Hình 2.3 Hiện tượng nhiễu xạ trên bề mặt tinh thể
2.3.2 Phương pháp kính hiển vi điện tử truyềnqua
Kính hiển vi điện tử truyền qua (TEM: Transmission Electron Microscope) được phát triển từ năm 1930 là công cụ kỹ thuật không thể thiếu được cho nghiên cứu vật liệu và y học. Dựa trên nguyên tắc hoạt động cơ bản của kính hiển vi quang học, kính hiển vi điện tử truyền qua có ưu điểm nổi bật nhờ bước sóng của chùm điện tử ngắn hơn rất nhiều so với bước sóng ánh sáng nhìn thấy nên có thể quan sát tới những kích thước cỡ nanomet.
Khi chùm điện tử chiếu tới mẫu với tốc độ cao và trong phạm vi rất hẹp, các điện tử bị tán xạ bởi thế tĩnh điện giữa hạt nhân nguyên tử và lớp mây điện tử của vật liệu gây ra nhiễu xạ điện tử. Khi đốt nóng catot (dây tungsten), các điện tử từ
catot được bắn ra và đi tớ trong chân không. Tác d cấp, điện tử phản xạ, điện t đàn hồi với đám mây điệ ảnh huỳnh quang hoặc ảnh k
Hình 2.5.Kính hiển vi đi
Nhiễu xạ điện tử có th thể và đặc trưng vật liệu.Chùm đi của chùm điện tử tới và kho chùm điện tử nhiễu xạ tuân theo đ 2dsin = n; nhưng so v
rất nhỏ nên ứng với các kho dưới 0,01o. Tuỳ thuộc vào b chia thành những vùng sáng t của vật liệu vơ định hình
Các ảnh TEM củ
truyền qua JEOL TEM J1010 có đi
45
ới anot, sau đó được hội tụ bằng “thấu kính t dụng của tia điện tử tới mẫu có thể tạo ra chùm đi
n tử Auger, tia X thứ cấp, phát quang catot và tán x ện tử truyền qua mẫu được khuếch đại và ghi l nh kỹ thuật số.
n vi điện tử truyềnqua J 1010 tại Viện vệ sinh dị ương
có thể cung cấp những thơng tin rất cơ bản v u.Chùm điện tử nhiễu xạ từ vật liệu phụ thuộc vào bư i và khoảng cách các mặt mạng trong tinh thể. Bư
tuân theo định luật phản xạ Bragg như đối với nhi ; nhưng so với nhiễu xạ tia X, do bước sóng của chùm đi
i các khoảng cách mặt mạng tinh thể thì góc nhiễ c vào bản chất của vật liệu mà ảnh nhiễu xạ ng vùng sáng tối gọi là trường sáng - trường tối. Trườ
cịn trường tối là ảnh của vật liệu có dạng tinh th ủa các mẫu vật liệu được chụp trên kính hi n qua JEOL TEM J1010 có điện thế từ 40 đến 100 kV, độ phân gi
u kính từ” lên mẫu đặt o ra chùm điện tử thứ p, phát quang catot và tán xạ không i và ghi lại dưới dạng
ịch tễ Trung n về cấu trúc tinh c vào bước sóng . Bước sóng của i nhiễu xạ tia X: a chùm điện tử thường ễu xạ rất bé, cỡ điện tử thường ờng sáng là ảnh ng tinh thể.
p trên kính hiển vi điện tử phân giải đối với
điểm ảnh là 0,2 nm và đố 500.000 lần. Máy được đ 2.3.3 Phương pháp nghiên c