... và đo khối lợng đà đợc thiết kế và chế tạo thành công. Trong công nghệ này, chúng tôi chỉ sử dụng thiết bị quang khắc một mặt, vật liệu bảo vệ trong xử lí ăn mòn là ô-xít silic SiO2 chế tạo ... điểm các cạnh màng. Có thể sử dụng hai loại áp điện trở là các áp điện trở kiểu cầu điện trở Wheastone nh trong hình 1b và áp điện trở kiểu điện trở 4 điện cực nh trong hình 1c. ... cơ, công nghệ này đà đợc ứng dụng để chế tạo các cấu trúc và các bộ cảm biến ứng dụng trong nhiều lĩnh vực khác nhau nh trong công nghiệp, kỹ thuật, y tế, quân sự, Trong những năm gần đây, với...