CHƢƠNG 2 THỰC NGHIỆM
2.3. Phƣơng pháp ngh in cứu và đặc trƣng vật liệu
2.3.5. Phương pháp hiển vi điện tử truyền qua (TEM)
Phương pháp hiển vi điện tử truyền qua (TEM) là một phương pháp nghiên cứu vi cấu trúc vật rắn, sử dụng chùm điện tử có năng lượng cao chiếu xuyên qua mẫu vật rắn mỏng và sử dụng các thấu kính điện từ để tạo ảnh với độ phóng đại lớn (tới hàng triệu lần). Ảnh có thể tạo ra trên màn huỳnh quang, trên phim quang học hay ghi nhận b ng các máy chụp kỹ thuật số.
Kính hiển vi điện tử truyền qua có độ phân giải cao (thường được viết tắt là HR –TEM xuất phát từthuật ngữ tiếng Anh là High Resolution - Transmission Electron Microscopy) là một chế độ ghi ảnh của kính hiển vi điện tử truyền qua cho
phép quan sát ảnh vi cấu trúc của vật rắn với độ phân giải rất cao, đủ quan sát được sự tương phản của các lớp nguyên tử trong vật rắn có cấu trúc tinh thể. Khác với các ảnh TEM thơng thường có độ tương phản chủ yếu là tương phản biên độ do hiệu ứng hấp thụ; HR-TEM hoạt động dựa trên nguyên lý tương phản pha, tức là ảnh tạo ra nhờ sự giao thoa giữa chùm tia thẳng góc và chùm tia tán xạ. Khi chùm điện tử chiếu qua mẫu (có chiều dày, độ sạch và sự định hướng thích hợp) sẽ bị tán xạ theo nhiều hướng khác nhau và sóng tán xạ sẽ ghi lại thông tin về cấu trúc, vị trí các ngun tử... Vật kính phải có độ quang sai đủ nhỏ và có độ phân giải điểm đủ lớn để hội tụ các chùm tán xạ này, thực hiện việc giao thoa với chùm chiếu thẳng góc để tạo ra ảnh có độ phân giải cao.
Hình 2.8. Sơ đồ nguyên lý sự tạo ảnh độ phân giải cao trong HR-TEM
Thực nghiệm: Trong luận án này, ảnh HR-TEM được ghi trên máy HR-TEM
JEM-2100F, Hàn Quốc, và TEM – JEM1010 đo tại Viện Vệ sinh Dịch tễ Trung
ương có các thơng số M=x50 - x600.000, d=3A0, U=40 – 100kV.