Đo lường chất lượng dịch vụ này cho ta bức tranh tổng thể vể chất lượng dịch vụ. Để thực hành được Parasuaraman & cộng sự (1985) đã xây dựng thang đo gồm 10 thành phần dùng để đánh giá chất lượng trong lĩnh vực dịch vụ.
Mô hình mười thành phần chất lượng dịch vụ nêu trên gần như bao quát hết mọi khía cạnh của dịch vụ. Tuy nhiên vì nó phức tạp trong việc đo lường và mang tính lý thuyết nên sau nhiều lần kiểm định Parasuaraman & cộng sự (1991) đã phát triển và được sử dụng rộng rãi nhiều nhất trong việc đo lường chất lượng dịch vụ gồm 22 biến quan sát (SERVQUAL) của 5 tiêu chí:
Độ tin cậy (Reliability): Khả năng thực hiện một dịch vụ đúng như đã hứa và chính xác. Một dịch vụ có thể được tin cậy nếu nó được thực hiện đúng ngay từ đầu.
Sự đáp ứng (Response): Sự sẵn sàng giúp đỡ khách hàng và nhanh chóng cung cấp dịch vụ như đã hứa.
Sự đảm bảo (Assurance): Những phẩm chất của nhân viên mang lại lòng tin cho khách hàng: tính chuyên nghiệp, lịch sự, khả năng giao tiếp…
Sự cảm thông (Empathy): Nhân viên phục vụ quan tâm đến khách hàng, tạo cho khách hàng cảm giác an tâm.
Sự hữu hình (Tangibility): Trang phục, ngoại hình của nhân viên và trang thiết bị phục vụ cho dịch vụ…
Parasuraman và cộng sự (1991) khẳng định rằng SERVQUAL là thang đo hoàn chỉnh về chất lượng dịch vụ, đạt giá trị và độ tin cậy và có thể được ứng dụng cho mọi loại hình dịch vụ khác nhau. Tuy nhiên, mỗi ngành dịch vụ cụ thể có những đặc thù riêng của chúng. Vì vậy, khi áp dụng thang đo SERVQUAL trong việc đánh giá chất lượng dịch vụ hành chính công đòi hỏi nghiên cứu cũng như kiểm định mô hình một cách thận trọng vì có một số biến trong thang đo có thể thay đổi.