo [22] Đối với thiết kế hành, lựa chọn để giảm thiểu lượng chip thay Việc kết nối đầu vào chế độ khác biệt cung cấp việc loại bỏ nhiễu tốt chế độ thông thường, tất thí nghiệm sinh viên cung cấp kết đầu đến LIA Tuy nhiên kết nối lối vào thấp khuếch đại với đất thông qua điện trở 10  để giảm tác động vòng lặp nối đất (sai số đầu vào) Lưu ý việc thiết kế điện trở có sẵn tăng độ lợi bên linh kiện khuếch đại có chi phí cao Tuy nhiên số lượng lợi ích có sẵn lại bị hạn chế Chúng sử dụng điện trở kim loại màng mỏng dung sai 1% cung cấp độ xác đầy đủ độ lợi cho hầu hết thí nghiệm sinh viên Nếu đạt độ xác cao hơn, điện trở với dung sai chặt chẽ biến trở thu nhỏ, sử dụng để điều chỉnh giá trị xác Lưu ý phương trình cho giá trị tăng so với mức tăng điện trở tương tự khác cho INA114 AD620 Trong Hình 3.1 chúng tơi biểu diễn giá trị dành cho INA114 Lối vào khớp nối AC cách chèn tụ điện khớp nối lối vào với mạch tiền khuếch đại Người ta thích chọn khớp nối AC tín hiệu lối vào có chứa thành phần DC đáng kể làm tải khuếch đại đầu vào, đặc biệt cần tăng độ khuếch đại Tụ điện điện trở lối vào tạo thành lọc thông cao khớp nối AC, khớp nối DC ưa thích tần số tham chiếu (và kéo theo tần số tín hiệu mong muốn) thấp suy giảm dịch pha đến lọc phải tránh Đối với hầu hết thí nghiệm ngành giáo dục mà chúng tơi phát triển khớp nối AC điều mong muốn Hình 3.1 mơ tả khớp nối AC thông qua tụ 0,47  F Phần thứ ba mạch bao gồm lọc thông thấp mạch khuếch đại DC lối Bộ lọc mạch lọc phân nhánh RC đơn giản với điện trở cố định 1M  tụ điện chuyển đổi để thay đổi số thời gian Hằng số thời gian từ 0,01 đến 2.2s có sẵn với thành phần hiển thị, vài số tụ điện loại bỏ để đơn giản hóa việc xây thiết kế mạch Ngồi ra, việc kết hợp lọc hai giai đoạn lọc bỏ tiếng ồn tốt Một chip Texas Instruments OP-27 (các nhà sản xuất khác có tung thị trường chip này) sử dụng làm mạch khuếch đại lối Nó hoạt động 41 hai chế độ đơn "x10" Điện trở 10 k  có tác dụng hạn chế dịng lối vào số thời gian thay đổi Hình 3.3 Mạch tạo nguồn lƣỡng cực Hình 3.4 Mạch Lock-in tƣơng tự hồn chỉnh Hình 3.3 cho thấy nguồn sử dụng nguồn lưỡng cực  15V, thay nguồn  12V với 42 mát hiệu suất khơng đáng kể Tuy nhiên đây, nhóm tác giả thiết kế nguồn  15V ổn định dựa VAT1-S5-D15-SMT Dịng tiêu thụ tồn mạch nhỏ 50mA Hình ảnh mạch Lock-in bước đầu hoàn thiện chuyển đổi thể Hình 3.4 3.3 Đánh giá, kiểm tra thiết bị Để chứng minh kiểm tra LIA, thử nghiệm thực hiện, khảo sát tín hiệu qua mẫu áp điện phương pháp đo đường trễ sắt điện nhóm tác giả Hồng Lê Châu Huy thực luận văn thạc sĩ phịng thí nghiệm Vật lý chất rắn, khoa Vật lý, trường Đại học Khoa học Huế (thí nghiệm Hình 3.5) Tín hiệu qua mẫu buồng cao áp bé, cỡ micro đến nano ampe Để thu nhận tín hiệu này, nhóm tác giả Hồng Lê Châu Huy thực phương pháp mạch “đất ảo” mà thực chất khuếch đại với hệ số lớn Tuy nhiên, hệ phải sử dụng cao áp nên mạch đo “đất ảo” có tín hiệu điện áp lớn hệ số khuếch đại lớn Điều đòi hỏi phải sử dụng Op Amps chuyên dụng điện áp cao đắt tiền Ngược lại mạch có hệ số khuếch đại bé tín hiệu thu bé đặc biệt có nhiều nhiễu, kết đường trễ điện môi không đạt yêu cầu đo (Hình 3.5, Hình 3.6) Hình 3.5 Kết nối cho hệ “đất ảo” khảo sát đƣờng trễ điện mơi 43 Hình 3.6 Đƣờng trễ mẫu BZT-50BCT đƣợc đo phƣơng pháp mạch “đất ảo” Hình 3.7 Kết nối hệ Lock-in với mạch đo đƣờng trễ để kháo sát tín hiệu đo Trong thí nghiệm kiểm tra tín hiệu đo, sóng sin sử dụng làm lối vào tham chiếu LIA