5. Ý NGHĨA KHOA HỌC VÀ THỰC TIỄN CỦA ĐỀ TÀI
2.2.2. Chụp ảnh hiển vi điện tử quét (SEM)
Để khảo sát hình thái bề mặt và kích thước hạt của mẫu chúng tôi tiến hành chụp ảnh hiển vi điện tử quét (SEM).
Kính hiển vi điện tử quét (Scanning Electron Microscope, SEM) - loại kính hiển vi điện tử có thể tạo ra ảnh với độ phân giải cao của bề mặt mẫu vật rắn bằng cách sử dụng một chùm điện tử (chùm các electron) hẹp quét trên bề mặt mẫu. Để tạo ảnh của mẫu vật dựa trên việc ghi nhận và phân tích các bức xạ phát ra từ tương tác của chùm điện tử với bề mặt mẫu vật.
Phương pháp SEM giúp quan sát hình thái bề mặt và ước tính tương đối kích thước hạt tinh thể. Ở phương pháp này, người ta quét một chùm tia điện tử hẹp có bước sóng khoảng vài angstrom ( A0) lên bề mặt mẫu nghiên cứu, các điện tử này va chạm với các nguyên tử, kích thích các nguyên tử này và từ mẫu phát ra các tín hiệu như điện tử thứ cấp, điện tử tán xạ ngược, điện tử hấp thụ, điện tử Auger, tia X, huỳnh quang catốt.
Hệ thống kính hiển vi điện tử quét dùng detector thu các tín hiệu phát ra từ mẫu và chuyển nhanh thành tín hiệu điện hiển thị hình ảnh trên màn hình thu
được hình ảnh bề mặt mẫu, thấy được hình thái bề mặt mẫu, hình dạng và kích thước hạt.
Mặc dù không thể có độ phân giải tốt như kính hiển vi điện tử truyền qua nhưng kính hiển vi điện tử quét lại có điểm mạnh là phân tích mà không cần phá hủy mẫu vật và có thể hoạt động ở chân không thấp. Một điểm mạnh khác của SEM là các thao tác điều khiển đơn giản hơn rất nhiều khiến cho nó rất dễ sử dụng.
Hình 2.5. Thiết bị FESEM - JEOL/JSM - 7600F tích hợp đo FESEM và EDS tại Viện Tiên tiến Khoa học và Công nghệ (AIST) - Đại học Bách khoa Hà Nội.