(Luận văn thạc sĩ) Nghiên cứu bộ điều khiển PID kết hợp với thuật toán NSGAII để điều khiển cơ cấu chuyển động thẳng với độ phân giải Micron

(Luận văn thạc sĩ) Nghiên cứu bộ điều khiển PID kết hợp với thuật toán NSGAII để điều khiển cơ cấu chuyển động thẳng với độ phân giải Micron(Luận văn thạc sĩ) Nghiên cứu bộ điều khiển PID kết hợp với thuật toán NSGAII để điều khiển cơ cấu chuyển động thẳng với độ phân giải Micron(Luận văn thạc sĩ) Nghiên cứu bộ điều khiển PID kết hợp với thuật toán NSGAII để điều khiển cơ cấu chuyển động thẳng với độ phân giải Micron(Luận văn thạc sĩ) Nghiên cứu bộ điều khiển PID kết hợp với thuật toán NSGAII để điều khiển cơ cấu chuyển động thẳng với độ phân giải Micron(Luận văn thạc sĩ) Nghiên cứu bộ điều khiển PID kết hợp với thuật toán NSGAII để điều khiển cơ cấu chuyển động thẳng với độ phân giải Micron(Luận văn thạc sĩ) Nghiên cứu bộ điều khiển PID kết hợp với thuật toán NSGAII để điều khiển cơ cấu chuyển động thẳng với độ phân giải Micron(Luận văn thạc sĩ) Nghiên cứu bộ điều khiển PID kết hợp với thuật toán NSGAII để điều khiển cơ cấu chuyển động thẳng với độ phân giải Micron(Luận văn thạc sĩ) Nghiên cứu bộ điều khiển PID kết hợp với thuật toán NSGAII để điều khiển cơ cấu chuyển động thẳng với độ phân giải Micron(Luận văn thạc sĩ) Nghiên cứu bộ điều khiển PID kết hợp với thuật toán NSGAII để điều khiển cơ cấu chuyển động thẳng với độ phân giải Micron(Luận văn thạc sĩ) Nghiên cứu bộ điều khiển PID kết hợp với thuật toán NSGAII để điều khiển cơ cấu chuyển động thẳng với độ phân giải Micron(Luận văn thạc sĩ) Nghiên cứu bộ điều khiển PID kết hợp với thuật toán NSGAII để điều khiển cơ cấu chuyển động thẳng với độ phân giải Micron(Luận văn thạc sĩ) Nghiên cứu bộ điều khiển PID kết hợp với thuật toán NSGAII để điều khiển cơ cấu chuyển động thẳng với độ phân giải Micron(Luận văn thạc sĩ) Nghiên cứu bộ điều khiển PID kết hợp với thuật toán NSGAII để điều khiển cơ cấu chuyển động thẳng với độ phân giải Micron(Luận văn thạc sĩ) Nghiên cứu bộ điều khiển PID kết hợp với thuật toán NSGAII để điều khiển cơ cấu chuyển động thẳng với độ phân giải Micron(Luận văn thạc sĩ) Nghiên cứu bộ điều khiển PID kết hợp với thuật toán NSGAII để điều khiển cơ cấu chuyển động thẳng với độ phân giải Micron(Luận văn thạc sĩ) Nghiên cứu bộ điều khiển PID kết hợp với thuật toán NSGAII để điều khiển cơ cấu chuyển động thẳng với độ phân giải Micron(Luận văn thạc sĩ) Nghiên cứu bộ điều khiển PID kết hợp với thuật toán NSGAII để điều khiển cơ cấu chuyển động thẳng với độ phân giải Micron(Luận văn thạc sĩ) Nghiên cứu bộ điều khiển PID kết hợp với thuật toán NSGAII để điều khiển cơ cấu chuyển động thẳng với độ phân giải Micron(Luận văn thạc sĩ) Nghiên cứu bộ điều khiển PID kết hợp với thuật toán NSGAII để điều khiển cơ cấu chuyển động thẳng với độ phân giải Micron