thông qua việc sử dụng đầu nối BNC hình chữ T ngõ máy phát chức (DFG-9020-20MHz) Tín hiệu sau qua mẫu buồng cao áp, lối khuếch đại bé đưa đến đầu vào thành phần mạch khuếch đại Lock-in Tín hiệu đầu hiển thị 44 quan sát dao động ký số TDS1000B Đồng thời để so sánh, tín hiệu sau qua mẫu tách (một lần thông qua việc sử dụng đầu nối BNC hình chữ T) kết nối kênh dao động ký Tổng thể mạch đo sử dụng Lock-in trình bày Hình 3.7 Kết thử nghiệm với Lock-in trình bày Hình 3.8 Ở thay đổi giá trị điện trở ngõ vào tụ điện lọc thơng thấp Hình 3.8 (a-c) trình bày kết thay đổi giá trị trở tụ điện Ngồi tần số qt thay đổi sử dụng máy phát chức (DFG-9020-20MHz) Kết cho thấy tín hiệu sau qua LIA cho giá trị xác Kết phụ thuộc nhiều vào việc thay đổi giá trị trở ngõ vào tụ lọc thông thấp Khi sử dụng mạch đo đường trễ với phương pháp đất ảo, hệ số khuếch đại phải lớn (trên 200 lần), lúc thu dòng nhỏ qua mẫu gốm áp điện Ngoài điện áp áp đặt phải giá trị lớn định thu đường trễ Tuy nhiên, với kĩ thuật Lock-in, hệ số khuếch đại không yêu cầu phải lớn Trong mạch cho khuếch đại mạch đường trễ 20 lần Và kết Hình 3.8 điện tín hiệu từ máy phát 20mV Trong kết thử nghiệm này, việc khảo sát đường trễ điện mơi áp dụng vùng tần số thấp (50Hz đến 150Hz), đó, việc đánh giá xác phép đo vùng tần số cao không thực với hệ Tuy nhiên việc chứng minh LIA hoạt động tần số lớn chứng minh phần 3.4 45 (a) (b) (c) Hình 3.8: Kết tín hiệu đo thơng qua sử dụng Lock-in a)Tần số quét: 83Hz, Input gain:5000x, Time constant: 1s b) Tần số quét: 133Hz, Input gain:10000x, Time constant: 1s c) Tần số quét: 133Hz, Input gain:5000x, Time constant: 1s 46 3.4 Phát triển khuếch đại Lock-In tƣơng tự kính hiển vi lực nguyên tử AFM Như trình bày phần 2.5, hầu hết hệ AFM sử dụng chế độ dao động thiết bị phát triển AFM sử dụng kiểu dao động đầu đo sử dụng hệ Lock-in thiết bị Trong phần nhóm tác giả phối hợp với nhà nghiên cứu Viện Vật lý Ứng dụng Thiết bị Khoa học, Viện Hàn lâm Khoa học Công nghệ để thử nghiệm hệ đo Hệ AFM sử dụng gọi hệ Fork-AFM (Hình 3.9) Thiết bị phát triển hệ AFM, nhiên đầu dò ứng dụng rung tần số 32 kHz tuning fork để qt bề mặt mẫu Hình 3.9: Đầu dị hệ kính hiển vi lực nguyên tử “Fork-AFM” Kết đo với hệ Fork-AFM không sử dụng Lock-in mạch trình bày Hình 3.10 (a, c) Trong thí nghiệm này, chúng tơi sử dụng hai mẫu mẫu chuẩn Calibration grating TGZ02 (Hình 3.10 c, d) mẫu Polyethylene (Hình 3.10 a, b) Chế độ rung đầu dò tiếp xúc mẫu cho ta kết xác hình ảnh bề mặt mẫu thu nhận nhiều thông số quan thơng qua chế độ đo Tuy nhiên tiếp xúc lên bề mặt mẫu, tín hiệu thu nhận nhỏ (cỡ nm), gây nhiễu lớn hình ảnh mẫu khơng đạt u cầu (Hình 3.10 a, c) 47 (a) (b) (c) (d) Hình 3.10: Hình ảnh khảo sát bề mặt hệ hiển vi lực nguyên tử “ForkAFM” Hình 3.11 trình bày nguyên lý mạch Lock-in kết nối với tổng thể mạch thiết bị AFM sử dụng Viện Vật lý Ứng dụng Thiết bị Khoa học Trong hình trình bày phần nhỏ hệ thống điện tử hệ Fork-AFM 48 Hình 3.11: Khối mạch điện tử Lock-in kết nối với mạch hệ kính hiển vi lực nguyên tử “Fork-AFM” Hình 3.12: Khảo sát bề mặt mẫu máu kính hiển vi lực nguyên tử “Fork-AFM” Kết đo hệ Fork-AFM sử dụng Lock-in mạch trình bày Hình 3.10 (b, d) hai mẫu mẫu chuẩn Calibration grating TGZ02 (Hình 3.10 d) mẫu Polyethylene (Hình 3.10 b) Từ kết quả, chúng tơi nhận thấy hình ảnh thu có độ phân giải cao rõ nét so với kết ban đầu Đặc biệt, độ phân giải chi tiết đạt đến nanomet Với kết đạt được, nhóm chúng tơi