2. 1.3.Các yếu tố ảnh hưởng đến phản ứng thủy phân và ngưng tụ
2.2.Chế tạo vật liệu màng
Có hai cách chế tạo vật liệu màng đuợc sử dụng để chế tạo các màng nghiên cứu trong luận án.Cách thứ nhất là sử dụng dung dịch sol-gel được chế
tạo ở trên để tạo màng bằng phương pháp nhúng kéo. Và cách thứ hai là chế
tạo màng bằng phương pháp phún xạ catốt.
Chế tạo màng bằng phương pháp nhúng kéo
Với mục đích tạo được dung dịch đồng nhất cao và phủ được màng trên các loại đế với chất lượng quang học cao, chúng tôi đã chọn dung môi isopropanol làm dung môi tiến hành phản ứng tổng hợp. Dung dịch sản phẩm có thể đưa sang khâu phủ màng theo các kỹ thuật quay phủ và nhúng phủ. Tuy nhiên, việc sử dụng dung dịch trong một thời gian dài để phủ màng là yếu tố rất cần thiết trong phát triển công nghệ. Chính vì vậy, chúng tôi đã nghiên cứu các biện pháp bền vững hóa dung dịch sol thu được.
Có một số kĩ thuật làm bền vững hóa dung dịch sol thu được như: Điều chỉnh pH, thay thế dung môi, hay hạ nhiệt độ xuống thấp. Một số biện pháp
đã được tiến hành, trong đó các dịch sol được bảo quản ở nhiệt độ 6oC, có thể sử dụng để phủ màng chất lượng cao trong thời gian từ 4 đến 6 tuần. Các màng được tạo trên đế Silic đơn tinh thể hoặc trên đế thạch anh tổng hợp. Các đế Silic với đường kính 7 cm được xử lý bề mặt bằng cách ngâm trong axit nitric đặc 100% và 65% trong thời gian 10 phút, ngâm vào axit flohyđric 1% trong 2 phút, tráng bằng nước khử ion và làm khô trong
phòng sạch. Một trong các yếu tố chính cần khảo sát là điều kiện công nghệ
như: tốc độ quay ly tâm, tốc độ nhúng phủ, ổn nhiệt và môi trường của quá trình phủ màng. Những yếu tố đó sẽđược trình bày trong các phần chế tạo các hệ màng khác nhau ở các phần sau.