LỜI CAM ĐOAN Tơi cam đoan cơng trình nghiên cứu Các số liệu, kết nêu luận văn trung thực chưa cơng bố cơng trình khác Tp Hồ Chí Minh, ngày 14 tháng năm 2021 (Ký tên ghi rõ họ tên) Hồ Minh Chính x CẢM TẠ Để hồn thành luận văn này, tơi xin gởi lời cảm ơn tới thầy giáo người tận tình hướng dẫn, giảng dạy định hướng cho tơi suốt q trình học tập, rèn luyện trường Đại học Sư Phạm Kỹ Thuật Tp HCM Tôi xin gửi lời cảm ơn sâu sắc đến thầy PGS.TS Phạm Huy Tuân , ThS Nguyễn Văn Khiển người tận tình hướng dẫn tơi suốt q trình thực đề tài, góp ý thầy kiến thức quý báu nguồn động viên lớn cho tơi hồn thành luận văn Tơi gửi lời cảm ơn tới gia đình người bạn, đồng nghiệp xung quanh đóng góp nhiều tinh thần góp ý quý giá gặp khó khăn Mặc dù cố gắng nỗ lực mình, song chắn luận văn khơng thể tránh khỏi thiếu sót Mong bảo tận tình thầy Tp HCM, ngày 14 tháng 03 năm 2021 Học viên Hồ Minh Chính xi TĨM TẮT Cơ cấu bàn dao máy tiện gồm cấu đàn hồi cấu chấp hành áp điện Piezo (PZT) chuyển vị cỡ micron giải pháp nâng cao độ xác gia cơng chi tiết khí để thay ngun cơng mài[1], [2], [3], [4] Mơ hình nhóm tác giả [7] nghiên cứu chế tạo phần khí, bước để hoàn thiện cấu bàn dao điều khiển cấu chuyển vị theo vị trí mong muốn Ziegler-Nichols phương pháp thường sử dụng để chỉnh định điều khiển PID Tuy nhiên, điều khiển điều khiển chuyển vị mơ hình bàn dao đạt u cầu sai số cỡ micron Vì vậy, đề tài tập trung trình bày phương pháp thiết kế PID vịng kín tối ưu hóa thuật tốn di truyền NSGA-II Thuật toán di truyền hỗ trợ phần mềm MATLAB nhằm tìm thơng số Kp, Ki Kd điều khiển PID Kết kiểm chứng mơ thực nghiệm mơ hình Với điều khiển tối ưu này, chuyển vị bàn dao đạt yêu cầu xác cỡ micron xii ABSTRACT A holder tool of lathe machine consists of flexible mechanism and micron displacement piezo actuators This solution improves the accuracy of workpiece instead of grinding stage[1], [2], [3], [4] This model are designed and implement by researchers[7] Next step is complementary and design position controller Ziegler-Nichols is a popular used method for tuning PID controllers However, this controller can’t control the displacement of the cutting tool holder to achieve the required error (micron) In this thesis, we study the PID algorithm and NSGA-II optimization to get the optimal PID parameters They are turning by the genetic algorithm (GA) on MATLAB toolbox The simulation and experiment are conducted to verifying the results - the micron displacement of cutting holder tool Keywords: PID, GA, Micron displacement mechanism, Piezo actuator xiii MỤC LỤC LÝ LỊCH KHOA HỌC i LỜI CAM ĐOAN iii CẢM TẠ xi TÓM TẮT xii MỤC LỤC xiv DANH SÁCH CHỮ VIẾT TẮT xvii DANH SÁCH CÁC HÌNH xviii DANH SÁCH BẢNG xx Chương 1: TỔNG QUAN 1.1 Tính cấp thiết đề tài 1.2 Tổng quan kết nghiên cứu liên quan 1.2.1 Các kết nghiên cứu nước .2 1.2.2 Các kết nghiên cứu nước .3 1.3 Mục tiêu nghiên cứu đề tài .4 1.4 Nhiệm vụ đề tài giới hạn đề tài 1.4.1 Nhiệm vụ đề tài 1.4.2 Giới hạn đề tài 1.5 Phương pháp nghiên cứu: .5 Chương 2: CƠ SỞ LÝ THUYẾT 2.1 Cơ cấu chấp hành áp điện Piezo 2.1.1 