CHƯƠNG 2 PHƯƠNG PHÁP THỰC NGHIỆM CHẾ TẠO VẬT LIỆU
2.3. Quy trình chế tạo màng Au/TiO2
2.3.2. Quy trình cơng nghệ chế tạo màng Au/TiO2
- Vật liệu sử dụng: dung dịch Au/TiO2 đã chế tạo ở bước trên, cồn, đế glass và glass/FTO.
- Quy trình chế tạo: Quy trình chế tạo màng Au/TiO2 được mơ tả trong Hình
2.7
B1. Chuẩn bị dung dịch: Dung dịch Au/TiO2 được chuẩn bị theo quy trình đã trình bày ở trên, trong đó một số tham số đầu vào đã được điều chỉnh để có các dung dịch có nồng độ và kích thước Au khác nhau.
Hình 2.7. Quy trình chế tạo màng Au/TiO2.
B2. Quay phủ (spincoating) để tạo màng: Các đế thủy tinh và đế FTO (kích thước 1,5 x 1 cm) đã làm sạch được đặt vào máy spincoater (mặt phủ FTO hướng lên trên). Dùng micropipet lấy và nhỏ 30 µl dung dịch ở trên lên đế FTO sau đó tiến hành quay phủ theo chế độ 2 bước (step) như sau: step 1 với tốc độ 1000 vòng/giây quay trong 10 giây (thời gian gia tốc là 5 giây), step 2 với tốc độ 3000 vòng/giây và quay trong thời gian 30 giây (thời gian gia tốc từ 1000 lên 3000 vòng/giây là 10 giây).
Thực hiện lặp lại bước trên 3 lần để đạt được chiều dầy màng khoảng 1000 nm.
B3. Tiến hành ủ nhiệt: Các màng Au/TiO2 đã chế tạo được chia thành các nhóm khác nhau sau đó tiến hành ủ nhiệt ở các thời gian và điều kiện môi trường khác nhau, cụ thể được ghi trong bảng sau:
Bảng 2.6. Kí hiệu mẫu Au/TiO2 trên đế FTO theo các thời gian và mơi trường ủ
nhiệt.
Kí hiệu mẫu Thời gian ủ nhiệt Mơi trường ủ nhiệt
Air-AuTO 60 phút Khơng khí
Vac-AuTO 60 phút Chân khơng
Arg-AuTO 60 phút Khí Argon
Air-AuTO-10 10 phút Khơng khí
Air-AuTO 30 phút Khơng khí
Air-AuTO-90 90 phút Khơng khí
Vac-AuTO-10 10 phút Chân không
Vac-AuTO 30 phút Chân không
Vac-AuTO-90 90 phút Chân khơng
- Hình ảnh một số mẫu chế tạo:
Hình 2.8. Ảnh chụp một số màng Au/TiO2 trên đế thuỷ tinh (ảnh trên) và trên đế
FTO (ảnh dưới).