tiếp tục tiến hành thử nghiệm mẫu sinh học khảo sát bề mặt mẫu máu Kết khảo sát trình bày Hình 3.12 49 KẾT LUẬN, ĐỀ XUẤT Luận văn trình bày tổng quan lý thuyết kĩ thuật Lock-in, hướng phát triển ứng dụng kĩ thuật Luận văn trình bày khái quát nguyên lý hoạt động kính hiển vi lực nguyên tử AFM chế độ hoạt động kính hiển vi Tìm hiểu nguyên nhân việc sử dụng kĩ thuật Lock-in ứng dụng mạch điện tử họ kính hiển vi Nghiên cứu, phát triển hệ Lock-in tương tự Ứng dụng kĩ thuật Lock-in tương tự vào mạch điện tử họ kính hiển vi lực nguyên tử “Fork-AFM” Kết đo cải thiện rõ rệt sử dụng kĩ thuật Lock-in mạch điện tử hệ Trong trình khảo sát hệ đo đường trễ sắt điện, hạn chế mặt thời gian thiết bị nên chúng tơi chưa hồn chỉnh thiết bị Lock-in độc lập để thương mại hóa hệ đo 50 DANH MỤC CƠNG TRÌNH CỦA TÁC GIẢ Võ Thanh Tùng, Nguyễn Ngọc Tuấn (2013) “Thiết kế, chế tạo khuếch đại Lock-in tƣơng tự kính hiển vi lực nguyên tử”, Hội nghị toàn quốc lần thứ III Vật lý kĩ thuật ứng dụng, Huế tháng năm 2013 51 TÀI LIỆU THAM KHẢO TIẾNG ANH G Binning, C F Quate, Ch Gerber Atomic force microscope Phys Rev Lett 56 (9), (1986) 930 Hauser, P C ; Liang, C L C.; Mueller, B Meas Sci Technol 1995, 6, 1081-1085 Horlick, G.; Betty, K R Anal Chem., 1975, 47, 363-366 Manual SR830 basics, Stanford Research Systems Meade, M L Lock-in Amplifiers: Principles and Applications; Peter Peregrinus: London, 1983 N Yao, Z L Wang Handbook of Microscopy for Nanotechnology (2005) O’Haver, T C J Chem Educ 1972, 49, A131-A134 O’Haver, T C J Chem Educ 1972, 49, A211-A222 Park Scientific Instruments A practical guide to scanning probe microscopy (1997) 10 Pechan, M J ; Xu, J ; Johnson, L D Rev Sci Instr 1992, 63, 3666-3669 11 Sadik, O A.; Cheung, M C J Chem Educ 2001, 78, 658-662 12 Temple, P A Am J Phys 1975, 43, 801-807 13 Thal, M A.; Samide, M J J Chem Educ 2001, 78, 1510-1512 14 Veeco Scanning Probe Microscopy Training Notebook Version 3.0 (2000) 15 Wayne, R P Chemical Instrumentation; Oxford University Prees: Oxford, 1994; pp 71-73 16 Whitten, J E J Chem Educ 2001, 78, 1096-1100 17 Whitten, J E.; Fischer, J D J Chem Educ 2003, 80, 1451-1454 18 Wolfson, R Am J Phys 1991, 59, 569-572 19 Yvon, D.; Sushkov, V.; Bernard, R.; Bret, J L.; Cahan, B.; Cloue; O.; Maillard, O.; Mazeau, B.; Passerieux, J P.; Paul, B.; Veyssiere, C Nucl Instr And Meth A 2002, 481, 306-316 52 WEBSITE Data Sheet for AD630 Balanced Modulator-Demodulator, Rev D, Analog Devices, Inc., Norwood, MA, 2001 Available at http://www.analogdevices.com (accessed May 2005) Earlier versions of the data sheet, which include the same lock-in circuit, have been available for several years 21 http://www.research.ibm.com 20 22 UTiLA: A PC-Based Lock in Amplifier http://www.mrflip.com/papers/LIA (accessed May 2005) ... KÍNH HIỂN VI LỰC NGUYÊN TỬ KHUẾCH ĐẠI LOCK- IN ỨNG DỤNG TRONG KÍNH HIỂN VI LỰC NGUN TỬ Trình bày khái quát nguyên lý hoạt động hệ kính hiển vi lực nguyên tử, chế độ hoạt động họ kính hiển vi Trong. ..ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI TRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ NGUYỄN NGỌC TUẤN NGHIÊN CỨU, THIẾT KẾ BỘ KHUẾCH ĐẠI LOCK- IN TƯƠNG TỰ ỨNG DỤNG TRONG KÍNH HIỂN VI LỰC NGUYÊN TỬ (Atomic Force Microscopy). .. văn AFM (Atomic Force Microscopy - Kính hiển vi lực ngun tử) HỌ GIA ĐÌNH KÍNH HIỂN VI SPM Kính hiển vi qt dịng Tunnel (STM)1981-2 Kính hiển vi hiệu ứng ion Kính hiển vi lực Kính hiển vi quét