Lịch sử đời vật liệu áp điện Piezo .7 2.1.2 Ứng dụng vật liệu áp điện Piezo 2.1.3 Nguyên lý hoạt động vật liệu áp điện Piezo 2.1.4 Hiện tượng trễ phi tuyến (Hysteresis) 10 xiv 2.2 Bộ điều khiển PID liên tục 10 2.3 Bộ điều khiển PID số 12 2.3.1 Hệ thống điều khiển rời rạc 12 2.3.2 Bộ diều khiển PID số 14 2.4 Phương pháp thiết kế điều khiển PID theo Ziegler Nichol 17 2.5 Thuật toán Di truyền Genetic Algorithm 18 Chương 3: GIỚI THIỆU MƠ HÌNH VÀ MƠ HÌNH HĨA HỆ THỐNG .22 3.1 Tổng quan mơ hình .22 3.1.1 Cấu tạo mơ hình thí nghiệm bàn dao 22 3.1.2 Nguyên lý hoạt động cấu ăn dao 23 3.2 Các thành phần thiết bị mô hình thực nghiệm 24 3.2.1 Cơ cấu chấp hành áp điện Piezo 24 3.2.2 Cơ cấu đàn hồi/mềm 25 3.2.3 Driver điều khiển cấu chấp hành Piezo 27 3.2.4 Cảm biến vị trí bàn dao 28 3.2.5 Bộ chuyển đổi cảm biến vị trí 29 3.2.6 Mạch thu thập liệu điều khiển STM32F407Discovery 29 3.2.7 Mạch khuếch đại điện áp .30 3.2.8 Mạch chuyển đồi tín hiệu dịng áp .31 3.2.9 Mạch chuyển UART sang USB 32 3.3 Mơ hình tốn hệ thống 32 3.3.1 Khối khuếch đại 32 3.3.2 Khối cấu chấp hành áp điện PZT 33 3.3.3 Khối cấu mềm 33 Chương 4: THIẾT KẾ BỘ ĐIỀU KHIỂN PID 36 4.1 Thiết kế điều khiển PID theo phương pháp Ziegler Nichol 2: 37 4.2 Thiết kế điều khiển PID thuật tốn tối ưu hóa GA .39 xv Chương 5: THỰC NGHIỆM 45 5.1 Khảo sát chuyển vị Piezo không tải .45 5.2 Khảo sát chuyển vị piezo kết nối cấu mềm 47 5.3 Khảo sát chuyển vị bàn dao 49 5.4 Điều khiển mơ hình bàn dao thuật tốn PID 52 5.4.1 Mơ hình điều khiển thu tập liệu 52 5.4.2 Thực nghiệm điều khiển PID từ thuật toán GA 54 Chương 6: KẾT QUẢ VÀ HƯỚNG NGHIÊN CỨU 56 TÀI LIỆU THAM KHẢO 57 PHỤ LỤC .61 xvi DANH SÁCH CHỮ VIẾT TẮT NSGA-II Fast Non-dominated Sorting Genetic Algorithm GA Genetic Algorithm PZT Piezo Actuator PID Proportional Integral Derivative CNC Computer numerical control PSO Particle swarm optimization PC Personal Computer xvii DANH SÁCH CÁC HÌNH Hình 1.1: Đường đặc tuyến trễ phi tuyến cấu chấp hành Piezo Hình 2.1: Ảnh hưởng lực lên vật liệu có tính áp điện Hình 2.2: Biến dạng vật liệu gốm áp điện đặt vào hai đầu điện áp .9 Hình 2.3: Cấu tạo cấu chấp hành Piezo .10 Hình 2.4: Sơ đồ khối hệ thống sử dụng điều khiển PID vịng kín hồi tiếp âm 11 Hình 2.5: Sơ đồ khối hệ thống điều khiển số đặc trưng .12 Hình 2.6: Sơ đồ khối hệ thống điều khiển rời rạc 13 Hình 2.7: Sơ đồ điều khiển hệ thống sử dụng điều khiển PID số .14 Hình 2.8: Lưu đồ xác định số khuếch đại tới hạn 17 Hình 2.9: Đáp ứng hàm nấc hệ kín K=Kgh 17 Hình 2.10: Sơ đồ thực giải thuật di truyền .20 Hình 3.1: Bố trí thí nghiệm khảo sát điều khiển chuyển vị bàn dao 22 Hình 3.2: Hình dạng cấu chấp hành áp điện PAS015 hãng THORLAB 25 Hình 3.3: Hình ảnh cấu đàn hồi/mềm .26 Hình 3.4: Biểu đồ thể mối quan hệ chuyển vị ngõ vào ngõ cấu đàn hồi 27 Hình 3.5: Bộ điều khiển vịng hở (Driver) MDT694A cấu chấp hành Piezo hãng THORLABS .28 Hình 3.6: Cảm biến đo khoảng cách GT2-H12K hãng Keyence 29 Hình 3.7: Hình ảnh chuyển đổi cảm biến thành tín hiệu analog .29 Hình 3.8: Hình ảnh mạch điều khiển STM32F4DISCOVERY 30 Hình 3.9: Sơ đồ nguyên lý mạch khuếch đại điện áp 0-3V thành 0-10V 31 Hình 3.10: Mạch chuyển đổi dịng áp HW-685 .31 Hình 3.11: Mạch giao tiếp UART sang cổng USB CP2102 32 Hình 3.12: Mơ hình điều khiển điện mơ hình bàn dao .32 xviii Hình 4.1: Sơ đồ điều khiển hệ thống sử dụng điều khiển PID số .36 Hình 4.2: Đáp ứng chuyển vị với điều khiển Kp= Kgh=2.45 .37 Hình 4.3: Đáp ứng chuyển vị bàn dao với PID từ phương pháp ZieglerNichol .38 Hình 4.4: Thuật tốn GA ứng dụng tìm thơng số PID tối ưu 40 Hình 4.5: Lưu đồ điều khiển cấu ăn dao dùng PID tạo từ giải thuật GA 41 Hình 4.6: Đáp ứng hàm nấc với PID 43 Hình 4.7: Đáp ứng hàm nấc với PID phóng to 43 Hình 5.1: Bố trí thí nghiệm khảo sát chuyển vị Piezo khơng tải .45 Hình 5.2: Sơ đồ khối thí nghiệm khảo sát chuyển vị Piezo không tải .46 Hình 5.3: Đồ thị đáp ứng chuyển vị Piezo khơng tải 46 Hình 5.4: Bố trí thí nghiệm 47 Hình 5.5: Sơ đồ khối thí nghiệm khảo sát chuyển vị piezo kết nối cấu mềm 48 Hình 5.6: Biểu đồ khảo sát đáp ứng vị trí cấu chấp hành áp điện piezo nối với cấu mềm 48 Hình 5.7: Thí nghiệm khảo sát chuyển vị bàn dao 49 Hình 5.8: Sơ đồ khối thí nghiệm khảo sát chuyển vị bàn dao .49 Hình 5.9: Biểu đồ đáp ứng vòng hở chuyển vị bàn dao 50 Hình 5.10: Biểu đồ mối quan hệ tuyến tính chuyển vị ngõ vào chuyển vị ngõ cấu chấp hành áp điện Piezo 51 Hình 5.11: Sơ đồ khối mơ hình điều khiển vịng kín dùng thuật tốn PID 52 Hình 5.12: Chương trình Matlab simulink nhúng vào mạch STM32F4 Discovery 53 Hình 5.13: Đáp ứng chuyển vị mơ hình bàn dao với điều khiển PID tối ưu thuật toán GA 54 Hình 5.14: Biểu đồ đáp ứng chuyển vị bàn dao mơ hình thực nghiệm mơ hình tốn với điều khiển PID tối ứu hóa GA .55 xix Cảm biến đo vị trí Biến trở Driver điều khiển vị trí Piezo (vịng hở) u(V) 0÷76 Cơ cấu chấp hành ỏp in Piezo y1(àm) 0ữ50 B chuyn i Mn hỡnh hiển thị chuyển đổi Cơ cấu đàn hồi Hình 5.5: Sơ đồ khối thí nghiệm khảo sát chuyển vị piezo kết nối cấu mềm Hình 5.6: Biểu đồ khảo sát đáp ứng vị trí cấu chấp hành áp điện piezo nối với cấu mềm Biều đồ Hình 4.6 cho thấy, đặc tính Hysteresis cấu chấp hành Piezo tồn gắn vào cấu đàn hồi/mềm đáp ứng chuyển vị đường khác so với khơng có tải, chuyển vị lớn điện áp 75V cung cấp 48.1um nhỏ so với chạy không tải 48 5.3 Khảo sát chuyển vị bàn dao Hình 5.7: Thí nghiệm khảo sát chuyển vị bàn dao Biến trở Driver điều khiển vị trớ Piezo (vũng h) y2(àm) 0ữ138 u(V) 0ữ75 C cu chấp hành áp điện Piezo Cơ cấu đàn hồi Cảm biến đo vị trí Bộ chuyển đổi Màn hình hiển thị chuyển đổi Hình 5.8: Sơ đồ khối thí nghiệm khảo sát chuyển vị bàn dao Trong thí nghiệm này, đầu dị cảm biến bố trí vị trí bàn dao ta áp dụng điều khiển vịng kín, mục đích thí nghiệm xác định đặc tuyến chuyển vị bàn dao chuyển vị lớn 49 Cách thực giống thí nghiệm trên, chỉnh biến trở tăng lần đơn vị từ 0-75V giảm lần đơn vị từ 75-0V, đồng thời ghi chép lại thông số