cấp phát ra từ chỗ đó nhiều hơn các chỗ lân cận, chỗ tương ứng trên màn hình sáng hơn các chỗ xung quanh. Như vậy chỗ sáng, chỗ tối trên màn hình tương ứng với chỗ lồi, chỗ lõm trên mặt mẫu. Độ phóng đại của ảnh là M = D/d. Một trong các ưu điểm của kính hiển vi điện tử quét là làm mẫu dễ dàng, không phải cắt thành lát mỏng và phẳng.
Như trên đã nêu, khi các electron va chạm vào các nguyên tử ở bề mặt mẫu, có thể phát ra tia X. Năng lượng tia X đặc trưng cho các nguyên tố phát ra chúng. Bằng cách phân tích phổ năng lượng của tia X, ta có thể biết được thành phần hóa học của mẫu tại nơi chùm tia electron chiếu vào. Phương pháp này gọi là phổ tán sắc năng lượng tia X (EDS).
Các mẫu trong luận án này được
chụp ảnh bề mặt và phổ tán sắc năng lượng bằng kính hiển vi điện tử quét (Scanning Electron Microscope SEM) JMS 5410 của hãng Jeol (Nhật Bản) có kèm theo phụ kiện EDS (Energy Dispersion Spectrometer) của hãng Oxford (Anh) tại phịng thí nghiệm của Trung tâm Khoa học Vật liệu, Trường Đại học Khoa học Tự nhiên, Đại học Quốc Gia Hà Nội (hình 2.5).
2.3 Phép đo từ độ
Thiết bị từ kế mẫu rung (Vibrating Sample Magnetometer VSM) là một thiết
bị dùng để xác định từ độ của mẫu hoạt động theo nguyên lý cảm ứng điện từ. Nguyên lý của thiết bị này là dựa trên hiện tượng cảm ứng điện từ và được trình bày như sau:
Một thanh rung phi từ đầu gắn mẫu đo được rung trong từ trường một chiều đồng nhất của nam châm điện. Trong cuộn dây thu tín hiệu sẽ xuất hiện một suất điện động tỉ lệ với từ độ của mẫu theo định luật Maxwell: