CHƢƠNG 2 THỰC NGHIỆM
2.3. Phƣơng pháp ngh in cứu và đặc trƣng vật liệu
2.3.6. Phương pháp hiển vi điện tử quét (SEM)
Nguyên tắc: Phương pháp hiển vi điện tử quét (Scanning Electron
microscope) sử dụng chùm electron từ ống phóng xun qua vật kính và tập trung
thành một dịng hẹp để tạo ảnh mẫu nghiên cứu. Trong thiết bị SEM, chùm electron từ ống phóng được đi qua một vật kính và được lọc thành một dịng hẹp. Vật kính chứa một số cuộn dây (cuộn lái electron) được cung cấp với điện thế thay đổi, cuộn
dây tạo nên một trường điện từ tác động lên chùm electron, từ đó chùm electron sẽ quét lên bề mặt mẫu tạo thành trường quét. Tín hiệu của cuộn lái cũng được chuyển đến ống catơt để điều khiển q trình qt ảnh trên màn hình đồng bộ với quá trình quét chùm electron trên bề mặt mẫu. Khi chùm electron đập vào bề mặt mẫu tạo thành một tập hợp các hạt thứ cấp đi tới detector, tại đây nó được chuyển thành tín hiệu điện và được khuếch đại.
Các tín hiệu điện được gửi tới ống tia catơt và được qt lên màn hình tạo nên ảnh. Độ nét của ảnh được xác định bởi số hạt thứ cấp đập vào ống tia catôt, số hạt này lại phụ thuộc vào góc bắn ra của electron khỏi bề mặt mẫu, tức là phụ thuộc vào mức độ lồi lõm bề mặt. Vì thế ảnh thu được sẽ phản ánh diện mạo bề mặt của vật liệu.
Phương pháp SEM thường được sử dụng để nghiên cứu bề mặt, kích thước, hình dạng tinh thể của vật liệu.
FE–SEM là phương pháp hiển vi điện tử quét phân giải cao (Field Emission Scanning Electron Microscopy)
Thực nghiệm: Trong luận án này, ảnh hiển vi điện tử FE-SEM được ghi trên
máy S-4800 (FE-SEM, Hitachi), Viện Vệ sinh Dịch tễ Trung ương.