chuyển vị tương ứng hiển thị hình chuyển đổi Hình 5.9: Biểu đồ đáp ứng vịng hở chuyển vị bàn dao 50 Hình 5.10: Biểu đồ mối quan hệ tuyến tính chuyển vị ngõ vào chuyển vị ngõ cấu chấp hành áp điện Piezo Hình 4.9 cho thấy chuyển động bàn dao lấy nguồn chuyển vị từ cấu chấp hành Piezo cho đặc tuyến trễ phi tuyến theo thời gian Đáp ứng chuyển vị lớn bàn dao 138um Hình 4.10 đáp ứng chuyển vị ngõ vào ngõ cấu mềm tuyến tính với Hệ số tuyến tính K≈2.8 Điều cho thấy tượng trễ phi tuyến đồ thị Hình 4.9 chuyển động cáu chấp hành piezo tạo 51 5.4 Điều khiển mơ hình bàn dao thuật tốn PID 5.4.1 Mơ hình điều khiển thu tập liệu Hyper Terminal Giao tiếp UART Setpoint 0-140(um) STM32F407DISCOVERY Bộ PID số DAC Driver điều khiển `cấu chấp hành piezo ` Bàn dao ADC Cảm biến vị trí Hình 5.11: Sơ đồ khối mơ hình điều khiển vịng kín dùng thuật tốn PID Cách thực thí nghiệm sau:  Lập trình chương trình điều khiển thu thập liệu Matlab Simulink sử dụng thư viện Waijung Blockset (Hình 4.12), nhúng chương trình vào mạch STM32F407DISCOVERY [23], [24] 52 Hình 5.12: Chương trình Matlab simulink nhúng vào mạch STM32F4 Discovery  Sử dụng phần mềm Hyper Terminal [27] máy tính để nhận liệu chuyển vị mạch STM32F407DISSCOVERY gửi lưu vào tập tin  Vẽ biểu đồ đáp ứng chuyển vị theo thời gian từ tập tin gửi 53 5.4.2 Thực nghiệm điều khiển PID từ thuật toán GA Giá trị mong muốn Thực nghiệm mơ hình Chuyển vị (µm) x=0.54 Thời gian (giây) Hình 5.13: Đáp ứng chuyển vị mơ hình bàn dao với điều khiển PID tối ưu thuật toán GA Bộ điều khiển PID KP=0.4976; KI=23.6455; KD=1.8018 thuật toán GA tối ưu áp dụng lên chương trình điều khiển cấu chấp hành Piezo chạy Board STM32F407 Discovery Đáp ứng điều khiển tối ưu GA mơ hình thực nghiệm thể hình 5.13 khơng có vọt lố, thời gian lên ngắn 0.04 giây, thời gian xác lập nhỏ khoảng 0.54 giây, sai số xác lập không đáp kể So sánh đáp ứng PID tối ưu áp dụng mơ hình tốn mơ hình thực nghiệm thể hình 5.14, thấy đáp ứng chuyển vị đối tượng mơ hình tốn mơ hình thực nghiệm tương đối giống cho chất lượng điều khiển tốt 54 Chuyển vị (µm) Giá trị mong muốn Thực nghiệm mơ hình Mơ hình tốn Thời gian (giây) Hình 5.14: Biểu đồ đáp ứng chuyển vị bàn dao mơ hình thực nghiệm mơ hình tốn với điều khiển PID tối ứu hóa GA Bộ điều khiển PID tối ưu hóa GA cho đáp ứng chuyển vị bàn dao mô hình thực nghiệm đạt yêu cầu chuyển vị độ phân giải micron áp dụng lên mơ hình thật Theo biểu đồ 5.14 đường đáp ứng thực nghiệm đường đáp ứng mơ hình thuật tốn khơng trùng giao đoạn đầu từ 0-0.7s mơ hình thuật tốn tác giả khơng đưa khâu trễ phi tuyến vào mơ hình tốn hệ thống mơ hình tốn khâu trễ khó khăn Như thuật tốn GA giúp ta hiệu chỉnh lại điều khiển PID tìm từ phương pháp Ziegler Nichol thỏa mãn hàm mục tiêu Bộ điều khiển PID kết hợp thông số KP, KI, KD số dạng thập phân, nên khơng gian tìm kiếm lớn, khơng có thuật tốn GA việc tìm điều khiển PID tối ưu nhiều công sức thời gian 55 Chương 6: KẾT QUẢ VÀ HƯỚNG NGHIÊN CỨU  Kết đây:  Xây dựng mơ hình bàn dao phụ máy tiện dùng để thực nghiệm điều khiển  Khảo sát đặc tính chuyển vị cấu áp điện piezo, mơ hình bàn dao phụ  Thiết kế điều khiển PID tối ưu giải thuật GA để điều khiển đối tượng mô hình bàn dao phụ máy tiện  Điều khiển mơ hình thực nghiệm bàn dao chuyển vị cỡ micron với đáp ứng tốt sử dụng thuật toán PID tối ưu từ GA  Những điểm hạn chế cần khắc phục đề tài:  Sử dụng cảm biến có tần số hoạt động cao cỡ 10kHz  Các mạch chuyển đổi, khuếch đại tín hiệu, ADC, DAC sử dụng thiết bị chuyên dùng để hạn chế sai số  Hướng nghiên cứu:  Tìm điều khiển PID phương pháp khác PSO, Fuzzy logic, công cụ PID turning phần mềm Matlab,…  Thực nghiệm điều khiển PID với tải thay đổi theo thời gian với tần số cao  Lắp mô hình bàn dao phụ lên máy tiện, thực nghiệm việc cắt gọt kim loại, kiểm tra dung sai kích thước, độ nhám bề mặt để đánh giá chất lượng điều khiển 56 TÀI LIỆU THAM KHẢO [1] D Eddy Piezoelectric tool actuator for presicion turning, Luận văn Thạc sĩ, Đại học Bristish Columbia, 1999 [2] A S Woronko Development of a piezoelectric tool actuator, Luận văn Thạc sĩ, Đại học Waterloo, 2001 [3] M Byung-Guk Jun Precision turning of shafts with piezoelectric actuator tool, Luận văn Thạc sĩ, Đại học Bristish Columbia, 2000 [4] J.A.Dzoleko Dongmo Control of an experimental piezoelectric actuators system, Luận văn Thạc sĩ, Đại học kỹ thuật Eindhoven, 2010 [5] Nguyễn Thị Phương Hà, Huỳnh Thái Hoàng, Lý thuyết điều khiển tự động, Nhà xuất đại học quốc gia Thành Phố Hồ Chí Minh, 2005 [6] Huỳnh Thái Hồng Bài giảng Điều khiển thơng minh, Đại học Bách khoa thành phố Hồ Chí Minh, Chương 2, 2010 [7] Nguyễn Văn Khiển, Ngô Nam Phương, Phạm Huy Hoàng, Phạm Huy Tuân Thiết kế tối mô cấu đàn hồi dùng làm khuếch đại cấu vi chuyển động, in Hội nghị KH&CN tồn quốc Cơ khí động lực, ĐH Bách Khoa-Đại học Quốc gia Thành Phố Hồ Chí Minh, 2017 [8] Nguyễn Chí Ngơn Tối ưu hóa điều khiển PID giải thuật di truyền, Tạp chí khoa học, Sô 9, tr 214-248, 2008 [9] Dongpo Zhao, Zihui Zhu, Peng Huang, Ping Guo, LiMin Zhu, Zhiwei Zhu Development of a piezoelectrically actuated dual-stage fast tool servo, Mechanical Systems and Signal Processing, số 144, 2020 [10] Li Sui, Xin Xiong Gengchen Shi Piezoelectric Actuator Design and Application on Active Vibration Control, Physics Procedia, số 25, tr 1388-1396, 2012 57 [11] Nguyễn Văn Khiển, Phạm Huy Hoàng, Phạm Huy Tuân Cơ cấu đàn hồi hướng ứng dụng, Hội nghị Khoa học- Cơng nghệ tồn quốc Cơ khí (lần thứ 4) Tr.778-786 [12] Đặng Hoàng Chương, Nghiên cứu ứng dụng Piezo Actuator Luận văn thạc sĩ, Đại học Bách khoa Thành Phố Hồ Chí Minh, 2016 [13] Marwan Nafea Minjal Modeling and Control of Piezoelectric Stack Actuators with Hysteresis, Luận văn thạc sĩ, Đại học UniversitiTeknologi Malaysia, 2013 [14] Phạm Huy Hồng, Trần Văn Thùy Thiết kế hình dạng mô hoạt động cấu dẫn động với độ phân giải Micron, Tạp chí khoa học cơng nghệ, tập 11, số 03, 2008 [15] Nguyen Ngoc Son, Tran Minh Chinh & Ho Pham Huy Anh Uncertain nonlinear system identification using Jaya-based adaptive neural network, Soft Computing, số 24, tr 17123–17132, 2020 [16] Zsurzsan cộng Preisach model of hysteresis for the Piezoelectric Actuator Drive, Proceedings of the 41st Annual Conference of the IEEE Industrial Electronics Society, 2015 [17] Shunli Xiao, Yangmin Li Dynamic compensation and H∞ control for piezoelectric actuator based on the inverse Bouc–Wen model, Robotics and Computer-Integrated Manufacturing, số 30, tr 47–54, 2014 [18] Kenta Seki, Michael Ruderman, Makoto Iwasaki Modeling and compensation for hysteresis properties in piezoelectric actuator, 2014 IEEE 13th International Workshop on Advanced Motion Control (AMC), 2014 [19] Brian Jeffrey Kenton Design, Characterization, and Control of a High-Bandwidth Serial-Kinematic Nanopositioning Stage for 58 Scanning Probe Microscopy Applications, Luận văn thạc sĩ, University of Nevada, Reno, 2014 [20] Baek-Ju Sung, Eun-Woong Lee, In-Su Kim Displacement Control of Piezoelectric Actuator using the PID Controller and System Identification Method, 2008 Joint International Conference on Power System Technology and IEEE Power India Conference, 2008 [21] Changhai Ru cộng A hysteresis compensation method of piezoelectric actuator: Model, identification and control, Control Engineering Practice, số 17, tr 1107-1114, 2009 [22] Sunan Huang, Kok Kiong Tan, Tong Heng Lee Adaptive Sliding-Mode Control of Piezoelectric Actuators, IEEE Transactions on Industrial Electronics, số 56, 2009 [23] Waijung Blockset Internet: https://waijung1.aimagin.com/, 12/11/2020 [24] Hướng dẫn cài đặt lập trình để nhúng Matlab cho STM32F4 -tập Internet: https://www.youtube.com/watch?v=de74Z51IOMA&ab_channel=nguyen vandonghai,12/11/2020 [25] HyperTerminal Trial Internet: https://www.hilgraeve.com/hyperterminal-trial/, 12/11/2020 [26] John H Holland, Adaptation in Natural and Artificial Systems: An Introductory Analysis with Applications to Biology, Control, and Artificial Intelligence, nhà xuất MIT Press, Cambridge, Hoa Kỳ, 1992 [27] Karam M Elbayomy, Jiao Zongxia, Zhang Huaqing, PID Controller Optimization by GA and I,ts Performances on the Electro-hydraulic 59 Servo Control System, Chinese Journal of Aeronautics, số 21, Tr 378384, 2008 60 PHỤ LỤC 61 S K L 0 ... dẫn động cấu chấp hành áp điện Piezo truyền động qua cấu đàn hồi để tạo chuyển động với độ phân giải cỡ 10-3mm Cơ cấu đàn hồi với ưu điểm tạo chuyển động có độ xác cao, chịu tải lớn, bị rung động. .. đến độ xác tồn cấu, gây ổn định hệ thống 2.2 Bộ điều khiển PID liên tục Bộ điều khiển PID điều khiển ứng dụng rộng rãi nhiều ứng dụng tính hiệu Bộ điều khiển PID gồm kết hợp khâu: khâu điều khiển. .. nhiều lý thuyết điều khiển từ cổ điển đến điều khiển nâng cao độ xác vị trí cấu như:  Điều khiển cấu gia công siêu xác máy tiện CNC D Eddy [1] ứng dụng giải thuật điều khiển PID, điều khiển đặt điểm